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1. 发明申请

WO2015150677A1 PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE D'UN ECHANTILLON SOLIDE ORGANIQUE PAR SPECTROMETRIE DE DECHARGE LUMINESCENTE 审中-公开
标题翻译：通过玻璃放电光谱法测量有机固体样品的方法和装置
公开(公告)号：WO2015150677A1
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：PCT/FR2015/050809
申请日：2015-03-27
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS
发明人： CHAPON, Patrick , TEMPEZ, Agnès , LEGENDRE, Sébastien
IPC分类号： H01J49/10
CPC分类号： H01J49/105 , H01J49/0031 , H01J49/24 , H01J49/40
摘要： La présente invention concerne un système et un procédé de mesure par spectrométrie de décharge luminescente de la composition chimique élémentaire et/ou moléculaire d'un échantillon solide organique (10). Selon l'invention: on dispose l'échantillon (10) de manière à fermer un réacteur à plasma de décharge luminescente (2), on injecte dans le réacteur (2) un mélange gazeux comprenant au moins un gaz rare et de l'oxygène gazeux, la concentration en oxygène gazeux étant comprise entre 0.1 % et 15% massique du mélange gazeux, on applique une décharge électrique de type radio-fréquence aux électrodes du réacteur à plasma (2) pour générer un plasma de décharge luminescente, et on expose l'échantillon solide (10) audit plasma de manière à graver un cratère d'érosion dans l'échantillon solide (10); on sélectionne et on mesure au moyen d'un spectromètre de masse (4) au moins un signal représentatif d'une espèce ionisée de charge négative.
摘要翻译：本发明涉及通过辉光放电光谱法测量有机固体样品（10）的元素和/或分子化学组成的系统和方法。根据本发明：样品（10）被定位成密封辉光放电等离子体反应器（2），包含至少一种惰性气体和气态氧气的气体混合物注入到反应器（2）中，气态浓度氧气为气体混合物重量的0.1％至15％之间，为了产生辉光放电等离子体，将等离子体反应器（2）的电极施加射频型放电，固体样品（10）为暴露于所述等离子体以蚀刻固体样品（10）中的侵蚀坑; 使用质谱仪（4）选择和测量代表负电荷的离子化物质的至少一个信号。

2. 发明申请

WO2014202892A1 PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE SPECTROMÉTRIE DE MASSE À DÉCHARGE LUMINESCENTE 审中-公开
标题翻译： GLOW放射性质谱方法和装置
公开(公告)号：WO2014202892A1
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：PCT/FR2014/051493
申请日：2014-06-17
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS
发明人： CHAPON, Patrick , LEGENDRE, Sébastien
IPC分类号： H01J49/12 , H01J37/32
CPC分类号： H01J49/12 , H01J37/32018 , H01J37/32862 , H01J49/0031 , H01J49/40
摘要： La présente invention concerne un dispositif et procédé de spectrométrie de masse à décharge luminescente, le dispositif comprenant une lampe à décharge luminescente (1), des moyens d'injection d'un flux de gaz, ladite lampe à décharge luminescente étant adaptée pour former un plasma d'ablation en présence d'un gaz de plasma et un spectromètre de masse. Selon l'invention, le dispositif comporte des moyens de chauffage (30, 31) adaptés pour chauffer un flux de gaz (38) en amont de ladite cellule (2), les moyens d'injection de gaz étant adaptés pour injecter, dans la cellule de décharge luminescente, un flux de gaz (38) chauffé à une température T pendant une durée D, et en ce que les moyens de pompage (7, 27) sont configurés pour pomper un flux d'espèces gazeuses (17, 37) hors de ladite cellule pendant la durée D, de manière à décontaminer la surface de l'échantillon (4) et/ou les parois internes de la cellule (2) de décharge luminescente avant l'allumage d'un plasma d'ablation (5).
摘要翻译：本发明涉及辉光放电质谱装置和方法，该装置包括辉光放电灯（1），气流注入装置，辉光放电灯适用于在等离子体气体存在下形成消融等离子体，以及质谱仪根据本发明，该装置包括适于加热电池（2）上游的气流（38）的加热装置（30,31），气体注入装置适合于向辉光放电室注入气流 38）被加热到温度T持续持续时间D，并且泵送装置（7,27）被设计成将气态物质（17,37）的流动泵出电池持续时间D，以便净化表面在消融等离子体（5）被点燃之前的辉光放电单元（2）的样品（4）和/或内壁。

