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1. 发明申请

WO2012129711A1 GASDRUCKMESSZELLENANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：气体测量单元安排
公开(公告)号：WO2012129711A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/CH2012/000038
申请日：2012-02-10
申请人： INFICON GMBH , WÄLCHLI, Urs , BERGER, Bruno , VOGEL, Daniel
发明人： WÄLCHLI, Urs , BERGER, Bruno , VOGEL, Daniel
IPC分类号： G01L21/12
CPC分类号： H01L29/84 , G01L21/12
摘要： Eine Gasdruckmesszellenanordnung umfasst eine Wärmeleitungsvakuummesszelle nach Pirani (Pi), enthaltend ein Messkammergehäuse (3), welches eine Messkammer (2) umschliesst und mit einem Messanschluss (4) der den zu messenden Gasdruck (P) in die Messkammer (2) leitet. In der Messkammer (2) ist ein beheizbarer Messfaden (1) angeordnet, welcher mit einer Messelektronik (11) verbunden ist, wobei diese in thermischem Kontakt auf einer Seite einer keramischen Trägerplatte (10) angeordnet ist und diese Trägerplatte (10) auf der gegenüberliegenden Seite Teil des Messkammergehäuse (3) bildet. Der Messfaden (1) wird in Serie mit einem Messwiderstand (Rm) von der Messelektronik (11) direkt in Rückkoppelung gespiesen und die Messelektronik ermittelt den Widerstand des Messfadens (1) direkt.
摘要翻译：的气体压力测量电池装置，包括含有一个测量室壳体的热传导率真空根据皮拉尼（PI）测量单元（3），其包围一个测量室（2）中，用在测量室中的测量端子（4）的气体的将被测量的压力（P）（2）通过。在测量室（2）加热的测量线（1）布置，其被连接到测量电子设备（11），其在相对布置在热接触在陶瓷支承板（10）和该载体板（10）的一侧形成测量腔外壳（3）的侧部。所测得的纱线（1）与所述测量电子（11）的测量电阻器（RM）串联在反馈直接馈送和仪表电子设备确定测量串（1）直接的电阻。

2. 发明申请

WO2007019714A1 OPTISCHER INTERFEROMETRISCHE DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：光干涉压力传感器
公开(公告)号：WO2007019714A1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：PCT/CH2006/000375
申请日：2006-07-18
申请人： INFICON GMBH , WÄLCHLI, Urs , BJÖRKMAN, Per , SAARI, Heikki , ANTILA Jarkko , HANSELMANN, Hansjakob , WÜEST, Martin
发明人： WÄLCHLI, Urs , BJÖRKMAN, Per , SAARI, Heikki , ANTILA Jarkko , HANSELMANN, Hansjakob , WÜEST, Martin
IPC分类号： G01L11/02
CPC分类号： G01L9/0079 , Y10T29/49769 , Y10T29/49776
摘要： Eine Vakuummesszelle umfasst einen ersten Gehäusekörper (1) aus Aluminiumoxyd mit einer davor, im Randbereich Vakuum dichtend angeordneten Membrane (2) aus Aluminiumoxyd, bildend einen Referenzvakuumraum (25), und dass ein zweiter Gehäusekörper (4) aus Aluminiumoxyd gegenüber der Membrane (2) im Randbereich Vakuum dichtend vorgesehen ist, bildend einen Messvakuumraum (26) mit Anschlussmittel (5) für das zu messende Medium, wobei im ersten Gehäusekörper (1) im Zentrumsbereich ein optisch transparentes Fenster (33) ausgebildet ist und die, diesem zugewandte Membranoberfläche (31) im Zentrumsbereich optisch reflektierend ausgebildet ist und dass ausserhalb des Referenzvakuumraumes (25) gegenüber und beabstandet von diesem Fenster (33) eine Lichtleitfaser (37) zur Ein- und Auskopplung von Licht auf die Membranoberfläche (31) vorgesehen ist, wobei zwischen der Lichtleitfaser (37) und dem Fenster eine Linse (35) zur optischen Ankopplung an die Membranoberfläche (31) vorgesehen ist, derart dass die Anordnung eine Messstrekke bildet zur Erfassung von Auslenkungen der Membrane (2) mit einem Fabry - Perot Interferometer.
摘要翻译：包括：第一壳体主体的真空测量单元（1）由氧化铝构成具有前，设置在真空膜（2）由铝氧化物的边缘区域的密封，形成一个参考真空室（25），以及一第二壳体（4）氧化铝在膜（2）的被密封在真空的边缘区域中，形成一个测量真空室（26），其具有连接装置（5），用于将被测量的介质，其中，在光学透明窗口的中心区域中的第一外壳体（1）（33）形成，并且，该饰面隔膜表面（31 ）是在中央区域光学反射和（基准真空空间25）相对，并从窗口（33）的光纤（37隔开），用于耦合光的去耦到膜表面的外部（31）设置，其中，（光纤之间 37）和所述窗口包括用于光耦合到膜表面的透镜（35）（31）设置吨，使得组件形成用于与法布里检测所述膜（2）的偏转的测试部分 - 珀罗干涉仪。

