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1. 发明申请

WO2009074141A2 VERFAHREN ZUM ABTRAGEN VON MATERIAL VON EINEM BAUTEIL UND ELEKTRODE 审中-公开
标题翻译：法测量材料从一个组成部分，除铅
公开(公告)号：WO2009074141A2
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：PCT/DE2008/002040
申请日：2008-12-05
申请人： MTU AERO ENGINES GMBH , BAYER, Erwin , BUSSMANN, Martin , PLATZ, Albin
发明人： BAYER, Erwin , BUSSMANN, Martin , PLATZ, Albin
CPC分类号： B23H3/00 , B23H1/04 , B23H3/04 , B23H3/06 , B23H3/10 , B23H5/10 , B23H7/26
摘要： Bei einem Verfahren zum Abtragen von Material von einem Bauteil (10, 10'), das als Anode geschaltet wird, und wobei eine als Kathode geschaltete Elektrode (12) zu dem Bauteil geführt wird, so dass ein Spalt (16) gebildet wird, und bei dem ein Elektrolyt in den Spalt eingebracht wird, wird durch Bildung eines Kanals ein geschlossenes System für den Elektrolyten gebildet. Dieser wird beständig von einer Zufuhröffnung zu einer Abfuhröffnung des Kanals geleitet. Durch die Bildung des Kanals, beispielsweise durch Führungselemente (18), die an der Elektrode (12) befestigt sind, ist gewährleistet, dass lediglich diejenigen Oberflächenteile des zu bearbeitenden Bauteils (10) mit dem Elektrolyten in Berührung kommen, von dem Material abgetragen werden soll, und dass die übrigen Oberflächenteile nicht mit dem Elektrolyten in Berührung kommen. Durch das beständige Leiten des Elektrolyten über diese Oberfläche hinweg wird verbrauchter Elektrolyt zusammen mit Rückständen beständig abgeführt und frischer Elektrolyt zugeführt, so dass das Verfahren besonders störungsfrei und zügig durchführbar ist.
摘要翻译：在用于从连接作为阳极的部件（10，10“）去除材料，和一种方法，其中一个切换作为阴极电极（12）被引导到该组件，从而形成一间隙（16），和其中，电解质被引入间隙通过形成通道用于电解质的封闭系统形成。这是连续地从进料口向信道的排出口供给。通过形成的通道，例如，通过在电极（12）上的导向元件（18）是固定的，它保证了仅由组分的那些表面部分被加工（10）接触的电解质加入到从材料烧蚀并且，剩余的表面部分不接触到与电解质接触。通过不断地使电解质随时间废电解质的表面被连续残基一起排出和新鲜电解质供应，因此该方法特别平滑且迅速地进行。

2. 发明申请

WO2003076134A1 METHODS AND APPARATUS FOR ELECTROCHEMICAL-MECHANICAL PROCESSING OF MICROELECTRONIC WORKPIECES 审中-公开
标题翻译：微电子工件电化学机械加工的方法与装置
公开(公告)号：WO2003076134A1
公开(公告)日：2003-09-18
申请号：PCT/US2003/006373
申请日：2003-02-28
申请人： MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人： MOORE, Scott E. , LEE, Whonchee , MEIKLE, Scott G. , DOAN, Trung T.
IPC分类号： B24B37/04
CPC分类号： B24B37/042 , B23H5/08 , B23H5/10 , B24B37/04 , B24B49/10 , C25D5/06 , C25D5/18 , C25D5/22 , C25D7/12 , C25D7/123 , C25D17/001 , C25D17/10 , C25D17/14 , C25F3/16 , C25F7/00 , H01L21/32125
摘要： Methods and apparatuses for electrochemical-mechanical processing of microelectronic workpieces.One embodiment of an electrochemical processing apparatus (100) in accordance with the invention comprises a workpiece holder (120) configured to receive a microelectronic workpiece (110), a workpiece electrode (130), a first remote electrode (142a), and a second remote electrode (142b). The workpiece electrode (142) is configured to contact a processing side (113) of the workpiece (110) when the workpiece is received in the workpiece holder (120). The first and second remote electrodes (142) are spaced apart from the workpiece holder (120). The apparatus (100) can also include an AC power supply (174), a DC power supply (172), and a switching assembly (180). The switching assembly (180) is coupled to the workpiece electrode (130), the first remote electrode (142a), the second remote electrode (142b), the AC power supply (174), and the DC power supply (172). In operation, the switching assembly (180) couples the AC power supply (174) and/or the DC power supply (172) to the workpiece electrode (130), the first remote electrode (142a), and/or the second remote electrode (142b) for plating, deplating and/or mechanically removing material.
摘要翻译：微电子工件的电化学 - 机械加工的方法和设备。根据本发明的电化学处理设备（100）的一个实施例包括被配置为接收微电子工件（110）的工件保持器（120），工件电极（130），第一远程电极（142a）和第二远程电极（142b）。工件电极（142）构造成当工件被接收在工件保持器（120）中时接触工件（110）的处理侧（113）。第一和第二远程电极（142）与工件保持器（120）间隔开。装置（100）还可以包括AC电源（174），DC电源（172）和开关组件（180）。开关组件（180）耦合到工件电极（130），第一远程电极（142a），第二远程电极（142b），交流电源（174）和直流电源（172）。在操作中，开关组件（180）将AC电源（174）和/或DC电源（172）耦合到工件电极（130），第一远程电极（142a）和/或第二远程电极（142b），用于电镀，去除和/或机械去除材料。