3. 发明申请

WO2011012825A1 SYSTEME OPTIQUE PLANAIRE D'IMAGERIE POLYCHROMATIQUE A LARGE CHAMP DE VISION 审中-公开
标题翻译：用于宽视场聚焦成像的平面光学系统
公开(公告)号：WO2011012825A1
公开(公告)日：2011-02-03
申请号：PCT/FR2010/051622
申请日：2010-07-29
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , DESSEROUER, Frédéric
发明人： DESSEROUER, Frédéric
IPC分类号： G02B6/124 , G02B6/34 , G02B27/01
CPC分类号： G02B27/0101 , G02B5/18 , G02B5/1861 , G02B6/0011 , G02B27/0037 , G02B2027/0112
摘要： 1 La présente invention concerne un système optique planaire (10) d'imagerie polychromatique à large champ de vision comprenant un guide d'onde planaire (3) comprenant deux faces (4, 5) planes et parallèles, un coupleur d'entrée comprenant un premier réseau de diffraction (1 ), un coupleur de sortie comprenant un second réseau de diffraction (2). Selon l'invention les réseaux de diffraction (1, 2) sont des réseaux de diffraction à faible densité de traits, ayant un pas supérieur à la longueur d'onde d'utilisation (λ1; λ3), de manière à ce que le réseau (1 ) soit apte à coupler un faisceau d'entrée (6, 16) d'angle d'incidence moyen i0 compris entre 30 degrés et 60 degrés dans le guide d'onde (3) par diffraction dans l'ordre + 1, ledit faisceau couplé (7, 17, 8, 18) formant un angle d'incidence interne supérieur à l'angle de réflexion total interne et inférieur à γ=80 degrés, et le second réseau (2) étant apte à recevoir le faisceau couplé et à le diffracter dans l'ordre - 1 hors du guide d'onde (3) sous un angle de sortie moyen i 1 compris entre 30 degrés et 60 degrés.
摘要翻译：本发明涉及用于宽视场多色成像的平面光学系统（10），包括平面波导（3），包括两个平面平行表面（4,5），输入耦合器包括第一衍射光栅（1））和包括第二衍射光栅（2）的输出耦合器。根据本发明，衍射光栅（1,2）是具有大于利用波长（λ1，θ3）的间隔的低沟槽密度衍射光栅，使得光栅（1）能够将输入光束具有30度至60度之间的平均入射角i 0通过+1级的衍射入波导管（3）中，所述耦合光束（7,17,8,18）形成一个内部入射角大于反射的总内部反射角并且小于λ= 80度，并且第二光栅（2）能够接收耦合光束并且在波导（3）的外侧以π1级衍射，平均输出角度i1在30度和60度之间。

4. 发明申请

WO2008128971A2 A SPECTROSCOPIC IMAGING METHOD AND SYSTEM FOR EXPLORING THE SURFACE OF A SAMPLE 审中-公开
标题翻译：用于探测样品表面的光谱成像方法和系统
公开(公告)号：WO2008128971A2
公开(公告)日：2008-10-30
申请号：PCT/EP2008054689
申请日：2008-04-17
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , ROUSSEL BERNARD , RAPAPORT ALEXANDRA , KOKOTA ALEXANDRE
发明人： ROUSSEL BERNARD , RAPAPORT ALEXANDRA , KOKOTA ALEXANDRE
IPC分类号： G01N21/65 , G01J3/28
CPC分类号： G01N21/65 , G01J3/2803 , G01J3/2823 , G01J3/44 , G01N2021/656
摘要： The present invention concerns a spectroscopic imaging method and system for exploring the surface (2) of a sample (1 ). The spectroscopic imaging system comprising a microscopic or macroscopic device comprising an objective (5), a housing (6) including a spectroscope, and scanning means (1 1 ) disposed between the objective (5) of the microscopic or macroscopic device and the spectroscope and being able to scan the sample surface (2) in two directions X and Y in order to illuminate a scanned area on the sample surface (2). According to the invention, during the scanning of the excitation beam (8) on the scanned area, the energy of the emitted light beam (9) measured on the scanned area is integrated on the pixels of the detection means (10), generating average spectral data for each line of pixels, storage means (12) are connected to the detection means (10), said average spectral data of each line of pixels being transferred toward the storage means (12), and said storage means (12) comprising a memory able to store average spectral data of M lines of pixels, and an imaging device (13) is connected to the storage means (12), said average spectral data of M lines of pixels being send simultaneously toward said imaging device (13) in order to obtain an average spectroscopic image of the scanned area.
摘要翻译：本发明涉及一种用于探测样品（1）的表面（2）的光谱成像方法和系统。该分光成像系统包括微观或宏观装置，其包括物镜（5），包括分光镜的壳体（6）和设置在微观或宏观装置的目标（5）和分光器之间的扫描装置（11），以及能够在两个方向X和Y上扫描样品表面（2），以便照射样品表面（2）上的扫描区域。根据本发明，在扫描区域上的激发光束（8）的扫描期间，在扫描区域上测量的发射光束（9）的能量被集成在检测装置（10）的像素上，产生平均每个像素行的光谱数据，存储装置（12）连接到检测装置（10），每个像素行的平均光谱数据被传送到存储装置（12），并且所述存储装置（12）包括存储器，其能够存储M行像素的平均光谱数据，并且成像装置（13）连接到存储装置（12），所述M条像素的所述平均光谱数据同时朝向所述成像装置（13）发送，以获得扫描区域的平均分光图像。

