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    • 2. 发明申请
    • CRITICAL DIMENSION MEASUREMENTS WITH GASEOUS ADSORPTION
    • 气体吸附的关键尺寸测量
    • WO2017192401A1
    • 2017-11-09
    • PCT/US2017/030246
    • 2017-04-28
    • KLA-TENCOR CORPORATION
    • SHANKAR, Krishnan
    • G01N21/95G01N21/88
    • G01B11/22G01B11/0641G01B2210/56G01N15/088G01N21/00
    • Methods and systems for performing optical measurements of geometric structures filled with an adsorbate by a gaseous adsorption process are presented herein. Measurements are performed while the metrology target under measurement is treated with a flow of purge gas that includes a controlled amount of fill material. A portion of the fill material adsorbs onto the structures under measurement and fills openings in the structural features, spaces between structural features, small volumes such as notches, trenches, slits, contact holes, etc. In one aspect, the desired degree of saturation of vaporized material in the gaseous flow is determined based on the maximum feature size to be filled. In one aspect, measurement data is collected when a structure is unfilled and when the structure is filled by gaseous adsorption. The collected data is combined in a multi-target model based measurement to reduce parameter correlations and improve measurement performance.
    • 本文给出了用于通过气态吸附过程对填充有吸附物的几何结构进行光学测量的方法和系统。 测量是在测量中的计量目标用包括受控量的填充材料的吹扫气体流进行处理时执行的。 填充材料的一部分吸附到待测量的结构上并且填充结构特征中的开口,结构特征之间的空间,诸如凹口,沟槽,狭缝,接触孔等的小体积。在一个方面,期望的饱和度 基于待填充的最大特征尺寸来确定气流中的气化材料。 在一个方面,当结构未被填充时以及当结构被气体吸附填充时收集测量数据。 收集到的数据将结合在基于多目标模型的测量中,以减少参数相关性并提高测量性能。
    • 4. 发明申请
    • REMOTE DEPTH SENSING VIA RELAYED DEPTH FROM DIFFUSION
    • 远程深度感测通过从扩散中减少深度
    • WO2016178785A1
    • 2016-11-10
    • PCT/US2016/026301
    • 2016-04-07
    • MICROSOFT TECHNOLOGY LICENSING, LLC
    • POWELL, Karlton D.PRADEEP, Vivek
    • G01B11/25G06T7/00H04N5/225H04N13/02
    • H04N5/23203G01B11/14G01B11/22G01B11/24G01B11/25G06T7/571H04N5/2254H04N5/357H04N13/204H04N13/236H04N13/271
    • Remote depth sensing techniques are described via relayed depth from diffusion. A remote depth sensing system is configured to sense depth as relayed from diffusion. The system includes an image capture system including an image sensor and an imaging lens configured to transmit light to the image sensor through an intermediate image plane that is disposed between the imaging lens and the image sensor, the intermediate plane having an optical diffuser disposed proximal thereto that is configured to diffuse the transmitted light. The system includes a depth sensing module configured to receive one or more images from the image sensor and determine a distance to one or more objects in an object scene captured by the one or more images using a depth by diffusion technique that is based on an amount of blurring exhibited by respective said objects in the one or more images.