3. 发明申请

WO2011047838A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ELEKTRODE UND KORRESPONDIERENDE ELEKTRODE 审中-公开
标题翻译：方法制造电极和相应的电极
公开(公告)号：WO2011047838A1
公开(公告)日：2011-04-28
申请号：PCT/EP2010/006393
申请日：2010-10-19
申请人： ADMEDES SCHUESSLER GMBH , SIEKMEYER, Gerd
发明人： SIEKMEYER, Gerd
IPC分类号： B23H3/04 , B23H3/06 , B23H5/10
CPC分类号： B23H3/04 , B23H3/06 , B23H5/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Elektrode (16, 18) für die elektrochemische Bearbeitung eines Werkstücks mit den Schritten: Bereitstellen eines elektrisch leitenden Graphitsubstrats (10); Auftragen zumindest einer Dünn-Schicht (30) zumindest teilweise auf zumindest eine Oberfläche des Graphitsubstrats (10); und mechanisches Abtragen der Dünn-Schicht (30) an einem vorgegebenen Abschnitt des Graphitsubstrats (10).
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于包括以下步骤的工件的电化学加工制造电极（16，18）：提供导电石墨衬底（10）; 施加至少一个薄层（30）至少部分地在所述石墨基材（10）的至少一个表面上; 和在石墨基体（10）的预定部分机械去除薄层（30）的。

4. 发明申请

WO2009074141A3 METHOD FOR REMOVING MATERIAL FROM A COMPONENT, AND ELECTRODE 审中-公开
标题翻译：法测量材料从一个组成部分，除铅
公开(公告)号：WO2009074141A3
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/DE2008002040
申请日：2008-12-05
申请人： MTU AERO ENGINES GMBH , BAYER ERWIN , BUSSMANN MARTIN , PLATZ ALBIN
发明人： BAYER ERWIN , BUSSMANN MARTIN , PLATZ ALBIN
IPC分类号： B23H3/00 , B23H3/10
CPC分类号： B23H3/00 , B23H1/04 , B23H3/04 , B23H3/06 , B23H3/10 , B23H5/10 , B23H7/26
摘要： Disclosed is a method for removing material from a component (10, 10') that is connected as an anode. In said method, an electrode (12) that is connected as a cathode is guided to the component such that a gap (16) is formed, an electrolyte is introduced into the gap, and a closed system is formed for the electrolyte by forming a duct. The electrolyte is continuously conducted from an inlet to an outlet of the duct. Forming the duct, e.g. by means of conducting elements (18) that are mounted on the electrode (12), ensures that only those surface parts of the component (10) to be machined from which material is to be removed enter in contact with the electrode while the other surface parts do not enter in contact with the electrolyte. Since the electrolyte is continuously conducted across said surface, used electrolyte is continuously discharged along with residual matter while fresh electrolyte is delivered such that the method can be carried out in a particularly trouble-free and expedient manner.
摘要翻译：在用于从连接作为阳极的部件（10，10“）去除材料，和一种方法，其中一个切换作为阴极电极（12）被引导到该组件，从而形成一间隙（16），和其中，电解质被引入间隙通过形成通道用于电解质的封闭系统形成。这是连续地从进料口向信道的排出口供给。通过形成的通道，例如，通过在电极（12）上的导向元件（18）是固定的，它保证了仅由组分的那些表面部分被加工（10）接触的电解质加入到从材料烧蚀并且，剩余的表面部分不接触到与电解质接触。通过不断地使电解质随时间废电解质的表面被连续残基一起排出和新鲜电解质供应，因此该方法特别平滑且迅速地进行。

