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    • 3. 发明申请
    • SCHALTBARES PUNKTLICHTQUELLEN-ARRAY UND DESSEN VERWENDUNG IN DER INTERFEROMETRIE
    • 开关点光源阵列和用法干涉
    • WO2004109225A1
    • 2004-12-16
    • PCT/DE2004/001114
    • 2004-06-01
    • UNIVERSITÄT STUTTGARTLIESENER, JanPRUSS, Christof
    • LIESENER, JanPRUSS, Christof
    • G01B9/02
    • G01B9/02085G01B9/02039G01J3/10G01J2003/1286G02B26/0808G02F1/133526
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein schaltbares Punktlichtquellen-Array oder SLM sowie dessen Verwendung zur interferometrischen Vermessung von Prüflingsoberflächen insbesondere mit asphärischen Oberflächen. Das Punktlichtquellen-Array besteht aus einem Flüssigkristalldisplay oder LCD (2), einem hinter dem LCD (2) angeordneten Mikrolinsen-Array (3), durch das der Eingangsstrahl (1) nach Durchgang durch das LCD (2) in einzelne Teilstrahlen aufgespaltet wird, und einem Lochblenden-Array (4). Das Lochblenden-Array (4) bewirkt, dass nur eine durch Beugung an einem in das LCD (2) eingeschriebenen Beugungsmuster entstehende erste oder höhere Beugungsordnung (5) auf Blendenöffnungen des Lochblenden-Arrays (4) trifft. Anstatt des LCDs kann auch ein Kippspiegelarray oder DMD verwendet werden. Durch Einbau des Punktlichtquellen-Arrays in ein Interferometer lassen sich sehr genau bekannte Wellenfronten unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung als Referenzwellen erzeugen, die sich unabhängig voneinander schalten und in ihrer Phase schieben lassen.
    • 本发明涉及一种可切换的点光源阵列或SLM及其Prüflingsoberflächen的特别是与非球面表面的干涉测量使用。 点光源阵列包括一个液晶显示器或LCD的(2)中,由LCD(2)的后面布置微透镜阵列(3),通过它穿过LCD(2)被分成单独的子束之后的输入光束(1), 和针孔光阑阵列(4)。 使针孔光阑阵列(4),只有在LCD在一个登记由衍射(2)衍射图案得到的孔径阵列(4)的孔衍射(5)入射的第一或更高阶的。 相反,液晶显示器也有Kippspiegelarray或DMD的都可以使用。 通过将点光源阵列中的干涉仪可以是非常精确地已知的波阵面不同的传播方向产生参考波,彼此独立的开关,并且可以在它的相位滑动。