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    • 3. 发明申请
    • 単結晶製造装置および製造方法
    • 单晶制造设备和制造方法
    • WO2009081523A1
    • 2009-07-02
    • PCT/JP2008/003542
    • 2008-12-01
    • 信越半導体株式会社阿部孝夫
    • 阿部孝夫
    • C30B29/06C30B15/00
    • C30B29/06C30B15/16Y10T117/10Y10T117/1024Y10T117/1068Y10T117/1072Y10T117/1088
    •  本発明は、少なくとも、チャンバーと、チャンバー内のルツボと、ルツボの周囲に配されたヒーターと、種結晶を引き上げる引上げ機構と、種結晶および育成した単結晶の導通路とを具備し、ルツボ内に収容した原料多結晶をヒーターによって溶融し、溶融多結晶に種結晶を接触させて引き上げる単結晶製造装置において、底部を曲面状とした円筒状の石英管と、ドーム形状の石英板とを具備し、石英管は、チャンバーの上部より導通路を通して曲面状の底部がルツボ上に臨むように配置され、石英板は、石英管を取り囲むように配置されたものであって、石英管は、少なくとも底部が熱線を反射する反射構造で、石英板は、ルツボに向けて熱線を反射する反射構造であることを特徴とする単結晶製造装置である。これによって、多結晶の溶融時間を短縮してサイクルタイムを短縮することができ、生産コストの低減とともに、電力コストを低減させる単結晶製造装置が提供される。
    • 单晶体制造装置包括室,坩埚在室内,在坩埚周围设置的加热器,用于提升晶种的提升机构,以及用于晶种的引导通道和生长的单晶。 在单晶体制造装置中,包含坩埚的多晶体被加热器熔化,使晶种与熔融的多晶体接触并提升。 单晶制造装置的特征在于包括具有弯曲底部的圆柱形石英管和圆顶状石英板,其中石英管被布置成使得其弯曲的底部从坩埚的上部面向坩埚 通过导向通道,石英板被布置成包围石英管,并且石英管具有用于从至少其底部反射热射线的反射结构,而石英板具有用于反射的反射结构 对坩埚的热射线。 因此,单晶体制造装置可以缩短多晶体的熔融时间,从而缩短循环时间,降低生产成本和电力成本。