专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2009124605A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2009124605A3
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066388
申请日：2008-11-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

2. 发明申请

WO2009095108A3 FESTKÖRPERGELENK UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009095108A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008/065532
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

3. 发明申请

WO2010046155A2 ELEKTROSTATISCHER ANTRIEB, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTROSTATISCHEN ANTRIEB UND EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：静电驱动器，微机电组件及制造静电驱动器和微机电组件的方法
公开(公告)号：WO2010046155A2
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/EP2009/060881
申请日：2009-08-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/006 , Y10T29/49002
摘要： Die Erfindung betrifft einen elektrostatischer Antrieb mit einem Innenrahmen (16), mindestens einem den Innenrahmen umgebenden Zwischenrahmen (14), und einem den Innenrahmen (12) und den mindestens einen Zwischenrahmen (14) umgebenden Außenrahmen (12), wobei jeweils zwei benachbarte Rahmen (12, 14, 16) von den Innen-, Zwischen- und Außenrahmen (12, 14, 16) über mindestens ein Federelement (22, 24, 26) miteinander verbunden sind, wobei die Federelemente (22, 24, 26), über welche jeweils zwei benachbarte Rahmen (12, 14, 16) der Innen-, Zwischen- und Außenrahmen (12, 14,16) miteinander verbunden sind, so angeordnet sind, dass die Längsrichtungen der Federelemente (22, 24, 26) auf einer gemeinsamen Federlängsachse (28) liegen, und wobei direkt an parallel zu der Federlängsachse (28) ausgerichteten Rahmenbalken (12a,14a,16a) des Innenrahmens (16), des mindestens einen Zwischenrahmens (14) und des Außenrahmens (12) Elektrodenfinger angeordnet sind. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen elektrostatischen Antrieb. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil (10) und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：
本发明涉及具有内框架（16），至少一个围绕所述内框架中间框架（14）和所述内框架（12）和所述至少一个中间框架（14）周围的Au ROAD enrahmen的静电驱动（12），所述内层，中间和Au ROAD enrahmen的每两个相邻的帧（12，14，16）（12,14，16）上的至少一个弹簧元件（22，24，26）被连接到彼此其中，所述弹簧元件（22，24,26）在其每两个相邻的帧（12，14，16）大街内层，中间和Au＆; enrahmen（12，14,16）被连接到彼此，布置成是，所述L＆AUML;在共同Federl BEAR弹簧元件的ngsrichtungen（22，24，26）是纵向轴线（28），并且其中直接平行于Federl BEAR对准纵轴（28）框架梁（12A，14A，16A）内部框架（16），至少一个中间框架（14）和外部框架（12）Elektrodenfing 他被安排。本发明还涉及用于静电驱动器的制造方法。本发明还涉及一种微机械构件（10）以及一种用于微机械构件（10）的制造方法，

4. 发明申请

WO2009127275A2 ELEKTRODENKAMM, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTRODENKAMM UND FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：电极的梳，微机械结构和方法的电极的梳和微机械部件
公开(公告)号：WO2009127275A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/067690
申请日：2008-12-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/004 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , G02B26/0841 , H02N1/008
摘要： Die Erfindung betrifft einen Elektrodenkamm (52,54) für ein mikromechanisches Bauteil welcher so ausgebildet ist, dass mindestens zwei Elektrodenfinger (52a,54a) an einem ersten Ende an einem ersten Befestigungsteil (52b,54b) befestigt sind und an einem dem ersten Ende gegenüberliegenden zweiten Ende an einem zweiten Befestigungsteil (52b,54b) befestigt sind. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil mit einem Stator-Elektrodenkamm (54) und einem Aktor-Elektrodenkamm (52), zwischen denen eine Spannung (U) anlegbar ist, wobei, durch Anlegen der Spannung (U) zwischen dem Stator-Elektrodenkamm (54) und dem Aktor-Elektrodenkamm (52), der Aktor-Elektrodenkamm (52) um eine Drehachse (56) des Aktor-Elektrodenkamms (52) drehbar ist, und wobei die Drehachse (56) des Aktor-Elektrodenkamms (52) mindestens eine Oberfläche eines Elektrodenfingers (54a) des Stator-Elektrodenkamms (44,54) senkrecht durchsticht. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen Elektrodenkamm (52,54) und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明涉及一种如此形成，使得至少两个电极指（52A，54A）在其第一端的第一附接部（52B，54B）被固定且相对的第一端部用于微机械部件的电极梳（52,54）第二端连接到第二附接部分（52B，54B）附连。此外，本发明涉及一种具有定子电极的梳（54）和致动器的电极的梳（52），在它们之间的电压（U）可应用于微机械部件，其特征在于，由（定子电极的梳54之间施加的电压（U））和致动器的电极的梳（52），致动器的电极的梳（52）（围绕致动器的电极的梳（52的旋转轴线56））是可旋转的，并且其中所述致动器的电极的梳（52）的至少一个表面的旋转（56）的轴线定子电极的梳（44,54）的电极指（54A）垂直地刺穿。此外，本发明涉及一种用于电极的梳（52,54）和用于微机械部件的制造方法的制造方法。