5. 发明申请

WO2009011985A1 APPARATUS AND METHOD FOR HYBRID MACHINING A CONTOURED, THIN-WALLED WORKPIECE 审中-公开
标题翻译：混合加工薄膜工件的装置和方法
公开(公告)号：WO2009011985A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/US2008/065866
申请日：2008-06-05
申请人： GENERAL ELECTRIC COMPANY , TRIMMER, Andrew, Lee , KRAY, Nicholas, Joseph , MILLER, Joshua, Leigh , LAMPHERE, Michael, Scott , WEI, Bin
发明人： TRIMMER, Andrew, Lee , KRAY, Nicholas, Joseph , MILLER, Joshua, Leigh , LAMPHERE, Michael, Scott , WEI, Bin
IPC分类号： B23H5/02 , B23H5/06 , B23H5/14
CPC分类号： B23H5/02 , B23H5/04 , B23H5/06 , B23H5/10 , B23H5/12 , B23H5/14 , B23H9/10 , Y10T409/30756 , Y10T409/30868
摘要： An apparatus and methpd for hybrid machining a workpiece is disclosed. The workpiece (50) is powered as an anode, a cutter (14) is powered as a cathode and a cutting fluid or coolant is circulated therebetween. The cutter is made of a conductive material and a non-conductive abrasive material. The hybrid machine (10) performs a roughing pass machining operation in.which material is removed from the workpiece at a relatively high rate using a high-speed electro-erosion (HSEE) process. Then, the hybrid machine performs a finish pass machining operation in which material is removed from the workpiece using precision electro-grinding (PEG) process at a different differential electrical potential and/or flushing rate than the roughing pass machining operation to provide a smooth finish without thermal effects on the workpiece.
摘要翻译：公开了一种用于混合加工工件的装置和方法。工件（50）作为阳极供电，切割器（14）作为阴极供电，并且切割流体或冷却剂在其间循环。切割器由导电材料和非导电研磨材料制成。混合机械（10）进行粗加工加工操作，使用高速电蚀（HSEE）工艺以相对较高的速率从工件去除材料。然后，混合机械进行精加工加工操作，其中使用精密电磨（PEG）工艺在与粗加工加工操作不同的差电位和/或冲洗速率下从工件去除材料以提供光滑的光洁度对工件无热影响。