5. 发明申请

WO2008119906A1 SPECTROGRAPHE A FENTE INCLINEE 审中-公开
标题翻译： INCLINED-SLIT SPECTROGRAPH
公开(公告)号：WO2008119906A1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：PCT/FR2008/050334
申请日：2008-02-27
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , THEVENON, Alain , MILLET, Viviane , CORDE, Pierre-André
发明人： THEVENON, Alain , MILLET, Viviane , CORDE, Pierre-André
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/04 , G01J3/28
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/04 , G01J3/2803
摘要： L'invention concerne un spectrographe à fente inclinée comprenant une source lumineuse (1), une fente d'entrée (3), un réseau (4), un détecteur (7) comportant une fenêtre à travers laquelle est transmis le faisceau lumineux diffracté par le réseau (4), une partie du faisceau lumineux diffracté générant des réflexions sur la fenêtre ou entre celle-ci et la surface sensible du détecteur (7). Selon l'invention, le spectrographe à fente inclinée comprend un moyen de compensation apte à compenser les pertes de résolution spectrale générées par les moyens d'inclinaison, ledit moyen de compensation comprenant la fente d'entrée (3, 9) qui est une fente d'entrée inclinée (9) de forme rectangulaire.
摘要翻译：本发明涉及一种倾斜狭缝光谱仪，其包括光源（1），入口狭缝（3），光栅（4）和检测器（7），所述检测器（7）包括由光栅（4）衍射的光束的窗口，其中衍射光束的一部分在窗口或窗口与检测器（7）的敏感表面之间产生反射。根据本发明，倾斜狭缝光谱仪包括可以补偿由倾斜装置产生的光谱分辨率损失的补偿装置，所述补偿装置包括采取矩形倾斜入口狭缝（9）形式的入口狭缝（3,9））。

6. 发明申请

WO2005064364A1 RESEAU DE DIFFRACTION BIDIMENSIONNEL A EMPILEMENTS MULTICOUCHES ALTERNES ET SON PROCEDE DE FABRICATION ET DISPOSITIFS SPECTROSCOPIQUES COMPORTANT CES RESEAUX 审中-公开
标题翻译：具有替代多层堆叠的二维衍射网络及其生产方法和包含该网络的光谱设备
公开(公告)号：WO2005064364A1
公开(公告)日：2005-07-14
申请号：PCT/FR2004/050755
申请日：2004-12-23
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , SYNCHROTRON SOLEIL
发明人： POLACK, François , IDIR, Mourad , JOURDAIN, Erick , LIARD-CLOUP, Audrey
IPC分类号： G02B5/08
CPC分类号： G02B5/1838 , B82Y10/00 , G01J3/18 , G21K2201/061
摘要： L'invention concerne un réseau bidimensionnel de diffraction pour la dispersion de flux lumineux polychromatique ou quasimonochromatique comportant un substrat (2) ayant une surface, (3), un premier (5) et un deuxième (6) empilements de couches minces bipériodiques de période d dans le sens de l'épaisseur, comportant au moins dix périodes, chaque période d étant constituée de couches d'au moins deux matériaux (7, 8) différents, lesdits empilements (5, 6) formant des traits contigus (11) de largeur p/2, parallèles entre eux, et répétés périodiquement dans une direction parallèle à la surface du substrat (2) avec une période p, le deuxième empilement (6) étant alterné avec le premier empilement (5) et décalé en épaisseur de d/2, de sorte que les empilements (5 et 6) constituent un réseau épais (9) porté par le substrat (2). Selon l'invention, ledit réseau épais (9) est formé de la répétition doublement périodique d'une même maille élémentaire, surmonté d'un réseau mince de surface (10) ayant une amplitude au plus égale à d/2.
摘要翻译：本发明涉及一种用于分散多色或准单色光束的二维衍射网络，其包括具有表面的衬底（2），（3），第一（5）和第二（6）双周期薄在其厚度方向上的周期d的层由至少两个周期组成，每个周期由至少两个不同材料（7,8）的层组成，所述堆叠（5,6）形成连续的线（ 11），宽度p / 2并且彼此平行并且周期性地以与周期p的衬底（2）的表面平行的方向重复，其中第二堆叠（6）与第一堆叠（5）并且被厚度d / 2偏移，使得堆叠（5和6）构成由衬底（2）承载的厚网络（9）。根据本发明，所述厚网络（9）由宽度最大等于d / 2的薄表面网络（10）所覆盖的相同基本网格的双周期重复形成。