5. 发明申请

WO2009127273A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：用于微机械结构和微机械结构
公开(公告)号：WO2009127273A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066715
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00007 , B81B2201/032 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/019 , B81C1/00142 , B81C2201/017
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) mit den Schritten: Bilden einer ersten Elektrodeneinheit (14) in einer ersten Stellung zu einem Grundsubstrat (16); Bilden eines Stützelements (22) mit einer ersten Untereinheit (23,28,30) mit einer ersten EigenSpannung und einer zweiten Untereinheit (23,28,30) mit einer von der ersten Eigenspannung abweichenden zweiten Eigenspannung, wobei das Stützelement (22) an einem ersten Ende an der ersten Elektrodeneinheit (14) und an einem zweiten Ende an dem Grundsubstrat (16) befestigt ist; und Biegen des Stützelements (22) aufgrund einer Differenz zwischen der ersten Eigenspannung und der zweiten Eigenspannung, wobei aufgrund des Biegens des Stützelements (22) die erste Elektrodeneinheit (14) aus der ersten Stellung zu dem Grundsubstrat (16) in eine zweite Stellung zu dem Grundsubstrat (16) verstellt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械部件（10）的制造方法，包括以下步骤：在一个第一位置到一个基底（16）形成第一电极单元（14）; 形成具有具有与方向上从所述第一内部应力第二残余应力偏离，第一本征电压和第二子单元（23,28,30）的第一子单元（23,28,30）的支撑部件（22），其中在所述支撑构件（22）第一端连接到所述第一电极部（14）和在第二端处与基底基板（16）被安装; 和支撑部件（22）弯曲，由于第一内部应力和第二特征电压之间的差，由于从所述第一位置到所述基底（16），所述支撑构件（22），所述第一电极单元（14）的相对于所述的第二位置的弯曲基底基板（16）被调整。此外，本发明提供了一种微机械部件（10）涉及。

6. 发明申请

WO2009127274A3 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT DREHBAREM STELLELEMENT, VERFAHREN ZUM BETREIBEN DES BAUTEILS UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR DAS BAUTEIL 审中-公开
公开(公告)号：WO2009127274A3
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066721
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Feder (20a, 20b), einem an einem ersten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Hebelelement (22a, 22b), einer Antriebeinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, das Hebelelement (22a, 22b) um eine senkrecht zu einer Längsachse des Hebelelements (22a, 22b) ausgerichtete erste Drehachse zu drehen, und einem an einem zweiten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Stellelement (10), welches so mittels der Feder (20a, 20b) an das Hebelelement (22a, 22b) gekoppelt ist, dass bei einem Drehen des Hebelelements (22a, 22b) um die erste Drehachse mittels der Antriebeinrichtung das Stellelement (10) um eine zweite Drehachse (18) gedreht wird. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

7. 发明申请

WO2009124607A1 MIKROMECHANISCHE AKTUATORSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES BETÄTIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械致动器的结构和相应的控制方法
公开(公告)号：WO2009124607A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066536
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Aktuatorstruktur und ein entsprechendes Betätigungsverfahren. Die Aktuatorstruktur umfasst mindestens eine erste Biegefederemrichtung (BF1; BF1'), welche beidseitig an einer Halterung (10a, 10b) angebracht ist; ein zu bewegendes mikromechanisches Bauelement (6, 7a, 7b, S), welches an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; eine erste Elektrodenstruktur (R1'), welche an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; und eine zweite Elektrodenstruktur (F'), durch welche die erste Elektrodenstruktur (R1') auslenkbar ist.
摘要翻译：本发明提供一种微机械驱动器的结构和操作的相应方法。该致动器结构包括至少一个第一柔性弹簧;其上的保持器的两侧（10A，10B）被安装（BF1 BF1“）; 连接;一个被移动微机械部件（6，7A，7B，S）附着到所述第一柔性弹簧（BF1“BF1）; 附着，“附连到所述第一柔性弹簧（BF1 BF1）第一电极结构（R1）”; 和第二电极结构（F“），通过该第一电极结构（R1”）被偏转。

8. 发明申请

WO2009086978A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
公开(公告)号：WO2009086978A2
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/EP2008/065575
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81C1/00166 , B81C2201/0167 , H02N1/002
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung (10) mit den Schritten: Aufbringen einer ersten leitfähigen Schicht (12) auf eine Unterlage (28,30), Ätzen der ersten leitfähigen Schicht (12) zum Bilden von mindestens einer ersten Elektrode (16) aus dem Material der ersten leitfähigen Schicht (12), Aufbringen einer Trennschicht (32a) auf die erste leitfähige Schicht (12), Aufbringen einer zweiten leitfähigen Schicht auf die Trennschicht (32a), Ätzen der zweiten leitfähigen Schicht zum Bilden von mindestens einer zweiten Elektrode (22) aus dem Material der zweiten leitfähigen Schicht, und Aufbringen einer Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) und Biegen der zweiten Elektrode (22) mittels einer von der Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) ausgeübten mechanischen Druckspannung. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine entsprechende mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22）施加机械压应力。本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。