6. 发明申请

WO2015010958A1 ELEKTRODE MIT EINEM KOPF, SOWIE ZWEI VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KOPFES, UND EIN VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SOLCHEN ELEKTRODE 审中-公开
标题翻译：有头，和一种用于生产二头，用于制备这种电极引线
公开(公告)号：WO2015010958A1
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：PCT/EP2014/065144
申请日：2014-07-15
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： KAMENZKY, Susanne , MÜNZER, Jan
IPC分类号： B23H5/10 , B23H5/04 , B23H9/10 , B23H9/14
CPC分类号： B23H5/10 , B23H5/04 , B23H9/10 , B23H9/14
摘要： Die Erfindung betrifft eine Elektrode (1,10,100) zur Bearbeitung eines Werkstücks, umfassend einen Hohlzylinder mit einem Hohlzylinderinnendurchmesser (3) und einen auf dem Hohlzylinder (2) angebrachten, zu dem Werkstück weisenden Kopf (20, 200, 2000), wobei der Kopf (20, 200, 2000) zumindest einen zum Werkstück weisenden Spitzenbereich aufweist, wobei der Kopf (20, 200, 2000) auf dem Hohlzylinder (2) montierbar und demontierbar ist, und wobei der Kopf (20, 200, 2000) zumindest ein abrasives, spanendes Mittel und ein zu einem thermischen Abtrag, insbesondere zu einem funkenerosiven Abtrag, geeignetes Material (5) aufweist, so dass bei einer Bearbeitung des Werkstücks durch den Kopf (20, 200, 2000) ein abrasiver, spanender Abtrag, als auch ein thermischer, nichtmechanischer Abtrag des Werkstücks gleichzeitig möglich ist und wobei der Hohlzylinder (2) zumindest ein zu einem thermischen Abtrag, insbesondere zu einem funkenerosiven Abtrag, geeignetes Material (5) aufweist und wobei der zum Werkstück weisende Spitzenbereich des Kopfes (20, 200, 2000) näherungsweise als Kegel (23, 230, 2300) mit einer zum Werkstück weisenden Kegelspitze (26, 260, 2600) und einer Kegelgrundfläche mit einem Kegelgrunddurchmesser (29, 290, 2900) ausgestaltet ist, und wobei der Kegelgrundfläche ein werkstückabgewandt angeschlossener Endbereich, welcher als Endzylinder (21, 210, 2100) mit einem Endzylinderaußendurchmesser (24, 240, 2400) ausgestaltet ist, nachfolgt und wobei der Endzylinderaußendurchmesser (24, 240, 2400) kleiner als der Kegelgrunddurchmesser (29, 290, 2900) ist. Weiterhin betrifft die Erfindung zwei Verfahren zum Herstellen eines solchen Kopfes und ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Elektrode.
摘要翻译：本发明涉及的电极（1,10,100）用于加工工件，其包括附接至中空圆筒的直径（3）内部的空心圆柱体，一个在中空圆柱体（2），所面临的工作头（20，200，2000），其中，所述头部（20，200，2000），其具有至少一个侧面面对工件尖端部分，其中，在所述中空圆柱体（2）的头部（20，200，2000年）可附接和可拆卸的，并且其中，所述头部（20，200，2000）的至少一个磨料具有跨度剂和至热消融，特别是涉及一种火花侵蚀去除，合适的材料（5），使得对于由所述头部（20，200，2000）研磨剂，碎裂的材料去除，以及热所涉及的工件的加工，非机械去除所述工件的同时是可能的，其中，所述中空圆柱体（2）具有至少一个给一个热消融，特别是涉及一种火花侵蚀去除，合适的材料（5）和其中D 他朝向头部（20，200，2000）的工件尖端区域指向大致为锥形（23，230，2300）具有面向所述工件锥尖（26，260，2600），并与一个锥底直径（29，290，2900）的锥形底部的侧被配置，并且其中所述圆锥体的基础上，从连接的端部，其作为端缸（21，210，2100）用一个Endzylinderaußendurchmesser（24，240，2400）被配置背离工件如下，并且其中所述Endzylinderaußendurchmesser（24，240，2400）小于锥底直径（29，290，2900）的。本发明还涉及一种制造这种磁头的两种方法，以及制造这样的电极的方法。

7. 发明申请

WO2005061177A1 PAD ASSEMBLY FOR ELECTROCHEMICAL MECHANICAL PROCESSING 审中-公开
标题翻译：电化学机械加工用PAD组件
公开(公告)号：WO2005061177A1
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/US2004/037870
申请日：2004-11-12
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , HU, Yongqi , TSAI, Stan D. , WANG, Yan , LIU, Feng Q. , CHANG, Shou-Sung , CHEN, Liang-Yuh
发明人： HU, Yongqi , TSAI, Stan D. , WANG, Yan , LIU, Feng Q. , CHANG, Shou-Sung , CHEN, Liang-Yuh
IPC分类号： B24B37/04
CPC分类号： B24B37/26 , B23H5/06 , B23H5/08 , B23H5/10 , B24B37/042 , B24B37/046 , B24B37/22 , B24B37/24 , B24B49/16 , B24B53/017 , C25D17/14 , H01L21/32125
摘要： Embodiments of a processing pad assembly for processing a substrate are provided. The processing pad assembly includes an upper layer having a processing surface and an electrode having a top side coupled to the upper layer and a bottom side opposite the top side. A first set of holes is formed through the upper layer for exposing the electrode to the processing surface. At least one aperture is formed through the upper layer and the electrode.
摘要翻译：提供了用于处理衬底的处理衬垫组件的实施例。处理垫组件包括具有处理表面的上层和具有联接到上层的顶侧和与顶侧相对的底侧的电极。通过上层形成第一组孔，用于将电极暴露于处理表面。通过上层和电极形成至少一个孔。

