专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2004109225A1 SCHALTBARES PUNKTLICHTQUELLEN-ARRAY UND DESSEN VERWENDUNG IN DER INTERFEROMETRIE 审中-公开
标题翻译：开关点光源阵列和用法干涉
公开(公告)号：WO2004109225A1
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：PCT/DE2004/001114
申请日：2004-06-01
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART , LIESENER, Jan , PRUSS, Christof
发明人： LIESENER, Jan , PRUSS, Christof
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02085 , G01B9/02039 , G01J3/10 , G01J2003/1286 , G02B26/0808 , G02F1/133526
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein schaltbares Punktlichtquellen-Array oder SLM sowie dessen Verwendung zur interferometrischen Vermessung von Prüflingsoberflächen insbesondere mit asphärischen Oberflächen. Das Punktlichtquellen-Array besteht aus einem Flüssigkristalldisplay oder LCD (2), einem hinter dem LCD (2) angeordneten Mikrolinsen-Array (3), durch das der Eingangsstrahl (1) nach Durchgang durch das LCD (2) in einzelne Teilstrahlen aufgespaltet wird, und einem Lochblenden-Array (4). Das Lochblenden-Array (4) bewirkt, dass nur eine durch Beugung an einem in das LCD (2) eingeschriebenen Beugungsmuster entstehende erste oder höhere Beugungsordnung (5) auf Blendenöffnungen des Lochblenden-Arrays (4) trifft. Anstatt des LCDs kann auch ein Kippspiegelarray oder DMD verwendet werden. Durch Einbau des Punktlichtquellen-Arrays in ein Interferometer lassen sich sehr genau bekannte Wellenfronten unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung als Referenzwellen erzeugen, die sich unabhängig voneinander schalten und in ihrer Phase schieben lassen.
摘要翻译：本发明涉及一种可切换的点光源阵列或SLM及其Prüflingsoberflächen的特别是与非球面表面的干涉测量使用。点光源阵列包括一个液晶显示器或LCD的（2）中，由LCD（2）的后面布置微透镜阵列（3），通过它穿过LCD（2）被分成单独的子束之后的输入光束（1），和针孔光阑阵列（4）。使针孔光阑阵列（4），只有在LCD在一个登记由衍射（2）衍射图案得到的孔径阵列（4）的孔衍射（5）入射的第一或更高阶的。相反，液晶显示器也有Kippspiegelarray或DMD的都可以使用。通过将点光源阵列中的干涉仪可以是非常精确地已知的波阵面不同的传播方向产生参考波，彼此独立的开关，并且可以在它的相位滑动。

