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    • 1. 发明申请
    • 多分岐鎖ポリオキシアルキレン化合物、およびその製造方法
    • 超支化聚氧乙烯化合物及其生产方法
    • WO2010114074A1
    • 2010-10-07
    • PCT/JP2010/055953
    • 2010-03-31
    • 日油株式会社竹花 剛中本 憲一郎伊藤 智佳
    • 竹花 剛中本 憲一郎伊藤 智佳
    • C08G65/329A61K47/34C08G65/28
    • C08G65/33337A61K47/34C08G65/2609C08G65/2648C08G65/3322C08G65/3326C08G65/33303C08G65/33372C08G65/33389C08G65/3346C08G2650/26C08G2650/60
    • 【課題】水溶液での粘性が低い多分岐鎖ポリオキシアルキレン化合物とその製造方法を提供すること。 【解決手段】下記式(1)(式中、 R 1 は同一または異なって炭素数1~24の炭化水素基であり、 OA 1 、OA 2 は同一または異なって炭素数2~4のオキシアルキレン基であり、 n、mは同一または異なって前記オキシアルキレン基の平均付加モル数であり、 nは0~1000を示し、mは同一または異なって10~1000を示し、 Xは、アミノ基、メルカプト基、アルデヒド基、カルボキシル基、三重結合またはアジド基と反応して化学結合を形成することが可能な官能基を示し、かつ L 1 およびL 2 は、同一または異なって、単結合、アルキレン基またはエステル結合、ウレタン結合、アミド結合、エーテル結合、カーボネート結合およびアミノから選ばれる少なくとも一つの結合を介するアルキレン基を示す。)で示される多分岐鎖ポリオキシアルキレン化合物。
    • 公开了一种超支化聚氧化烯化合物,其水溶液显示低粘度。 还公开了制备超支化聚氧化烯化合物的方法。 具体公开的是由式(1)表示的超支化聚氧化烯化合物。 (式中,R 1可以相同或不同,表示碳原子数为1-24的烃基,OA1和OA2可以相同也可以不同,分别表示2-4个碳原子的氧化烯基,n和m' 可以相同或不同,各自表示加成的氧化烯基的平均摩尔数,即n表示0-1000的数,m可以相同或不同,表示数为10-1000; X表示官能团 其能够通过与氨基,巯基,醛基,羧基,三键或叠氮基反应而形成化学键;并且L1和L2可以相同或不同,各自表示单 键,亚烷基或具有选自酯键,氨基甲酸酯键,酰胺键,醚键,碳酸酯键和氨基键中的至少一个键的亚烷基。
    • 5. 发明申请
    • 無電解めっき液
    • 电镀液
    • WO2007111125A1
    • 2007-10-04
    • PCT/JP2007/054957
    • 2007-03-13
    • JSR株式会社金野 智久松本 太一
    • 金野 智久松本 太一
    • C23C18/50C08K13/02C08L71/00H01L21/288H01L21/3205H01L23/52
    • H01L21/288C08G65/327C08G65/329C08G2650/60C23C18/50
    • Disclosed is an electroless plating liquid which is used for selectively forming a protection film on the surface of exposed wiring during production of a semiconductor device having a wiring structure. This electroless plating liquid is characterized by containing cobalt ions, ions of a second metal other than cobalt, a chelating agent, a reducing agent, a surface active agent and a specific tetraalkylammonium hydroxide. The electroless plating liquid is further characterized in that the surface active agent is composed of a substance selected from the group consisting of a compound represented by the formula (2a) or (2b) below, a sulfonic acid type anionic surface active agent, a polyoxyethylene alkyl ether phosphoric acid ester, and a polyoxyalkylene monoalkyl ether. (In the formulae, R 5 -R 8 respectively represent a hydrogen atom or a specific alkyl group; R 9 and R 10 respectively represent an alkylene group having 2-5 carbon atoms; and J and k independently represent an integer of not less than 1, with the sum of j and k being 2-50.) The electroless plating liquid enables to uniformly form a protection film having a diffusion-preventing ability on copper wiring with high selectivity.
    • 公开了一种化学镀液,其用于在具有布线结构的半导体器件的制造过程中,在暴露布线的表面上选择性地形成保护膜。 该化学镀液的特征在于含有钴离子,除钴以外的第二金属的离子,螯合剂,还原剂,表面活性剂和特定的四烷基氢氧化铵。 化学镀液的特征还在于表面活性剂由选自下述式(2a)或(2b)表示的化合物,磺酸型阴离子表面活性剂,聚氧乙烯 烷基醚磷酸酯和聚氧化烯单烷基醚。 (式中,R 5〜R 8分别表示氢原子或特定的烷基; R 9和R 10 分别表示具有2-5个碳原子的亚烷基; J和k分别表示1以上的整数,j和k之和为2-50)。化学镀液能够均匀地 以高选择性形成对铜布线具有防扩散能力的保护膜。
    • 9. 发明申请
    • COMPOSITIONS AND METHODS FOR THERMOSETTING MOLECULES IN ORGANIC COMPOSITIONS
    • 用于热分解有机组合物的组合物和方法
    • WO02008308A1
    • 2002-01-31
    • PCT/US2001/022204
    • 2001-07-13
    • C08F38/00C08G61/02C08G61/12H01L21/312C08G14/04C08G63/78C08G63/87C08G73/24
    • C08G61/12C08G61/02C08G2650/60
    • In a method of producing a low dielectric constant polymer, a thermosetting monomer is provided, wherein the thermosetting monomer has a cage compound or aryl core structure, and a plurality of arms that are covalently bound to the cage compound or core structure. In a subsequent step, the thermosetting monomer is incorporated into a polymer to form the low dielectric constant polymer, wherein the incorporation into the polymer comprises a chemical reaction of a triple bond that is located in at least one of the arms. Contemplated cage compounds and core structures include adamantane, diamantane, silicon, a phenyl group and a sexiphenylene group, while preferred arms include an arylene, a branched arylene, and an arylene ether. The thermosetting monomers may advantageously be employed to produce low-k dielectric material in electronic devices, and the dielectric constant of the polymer can be controlled by varying the overall length of the arms.
    • 在制备低介电常数聚合物的方法中,提供了一种热固性单体,其中该热固性单体具有笼形化合物或芳基核心结构,以及共价结合笼形化合物或核心结构的多个臂。 在随后的步骤中,将热固性单体引入聚合物中以形成低介电常数聚合物,其中掺入聚合物中包含位于至少一个臂中的三键的化学反应。 考虑的笼状化合物和核心结构包括金刚烷,二金刚烷,硅,苯基和亚噻吩基,而优选的臂包括亚芳基,支链亚芳基和亚芳基醚。 热固性单体可以有利地用于在电子器件中产生低k介电材料,并且聚合物的介电常数可以通过改变臂的整个长度来控制。