3. 发明申请

WO2007059640A1 BLENDENANORDNUNG FÜR EINE VAKUUMMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：光圈安排真空测量计
公开(公告)号：WO2007059640A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/CH2006/000637
申请日：2006-11-13
申请人： INFICON GMBH , BJÖRKMAN, Per , WÄLCHLI, Urs , HANSELMANN, Hansjakob , DURIS, Stanislav , WÜEST, Martin
发明人： BJÖRKMAN, Per , WÄLCHLI, Urs , HANSELMANN, Hansjakob , DURIS, Stanislav , WÜEST, Martin
IPC分类号： G01L19/00 , G01L9/00 , G01L7/08 , C23C14/54
CPC分类号： C23C16/45557 , C23C14/54 , G01L9/0072 , G01L19/0007 , G01L19/0609 , G01L21/00
摘要： Eine Blendenanordnung für eine Vakuummesszelle (15) umfasst ein rohrförmiges Blendengehäuse (14) welches eine Blende (20) umgibt, und dieses eine Ausgangsöffnung (16) zur Verbindung mit einer Vakuummesszelle (15) und eine Anschlussöffnung (22) zur Verbindung mit dem zu messenden Objektraum aufweist und dass die Blende (20) zwischen den beiden Öffnungen (16, 22) angeordnet ist, ist und die Blende (20) als Schraubenblende mit spiralförmigen Windungen (21) ausgebildet ist, wobei dessen Gewindeflanke im Aussendurchmesser an der Innenwandung des Blendengehäuse (14) anliegt, derart dass eine Gasdurchströmung zwischen dem Aussendurchmesser der Gewindeflanke und der Innenwandung gehemmt wird und diese im wesentlichen in den spiralförmigen Gewindegang gezwungen wird und dass die Ausgangsöffnung (16) auf der einen Seite des Rohrstück (14) ist und die Anschlussöffnung (22) auf der anderen gegenüber liegenden Seite und die Schraubenblende (20) derart ausgebildet ist, dass in axialer Blickrichtung die Blendenanordnung (25) zwischen den beiden Öffnungen (16, 22) optisch dicht ist.
摘要翻译：一种用于真空测量单元（15）一种隔膜装置包括围绕一隔膜（20）的管状装饰壳体（14），以及用于连接到一个真空测量单元（15）和用于连接到所述连接开口（22）的出口开口（16）将被测量就是具有物体的空间，并且所述两个开口（16，22）之间的隔膜（20）布置，并且所述孔（20）与螺旋线圈的螺旋孔（21），其中所述螺纹面（在快门壳体的内壁中的外径 14）中，使得所述螺纹面的外径和所述内壁之间的气体流动被抑制，这基本上被迫进入螺旋形螺纹，并且所述出口开口（16）在管件（14）和所述连接开口的一侧（22 ）适于在另一相对侧上，并且线圈板（20）在轴向观看方向上的两个开口（16，22）之间的隔膜装置（25）是光密。

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