2. 发明申请

WO2006082067A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR KONFOKALEN, CHROMATISCHEN, INTERFEROMETRISCHEN, SPEKTROSKOPISCHEN ABTASTUNG FÜR OPTISCHE MEHRLAGEN-DATENSPEICHER 审中-公开
标题翻译：方法和系统共聚焦，套色，干涉测量，光谱扫描用于光学层以上数据存储
公开(公告)号：WO2006082067A1
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：PCT/EP2006/000948
申请日：2006-02-03
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART , KÖRNER, Klaus , BERGER, Reinhard , DROSTE, Ulrich , KOHLER, Christian , OSTEN, Wolfgang , PRUSS, Christof , RUPRECHT, Aiko , WIESENDANGER, Tobias
发明人： KÖRNER, Klaus , BERGER, Reinhard , DROSTE, Ulrich , KOHLER, Christian , OSTEN, Wolfgang , PRUSS, Christof , RUPRECHT, Aiko , WIESENDANGER, Tobias
IPC分类号： G11B7/00 , G11B7/24 , G11B7/125 , G11B7/13 , G11B7/135 , G11B7/14 , G01B9/02 , G02B21/00
CPC分类号： G11B7/1384 , G01B9/02036 , G01B9/02042 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02091 , G01B2210/50 , G01B2290/15 , G02B3/0087 , G02B27/0025 , G11B7/1275 , G11B7/13 , G11B7/1381 , G11B7/14 , G11B7/24038 , G11B2007/0013
摘要： Bei einem interferometrischen, konfokalen Verfahren und einer interferometrischen, konfokalen Anordnung für optische Datenspeicher, insbesondere Terabyte-Volumenspeicher, erfolgt eine Kopplung der spektralen Zweistrahl-Merferometrie mit breitbandiger Quelle elektromagnetischer Strahlung mit der chromatisch-konfokalen Technik, die eine Längsaufspaltung von Foki im Speichervolumen ermöglicht, die beugungsbegrenzt sind. Dieses neue Verfahren wird hier als chromatisch-konfokale Spektral-Interferometrie (CC-SI) bezeichnet. Dem Interferometer mit konfokaler Diskriminierung im Strahlengang ist hierbei ein Spektrometer nachgeordnet. Zur chromatischen Längsaufspaltung ist im interferometrischen Strahlengang eine diffraktiv-optische Zonenlinse (DOZE) mit Nutzung der ersten Beugungsordnung eingesetzt. Das Interferometer kann als fasergekoppeltes Interferometer mit Retroreflektor im fasergekoppelten Referenzarm und mit wellenlängenabhängiger Gangunterschiedsänderung mittels Dispersion oder Diffraktion ausgebildet sein. Der Gangunterschied im Interferometer ist so eingestellt, dass aus detektierten Interferogrammen mittels Spektralanalyse gut detektierbare Wavelets gebildet werden können. Dabei gibt es im optischen-transparenten Speichervolumen eine räumliche Anordnung von örtlich wechselnden Bereichen erhöhter und verringerter Reflexion im mikroskopischen Maßstab. Mittels numerischer Auswertung werden digitale Daten aus den Wavelets bestimmt, im einfachsten Fall ein Bit pro Wavelet. So werden Daten aus unterschiedlichen Tiefen des Speichermediums simultan gelesen. Dies ermöglicht eine sehr hohe Datentransferrate wie sie z. B. für Datenbanken oder bei der Datensicherung benötigt wird.
摘要翻译：在干涉，共聚焦方法和干涉，共聚焦组件，用于光学数据存储，尤其是TB的体积内存，则谱双光束Merferometrie的与彩色共技术，其能够病灶的纵向劈裂在该储存容积的电磁辐射的宽带光源的耦合，是衍射极限。这种新方法（CC-SI）这里所说的彩色共光谱干涉。在光路中谱仪共聚焦歧视的干涉是这里下属。对于色纵向劈裂的衍射光学透镜区（打盹）被插入在所述干涉光路中使用第一衍射级的。该干涉仪可以被形成为在参考臂光纤耦合，并与通过分散或衍射的手段依赖于波长的相位差变化与后向反射器的光纤耦合干涉仪。在干涉仪中的路径差被设置为使得从检测到的干涉容易检测的小波可以通过光谱分析来形成。有在光学透明存储容积的增加局部改变区域的空间排列，和在微观尺度上减小反射。通过从子波的数字数据的数值计算被确定，在最简单的情况下，每小波一个比特。这允许从所述存储介质的不同深度的数据被同时读出。这允许非常高的数据传输率等。当需要对数据库或数据保护。