8. 发明申请

WO2003099519A1 POLISHING PAD FOR ELECTROCHEMICAL-MECHANICAL POLISHING AND METHODS TO MANUFACTURE IT 审中-公开
标题翻译：电化学机械抛光抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：WO2003099519A1
公开(公告)日：2003-12-04
申请号：PCT/US2003/016416
申请日：2003-05-22
申请人： NUTOOL, INC.
发明人： BASOL, Bulent, M. , GUO, George, Xinsheng
IPC分类号： B24D11/00
CPC分类号： B23H5/10 , B23H5/08 , B24B37/24 , C25D17/14 , Y10T428/24364 , Y10T428/24372 , Y10T428/24579 , Y10T428/24587 , Y10T428/24612 , Y10T428/256 , Y10T428/257 , Y10T428/268
摘要： A top layer comprises a flexible support (804) and a plurality of hard elements (808) anchored in a binder (806) over the flexible support, and a method of forming the same is provided. In one embodiment, certain ones of the hard elements (808) have a contact surface adapted to contact the conductive surface, with the binder (806) being disposed below the contact surface of each of the certain ones of the hard elements. In another embodiment, the top layer comprises a flexible support (804), a plurality of hard elements (808) are anchored in a binder over the flexible support such that certain ones of the hard elements (808) have a top surface and the binder (806) is disposed below the top surface of each of the certain ones of the hard elements (808), and a hard material coating is disposed over the plurality of hard elements and the binder, thereby creating a contact surface of the hard material coating at locations corresponding to the top surface of the certain ones of the hard elements.
摘要翻译：顶层包括柔性支撑件（804）和锚固在柔性支撑件上方的粘合剂（806）中的多个硬质元件（808），并且提供了一种形成该支撑件的方法。在一个实施例中，某些硬元件（808）具有适于接触导电表面的接触表面，粘合剂（806）设置在每个硬质元件的接触表面的下方。在另一个实施例中，顶层包括柔性支撑件（804），多个硬质元件（808）锚定在柔性支撑件上的粘合剂中，使得某些硬质元件（808）具有顶表面，并且粘合剂（806）设置在所述硬质元件（808）中的每一个的上表面的下方，并且在所述多个硬质元件和所述粘合剂上设置硬质材料涂层，由此形成所述硬质材料涂层的接触面在对应于某些硬元件的顶表面的位置处。

9. 发明申请

WO2019056266A1 一种超硬磨料镀层电极放电磨削复合加工装置及方法审中-公开
公开(公告)号：WO2019056266A1
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：PCT/CN2017/102739
申请日：2017-09-21
申请人：深圳大学
发明人：伍晓宇 , 鲁艳军 , 周超兰 , 徐斌 , 赵航 , 雷建国
IPC分类号： B23H5/04 , B23H5/10
CPC分类号： B23H5/04 , B23H5/08 , B23H5/10
摘要：一种超硬磨料镀层电极放电磨削复合加工装置(100)，用于对工件(90)进行加工，所述超硬磨料镀层电极放电磨削复合加工装置(100)包括工具电极(20)、用于提供脉冲放电并与工件(90)电线连接且与工具电极(20)电线连接的脉冲电源(80)、用于驱动工具电极(20)旋转的旋转驱动器(10)以及用于驱动旋转驱动器(10)在空间内移动的移动驱动器，工具电极(20)包括多层铜箔材料制作成的圆环状多层薄片电极片(21)，电极片(21)包括极片本体(211)以及由超硬磨料制成且采用电镀方法涂覆在极片本体(211)两侧的磨粒(212)。该装置可在工件(90)的表面高效率、一次并排加工出多个光滑的微沟槽阵列结构(91)，从而实现硬脆材料的电火花放电磨削加工，提高放电磨削效率和放电磨削质量。

10. 发明申请

WO2015110330A1 ECM-ELEKTRODE MIT MECHANISCHER SCHNEIDE UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：与机械切割和程序ECM LEAD
公开(公告)号：WO2015110330A1
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：PCT/EP2015/050577
申请日：2015-01-14
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： KAMENZKY, Susanne
IPC分类号： B23H1/04 , B23H5/06 , B23H9/10 , B23H9/14 , B23H3/04 , B23H5/10
CPC分类号： B23H5/06 , B23H3/04 , B23H5/10 , B23H9/10 , B23H9/14 , B23P2700/06
摘要： Durch die Verwendung einer hohlen Elektrode (10), die sowohl ein mechanisches Bearbeitungswerkzeug und eine elektrolytische Bearbeitung ermöglicht, ist mit einer Elektrode die Bearbeitung eines metallischen Substrats (3) mit einer keramischen Beschichtung (7) möglich.
摘要翻译：通过使用中空电极（10），其允许两个机械加工工具和电解加工，有陶瓷涂层（7）的金属衬底（3）的加工是可能的的电极。

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