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    • 4. 发明申请
    • VHM-SCHAFTFRÄSER MIT TiAlN-ZrN-BESCHICHTUNG
    • 整体硬质合金立铣刀的TiAlN涂层的ZrN
    • WO2016128504A1
    • 2016-08-18
    • PCT/EP2016/052891
    • 2016-02-11
    • WALTER AG
    • SCHIER, VeitENGELHART, Wolfgang
    • C23C14/34C23C14/35C23C14/06C23C28/04H01J37/34C23C30/00C23C28/00
    • C23C14/3485B23C5/16B23C2222/14B23C2222/84B23C2228/08B23C2228/10C23C14/0641C23C14/35C23C28/042C23C28/044C23C30/005H01J37/3426H01J37/3467
    • Vollhartmetallfräser (VHM-Fräser) mit einem Substrat aus Hartmetall und einer wenigstens auf den beim Fräsvorgang mit einem Werkstück in Kontakt tretenden Oberflächenbereichen im PVD-Verfahren aufgebrachten mehrlagigen Beschichtung, wobei die mehrlagige Beschichtung eine unmittelbar auf der Substratoberfläche abgeschiedene ein- oder mehrlagige Funktionsschicht und eine darüber abgeschiedene ein- oder mehrlagige Deckschicht umfasst, wobei die Funktionsschicht aus einer oder mehreren Lagen von Ti x Al 1-x N mit 0,3 ≤ x ≤ 0,55 besteht und eine Gesamtdicke von 1 µm bis 15 µm aufweist, die Deckschicht aus einer oder mehreren Lagen von ZrN besteht und eine Gesamtdicke von 50 nm bis 1 µm aufweist und die Funktionsschicht und die Deckschicht mittels High Power Impulse Magnetronsputtern (HI-PIMS) abgeschieden sind, wobei bei der Abscheidung der Funktionsschicht jedes Sputtertarget aus abzuscheidendem Material in der Beschichtungskammer mit Leistungspulsen beaufschlagt wird, welche eine Energiemenge auf das Sputtertarget übertragen, die eine maximale Leistungsdichte im Puls von ≤ 500 W/cm 2 übersteigt.
    • 整体硬质合金端铣刀(整体硬质合金端铣刀)用硬金属基材和至少施加的涂层,以与PVD工艺多层涂层的工件表面区域中的研磨操作过程中接触,所述多层涂覆直接在基板表面上沉积单层或多层功能层和一个 它包括沉积单层或多层涂层,其中所述功能层由具有0.3≤X≤0.55 TixAl1-Xn中的一个或多个层,并且具有1微米至15微米的总厚度,一个或多个层的顶层 由氮化锆,并且具有由高功率脉冲磁控管(HI-PIMS)被沉积的装置的50纳米至1微米的总厚度,并且所述功能层和覆盖层,各溅射靶是由材料中的功能层的沉积过程中施加在与功率脉冲涂覆室将被沉积 含 È发送能量的量至超过在≤500 W / cm 2的脉冲的最大功率密度的溅射靶。