    • 远程深度感测技术通过从扩散的中继深度来描述。 远程深度感测系统被配置为感测从扩散中继的深度。 该系统包括图像捕获系统,其包括图像传感器和成像透镜,其被配置为通过设置在成像透镜和图像传感器之间的中间图像平面将光传输到图像传感器,中间平面具有设置在其附近的光学扩散器 被配置为扩散透射光。 该系统包括深度感测模块,其被配置为从图像传感器接收一个或多个图像,并且使用基于量的深度扩散技术来确定由一个或多个图像捕获的对象场景中的一个或多个对象的距离 在一个或多个图像中由相应的所述对象展示的模糊。
    • 5. 发明申请
    • 造形物作成遊戯装置
    • 模制对象创建播放设备
    • WO2016013357A1
    • 2016-01-28
    • PCT/JP2015/068870
    • 2015-06-30
    • 株式会社セガゲームス
    • 内藤 智之
    • A63F9/00G01B11/22G01C15/00
    • A63F9/00G01B11/22G01C15/00
    •  元の表面形状に関わらず、適度な労力でメリハリのある造形物を作成できるようにする。 遊戯者の作業に応じて表面の高さが変化する遊戯領域と、遊戯領域の表面の高さを所定の区画単位で検出する高さ検出部と、複数の区画を含む第1の領域について、第1のタイミングで検出された各区画の高さに基づいて基準値を設定する基準値設定部と、基準値に所定の値を加算または減算した値を判定値として設定する判定値設定部と、判定値を用いて、第2のタイミングで検出された前記第1の領域内の各区画の高さが、所定の条件を満たしているか否かを判定する高さ判定部と、を備える。
    • 本发明的目的是允许产生一种能够适应不同于原来的表面形状的努力程度的良好调制的成型物体。 提供一种模制对象创作播放装置,包括:播放区域,其中表面的高度响应于玩家的工作而改变; 高度检测单元,其以规定的单位单位检测游戏区域的表面的高度; 参考值设定单元,对于包括多个区段的第一区域,基于在第一定时检测到的区间的高度来设定基准值; 确定值设置单元,其将确定值设置为当从所述参考值添加或减去规定值时产生的值; 以及高度确定单元,其使用所述确定值来确定在第二时间点检测到的所述第一区域内的区段的高度是否满足规定条件。
    • 6. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DER PARTIKELGRÖßE UND/ODER DER PARTIKELFORM EINES PARTIKELGEMISCHES
    • 一种用于确定颗粒尺寸和/或颗粒形状的颗粒混合物
    • WO2015132137A1
    • 2015-09-11
    • PCT/EP2015/054088
    • 2015-02-26
    • RETSCH TECHNOLOGY GMBH
    • KNOP, StephanBEIL, Sebastian
    • G01N15/02G01B11/25G01N15/14
    • G01N15/0227G01B11/22G01B11/24G01N15/1459G01N15/1463G01N2015/1497
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgrößen und/oder der Partikelformen von Partikeln (T), welche als Partikelstrom durch eine Messstrecke (M) geführt werden, mit einer Beleuchtungseinrichtung (4), um den Partikelstrom in der Messstrecke (M) von der Rückseite her zu beleuchten, einer Kamera (5), um Schattenprojektionen der von der Beleuchtungseinrichtung (4) angestrahlten Partikel (T) von der Vorderseite heraufzunehmen, und mit einer Auswerteeinheit (7), die anhand der Aufnahmen der Kamera (5) die Partikelgröße und/oder Partikelform der aufgenommenen Partikel (T) bestimmt, wobei der Kamera (5) eine Projektionseinrichtung (6) zugeordnet ist, die auf der Vorderseite der Messstrecke (M) angeordnet und in einem Triangulationswinkel α zu der Kamera (5) positioniert ist, um eine Lichtlinie (L) auf die Partikel (T) des Partikelstroms in der Messstrecke (M) zu projizieren, die von der Kamera (5) mit aufgenommen wird, wobei aus der Form der Lichtlinie (L) in der Auswerteeinheit (7) Tiefeninformationen und/oder geometrische Informationen über die erfassten Partikel (T) ermittelt werden.
    • 本发明涉及一种设备,用于确定颗粒尺寸和/或颗粒(T),作为颗粒流经测量部分(M),其被传递的颗粒形状,与照明装置(4)绕在的所述测量部分(M)的颗粒流 照亮背面侧,照相机(5)〜(T)来增大照明装置的阴影突出部(4)从正面侧辐照过的颗粒,并与评估单元(7)的基础上记录的摄像头(5)的颗粒大小,和 (T)记录的颗粒,其中,所述照相机(5)与突出部(6)布置在一个三角测量角度测量路径(M)和α的前面到相机装置相关联的确定/或颗粒形状(5)定位成 光(L)的上在所述测量部分(M)的颗粒流的颗粒(T)的线由照相机(5)被投影被结合,其中所述光线路(L)中的形状 的关于所检测的粒子(T)的深度信息和/或几何信息的评估单元(7)被确定。