7. 发明申请

WO2015166186A1 SYSTEME ET PROCEDE DE SPECTROMETRIE DE DECHARGE LUMINESCENTE ET DE MESURE IN SITU DE LA PROFONDEUR DE GRAVURE D'UN ECHANTILLON 审中-公开
标题翻译：用于测量样品表面深度的玻璃放电光谱法和系统
公开(公告)号：WO2015166186A1
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：PCT/FR2015/051156
申请日：2015-04-28
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS
发明人： RICHARD, Simon , GASTON, Jean-Paul , ACHER, Olivier , CHAPON, Patrick
IPC分类号： G01N21/67 , B23K26/36 , G01J3/443 , G01B11/22 , G01N21/68 , H01J37/32
CPC分类号： G01N21/67 , G01B11/22 , G01J3/443 , G01N21/68 , G01N2201/06113 , G01N2201/0612 , H01J37/32018 , H01J37/32963 , H01J37/32972 , H01J2237/334
摘要： La présente invention concerne un système de spectrométrie de décharge luminescente comprenant une lampe à décharge luminescente adaptée pour recevoir un échantillon (10) solide et former un plasma (19) de gravure par décharge luminescente. Selon l'invention, un système (100) de mesure in situ ôe la profondeur du cratère d'érosion généré par gravure de l'échantillon (10) comporte un séparateur optique (3) des moyens optiques (4) adaptés pour diriger, respectivement, un premier faisceau incident (21 ) vers une première zone (1 1 ) de l'échantillon exposée au plasma de gravure et un deuxième faisceau incident (22) vers une deuxième zone (12) de la même face de l'échantillon protégée vis-à-vis du plasma de gravure et un dispositif de recombinaison optique (3) adapté pour former un faisceau interférométrique (30) de manière à déterminer la profondeur (d) du cratère d'érosion.
摘要翻译：本发明涉及一种辉光放电光谱系统，其包括适于接收固体样品（10）并形成辉光放电蚀刻等离子体（19）的辉光放电灯。根据本发明，用于原位测量通过蚀刻样品（10）产生的侵蚀坑的深度的系统（100）包括光学分离器（3），适于引导第一入射光束的光学装置（4） 21）朝向样品的第一区域（11），该区域暴露于蚀刻等离子体，以及朝向样品的同一侧的第二区域（12）的第二入射光束（22），该区域被保护蚀刻等离子体和适于形成干涉光束（30）的光学重组装置（3），以便确定侵蚀坑的深度（d）。

8. 发明申请

WO2013014379A1 DISPOSITIF OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE CONOSCOPIQUE A CONE CREUX POUR MICROSCOPE OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE MICROSCOPIE OPTIQUE EN CONOSCOPIE 审中-公开
标题翻译：具有光学显微镜的中空孔的光致发光光学器件和结合光学显微镜的方法
公开(公告)号：WO2013014379A1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：PCT/FR2012/051730
申请日：2012-07-20
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , FROIGNEUX, Emmanuel , SCHREIBER, Joachim
发明人： FROIGNEUX, Emmanuel , SCHREIBER, Joachim
IPC分类号： G02B21/08 , G02B5/00
CPC分类号： G02B21/10 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/10 , G01J3/44 , G01J4/00 , G01N21/211 , G01N21/65 , G01N21/658 , G01N2021/213 , G02B5/001 , G02B21/084 , G02B21/16
摘要： La présente invention concerne un procédé de microscopie et un dispositif optique d'éclairage à cône creux pour microscope. Selon l'invention, le dispositif d'éclairage comprend une première lentille conique (1 ) apte à recevoir un faisceau lumineux incident collimaté (10) et à former un faisceau lumineux conique (20), une deuxième lentille conique (5) disposée de manière à recevoir ledit faisceau lumineux conique (20, 40) et à former un faisceau lumineux cylindrique à fond noir (50) et un objectif optique (6) ayant un plan focal image (12) disposé de manière à recevoir ledit faisceau lumineux cylindrique à fond noir (50), à former un faisceau lumineux à cône creux (60) et à focaliser ledit faisceau lumineux à cône creux (60) en un point (18) dans le plan focal image (12).
摘要翻译：本发明涉及一种显微镜的方法和具有用于显微镜的中空圆锥的照明光学装置。根据本发明，照明装置包括能够接收准直入射光束（10）并形成锥形光束（20）的第一锥形透镜（1），第二锥形透镜（5），其布置成以接收所述锥形光束（20,40）并且形成具有黑色背景（50）的圆柱形光束和具有图像焦平面（12）的光学透镜（6），所述图像焦平面（12）以可接收所述圆锥形光束具有黑色背景的光束（50），以形成中空锥形光束（60）并将所述中空锥形光束（60）聚焦到图像焦平面（12）中的点（18）中。