3. 发明申请

WO2006042696A1 INTERFEROMETRISCHES VERFAHREN UND ANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量方法和系统
公开(公告)号：WO2006042696A1
公开(公告)日：2006-04-27
申请号：PCT/EP2005/011042
申请日：2005-10-13
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART , KÖRNER, Klaus , BERGER, Reinhard , DROSTE, Ulrich , KERWIEN, Norbert , KOHLER, Christian , OSTEN, Wolfgang , PAPASTATHOPOULOS, Evangelos , PRUSS, Christof , RUPRECHT, Aiko , WIESENDANGER, Tobias
发明人： KÖRNER, Klaus , BERGER, Reinhard , DROSTE, Ulrich , KERWIEN, Norbert , KOHLER, Christian , OSTEN, Wolfgang , PAPASTATHOPOULOS, Evangelos , PRUSS, Christof , RUPRECHT, Aiko , WIESENDANGER, Tobias
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/47 , A61B3/12 , G02B21/00
CPC分类号： G01N21/4795 , A61B5/0066 , A61B5/0068 , A61B5/0075 , A61B5/0084 , A61B5/4547 , A61B5/7257 , G01B9/02004 , G01B9/02036 , G01B9/02042 , G01B9/02044 , G01B9/02091 , G01B2210/50 , G02B21/0056 , G02B21/0064
摘要： Die Erfindung betrifft die konfokale Spektral-Interometrie zur Erfassung des Abstandes und der Form, sowie zur Optischen Kohärenz-Tomografie (OCT) und/oder Kohärenz-Mikroskopie (OCM) mit einer Multiwellenlängen-Quelle oder einer durchstimmbaren Quelle und mit Abbildung mittels Fokussier-Systems auf einen Empfänger, wobei chromatische Tiefenaufspaltung z.B. durch eine diffraktiv-optische Zonenlinse im Fokussier-System erfolgt und eine Spektralanalyse mittels dispersivem Spektrometer durchgeführt wird oder die interferierende elektromagnetische Strahlung bei der Wellenlängendurchstimmung detektiert wird und aus dem Spektrum (z.B. mit FFT) über die Kenntnis der Tiefenaufspaltung im chromatisch-konfokalen System und des Brechungsindexes diez-Position der Objektdetails bestimmt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种共焦光谱Interometrie以检测由聚焦系统的装置的距离和形状，以及用于光学相干断层扫描（OCT）和/或相干性显微镜（OCM）与多波长源或可调谐源和成像在接收机上，所述的彩色深度分裂如由衍射光学区中的透镜聚焦系统进行的，并且通过谱仪来进行频谱分析或波长调谐过程中检测所述干扰的电磁辐射，并从彩色共焦系统上的深度分割的知识的频谱（例如，FFT）和的对象的详细信息折射率迭位置被确定。

4. 发明申请

WO2017081328A1 VERKIPPTE OBJEKTWELLEN NUTZENDES UND EIN FIZEAU-INTERFEROMETEROBJEKTIV AUFWEISENDES INTERFEROMETER 审中-公开
标题翻译：对象和一个倾斜波斐索干涉表现出INTERFEROMETEROBJEKTIV
公开(公告)号：WO2017081328A1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：PCT/EP2016/077610
申请日：2016-11-14
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART
发明人： BAER, Goran , PRUSS, Christof , OSTEN, Wolfgang
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02057 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02032 , G01B9/02039 , G01B2290/50 , G01M11/0207
摘要： Vorgestellt wird ein Interferometer zur flächenhaften Vermessung einer optisch glatten Oberfläche, mit Mitteln zum Beleuchten eines Oberflächenbereiches mit mehreren diskreten Objektwellen aus verschiedenen Richtungen, und mit Mitteln, die an der Oberfläche reflektierte Objektwellen mit einer zu mehreren Objektwellen kohärenten Referenzwelle auf einem Detektor zu einem Interferogramm überlagern, Das Interferometer zeichnet sich dadurch aus, dass es dazu eingerichtet ist, die Oberfläche gleichzeitig mit mehreren Objektwellen zu beleuchten und die Referenzwelle durch eine Fizeau-Strahlteilerplatte oder ein Fizeau -Objektiv zu erzeugen, und dass das Interferometer eine im Strahlengang vor dem Detektor (14) angeordnete Interferometerblende (12) und eine Abbildungsoptik aufweist, wobei sich die Interferometerblende in der oder etwas außerhalb der Fourierebene der Abbildungsoptik befindet und die von der Oberfläche reflektierten Objektwellen filtert. Ein unabhängiger Anspruch richtet sich auf ein Verfahren zur flächenhaften Vermessung einer optisch glatten Oberfläche.
摘要翻译：
被呈现为一干涉仪FL＆AUML; chenhaften测量光学平滑表面BEAR表面的装置，用于照明的表面BEAR chenbereiches与多个从不同的方向并在所述表面与AUML装置离散物体波;枝的几个目的波KOH BEAR养老金反射物体波的检测器的干涉导航用途叠加上参考波，干涉仪的特征在于，它适合于在表面＆AUML;枝到由斐索同时照射多个对象波和参考波以产生-Strahlteilerplatte或斐索透镜，并且所述干涉仪在检测器的前面设置一个在光束路径（14）Interferometerblende（12）和成像光学器件，其中，所述Interferometerblende大街在或稍AU＆;外部成像光学器件的傅立叶平面的位置，和从表面反射的物体 ektwellen过滤器。独立权利要求涉及一种用于使视觉上光滑表面的方法