9. 发明申请

WO2009124611A1 ELEKTRODENKAMM, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTRODENKAMM ODER EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：电极的梳，微机械结构和方法的电极的梳和微机械结构
公开(公告)号：WO2009124611A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066811
申请日：2008-12-04
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： Die Erfindung betrifft einen Elektrodenkamm (82) für ein mikromechanisches Bauteil mit mindestens einem Elektrodenfinger, für welchen eine erste Elektrodenfinger-Untereinheit (88,90) mit einer ersten Mittellängsachse (88a,90a) und eine zweite Elektrodenfinger-Untereinheit (88,90) mit einer zweiten Mittellängsachse (88a,90a) definierbar sind, wobei die zweite Mittellängsachse (88a,90a) gegenüber der ersten Mittellängsachse (88a,90a) um einen Knickwinkel (δ) ungleich 0° und ungleich 180° geneigt ist, und ein mikromechanisches Bauteil mit einem solchen Elektrodenkamm (82). Ebenso betrifft die Erfindung mikromechanische Bauteile. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen Elektrodenkamm (82) und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明涉及一种电极的梳（82），用于具有至少一个电极指中，微机械部件，用于使具有第一中心纵向轴线（88A，90A）和第二电极指子单元（88,90）与第一指状电极子单元（88,90）（88A，90A）被定义的第二中心纵向轴线，所述第二中心纵向轴线（88A，90A）通过铰接角（D）等于0，而不是°等于180°相反侧的第一中心纵向轴线（88A，90A）是倾斜的，并具有一微机械部件这样的电极的梳（82）。同样，本发明涉及微型机械部件。此外，本发明涉及一种用于电极的梳（82）及其制造方法的微机械部件的制造方法。

10. 发明申请

WO2009124608A1 MIKROMECHANISCHE ELEKTRODENSTRUKTUR, ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN UND MIKROAKTUATORVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：的微观力学电极的结构，相应的方法和MIKROAKTUATORVORRICHTUNG
公开(公告)号：WO2009124608A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066562
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Elektrodenstruktur, ein entsprechendes Herstellungsverfahren und eine Mikroaktuatorvorrichtung. Die Elektrodenstruktur umfasst eine feststehende Elektrodenanordnung (F) und eine auslenkbare Elektrodenanordnung (D); wobei die feststehende Elektrodenanordnung (F) eine erste Grundplatte (1a; 1b) und mindestens eine darauf vorgesehene erste Elektrodenrippe (2a-2f) aufweist; wobei die auslenkbare Elektrodenanordnung (D) einen ersten Balken (5) aufweist, an dem eine erste Mehrzahl von Elektrodenfingern (5a-5h; 5a', 5b-5f, 5f') vorgesehen ist, welche durch einen zweiten Balken (15; 25) miteinander verbunden sind; wobei die Elektrodenfinger (5a-5h; 5a', 5b-5f, 5f'), der erste Balken (5) und der zweite Balken (15; 25) eine entsprechende erste Anzahl von Öffnungen (O1-O6) definieren; und wobei die feststehende Elektrodenanordnung (F) und die auslenkbare Elektrodenanordnung (D) derart angeordnet sind, dass jede erste Elektrodenrippe (2a-2f) zu einer entsprechenden Öffnung (O1-O6) ausgerichtet ist und sich bei einer Auslenkung der auslenkbaren Elektrodenanordnung (D) die Ausrichtung ändert.
摘要翻译：本发明提供了一种微机械的电极结构，相应的制造方法和Mikroaktuatorvorrichtung。该电极结构包括：一固定电极装置（F）和一偏转电极组件（D）; 其中，所述固定电极装置（F）包括：第一基板（1A; 1b）和至少一个肋在其上的第一电极（图2A-2F）提供; 其中所述可偏转电极组件（D）的第一杆（5）中，向其中一个第一组多个电极指（5A-5H;图5a '5B-5F，5F'）设置，其通过一个第二光束（15; 25）被连接到彼此; 其中，所述电极指（5A-5H;图5a '5B-5F，图5f'），所述第一杆（5）和第二杆（15; 25）的孔口（O1-O6）限定的相应的第一数字; 和其中所述固定电极装置（F）和可偏转电极装置（D）被布置成使得每个第一电极肋（2A-2F）与相应的开口（O1-O6），并在偏转电极布置的偏转（D）对准取向的变化。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式