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    • 9. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTOELEKTRONISCHEN HALBLEITERBAUELEMENTS UND OPTOELEKTRONISCHES HALBLEITERBAUELEMENT
    • 方法用于制造光电半导体器件和光电半导体器件
    • WO2010040331A1
    • 2010-04-15
    • PCT/DE2009/001269
    • 2009-09-08
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHPLÖSSL, Andreas
    • PLÖSSL, Andreas
    • H01L33/00
    • H01L33/0079H01L33/44H01L33/46H01L2924/0002H01L2924/00
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauelements angegeben, bei dem eine Epitaxieschichtenfolge (5), eine Kontaktschicht (6) und eine Barriereschicht (7) auf ein Aufwachssubstrat (1) aufgewachsen werden, und die Epitaxieschichtenfolge (5) zu einzelnen Halbleiterkörpern (8) durch Erzeugen von Gräben (9) in der Epitaxieschichtenfolge (5) strukturiert wird. Nachfolgend wird eine dielektrische Schicht (11) und vorzugsweise eine Spiegelschicht (21) zumindest auf die in den Gräben (9) freigelegten Seitenflanken (10) der Halbleiterkörper (8) aufgebracht. Nachfolgend werden die Halbleiterkörper (8) an einer von dem Aufwachssubstrat (1) abgewandten Seite mit einem Trägerkörper (14) mittels einer Lotschicht (13) verbunden, wobei die Gräben (9) zwischen den Halbleiterkörpern (8) von der Lotschicht (13) aufgefüllt werden, und das Aufwachssubstrat (1) wird nachfolgend abgelöst.
    • 公开的是用于制造光电子半导体器件,其中,外延层(5),接触层(6)和在生长衬底(1)上的阻挡层(7)生长的方法,以及所述外延层(5)以形成各个半导体本体(8 )通过形成沟槽结构(9)在所述外延层(5)。 随后,将电介质层(11)和优选的反射镜层(21)在半导体本体(8)的沟槽(9)侧的侧面(10)至少暴露于被施加。 接着,在半导体本体(8)在所述生长衬底的一(1)通过焊料层(13)的面向从载体主体(14)远边,所述沟槽在半导体本体(13)之间填充的焊料层(9)(8) 是,和生长衬底(1)随后剥离。