9. 发明申请

WO2012085455A9 DISPOSITIF ET PROCEDE DE VISUALISATION ET DE MESURE DE DIFFUSION RAMAN 审中-公开
公开(公告)号：WO2012085455A9
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：PCT/FR2011/053102
申请日：2011-12-20
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , FROIGNEUX, Emmanuel , DE BETTIGNIES, Philippe
发明人： FROIGNEUX, Emmanuel , DE BETTIGNIES, Philippe
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/10 , G01J3/44
摘要： La présente invention concerne un procédé et un dispositif optique de spectrométrie Raman et de visualisation d'un échantillon (7), ledit dispositif comprenant des moyens optiques de superposition d'un faisceau laser d'excitation (1) de bande spectrale B 0 et d'un faisceau de visualisation (2) ayant une bande spectrale B V de manière à former un faisceau incident combiné d'excitation et de visualisation et des moyens optiques de séparation disposés sur le trajet d'un faisceau collecté de diffusion sur l'échantillon (7) comprenant un premier moyen de filtrage (12), un deuxième moyen de filtrage (13) aptes à séparer spatialement ledit faisceau collecté en un premier faisceau secondaire et en deux faisceaux tertiaires comprenant chacun respectivement une bande spectrale choisie parmi la bande spectrale B 0 du laser, la bande spectrale B V du faisceau de visualisation et la bande spectrale B R du faisceau de diffusion Raman.

10. 发明申请

WO2012017158A1 DISPOSITIF ET PROCÈDE DE MESURE POLARIMÉTRIQUE A RÉSOLUTION MICROSCOPIQUE, ACCESSOIRE DE POLARIMÉTRIE POUR MICROSCOPE, ELLIPSO-MICROSCOPE ET MICROSCOPE A CONTRASTE ELLIPSOMÉTRIQUE 审中-公开
标题翻译：用于微结构分辨率的极性测量的装置和方法，用于微结构的极性附件，ELLIPSOMICROSCOPE和ELLIPSOMETRIC对比度显微镜
公开(公告)号：WO2012017158A1
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：PCT/FR2011/051715
申请日：2011-07-18
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , ACHER, Olivier
发明人： ACHER, Olivier
IPC分类号： G01J4/00 , G02B21/00
CPC分类号： G01J4/04 , G01J4/00 , G02B21/0092
摘要： La présente invention concerne un dispositif de mesure polarimétrique à résolution microscopique comprenant en particulier des moyens de conversion de polarisation aptes à modifier la polarisation d'un faisceau pour passer d'une distribution spatialement uniforme à une distribution de symétrie cylindrique autour de l'axe optique et réciproquement, lesdits moyens de conversion étant disposés sur l'axe d'un objectif de focalisation (7) pour focaliser ledit faisceau polarisé de symétrie cylindrique sur la surface d'un échantillon à mesurer. L'invention concerne également un micro-ellipsomètre, un microscope à contraste interférométrique, un accessoire polarimétrique pour microscope, et un procédé de mesure polarimétrique.
摘要翻译：本发明涉及具有微观分辨率的偏振测量装置，特别是包括能够改变光束的偏振以便从空间均匀分布转换成围绕光轴圆柱对称的分布的偏振转换装置，以及副反之亦然，所述转换装置被放置在聚焦物镜（7）的轴上，用于将所述圆柱对称的偏振光束聚焦在待测样品的表面上。本发明还涉及一种微型密度计，一种干涉对比显微镜，一种用于显微镜的极化附件和一种偏光测量方法。

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