5. 发明申请

WO2022106694A1 EINZELBILD-TILTED WAVE INTERFEROMETER 审中-公开
公开(公告)号：WO2022106694A1
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：PCT/EP2021/082534
申请日：2021-11-22
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART
发明人： PRUSS, Christof , SCHOBER, Christian
IPC分类号： G01B9/02001 , G01B9/02015 , G01B9/02 , G01M11/00 , G01M11/02
摘要： Vorgestellt wird ein Interferometer (10) zur flächenhaften Vermessung einer Oberfläche (108) oder optischen Dicke eines optisch glatten Prüflings (122), wobei das Interferometer (10) dazu eingerichtet ist, den optisch glatten Prüfling gleichzeitig mit mehreren Objektwellen (14.1, 14.2, 14.3), die voneinander verschiedene Wellenlängen aufweisen, zu beleuchten und die von dem beleuchteten Prüfling verformten Objektwellen 10 auf einem Bildaufnehmer (K) mit kohärenten Referenzwellen zu überlagern und aus der Überlagerung resultierende Interferogramme spektral in wellenlängenindividuelle Teilinterferogramme zu zerlegen.

6. 发明申请

WO2019120470A1 METHOD AND ASSEMBLY FOR CHROMATIC CONFOCAL SPECTRAL INTERFEROMETRY OR SPECTRAL DOMAIN OCT 审中-公开
公开(公告)号：WO2019120470A1
公开(公告)日：2019-06-27
申请号：PCT/EP2017/083255
申请日：2017-12-18
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART
发明人： KÖRNER, Klaus , CLAUS, Daniel , HERKOMMER, Alois , PRUSS, Christof
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02042
摘要： The present invention relates to a method and an assembly for chromatic confocal spectral interferometry, in particular also for spectral domain OCT (SD-OCT) using multi-spectral light. A multiple (e.g. two, three, four, etc.) axial splitting of foci in the interferometric object arm is performed using a multifocal (e.g. bifocal, trifocal, quattro-focal, etc.) optical component, forming thereby at least two, three or even several groups of chromatically split foci in the depth direction. The multifocal optical component is made of a diffractive optical element (712) and a Schwarzschild objective (5). At least two, three, four or even more differently colored foci of different groups of foci coincide in at least one confocal point in the object space of the setup. Thus, at least two, three or even more spectral wavelets are formed in the case of optical scanning of an object measurement point and spectral detection in the wavenumber domain, which wavelets are at least slightly spectrally separated from each other. This results in a significant increase in the optical primary data in the wavenumber domain and reduces the trade-off of the chromatic confocal spectral interferometry between axial measurement range and depth resolution. From the detected data, it is possible to calculate tan (alpha) as the quotient of the absolute phase shift delta_phi and the associated wavenumber difference delta_k, the Fourier transform over the spectral data, in order to respectively determine the optical path difference.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式