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    • 2. 发明申请
    • METHOD FOR CORRECTING THE SURFACE FORM OF A MIRROR
    • 校正镜子表面形式的方法
    • WO2012123240A1
    • 2012-09-20
    • PCT/EP2012/053234
    • 2012-02-27
    • CARL ZEISS SMT GMBHMÜLLER, JürgenSCHICKETANZ, ThomasEHM, Dirk Heinrich
    • MÜLLER, JürgenSCHICKETANZ, ThomasEHM, Dirk Heinrich
    • G02B5/10G21K1/06
    • G02B5/0816B82Y10/00G02B5/0891G02B27/0025G03F7/70166G03F7/70191G03F7/70233G03F7/70308G03F7/70958G21K1/062
    • The invention relates to a method for correcting a surface form of a mirror (19 for reflecting radiation having an operating wavelength in the range of 5-30 nm, said mirror comprising a substrate (3). The method comprises at least the following steps: - applying a correction layer (13) having a layer thickness variation (21) for correcting the surface form of the mirror (1), - applying a first group (19) of layers to the correction layer (13), wherein the first group (19) of layers comprises a plurality of first (9) and second (11) layers arranged alternately one above another, wherein the first layers (9) have a refractive index for radiation having the operating wavelength which is greater than the refractive index of the second layers (11) for radiation having the operating wavelength. In this case, applying the correction layer (13) is effected by the following steps: - introducing the mirror (1) into an atmosphere comprising a reaction gas (15), - applying a correction radiation (17) having a location-dependent radiation energy density to the mirror (1, 201, 301, 401), such that a correction layer (13) having a location-dependent layer thickness variation (21) grows on the irradiated surface of the mirror (1).
    • 本发明涉及一种用于校正反射镜(19)的表面形式的方法,用于反射具有5-30nm范围内的工作波长的辐射,所述反射镜包括基底(3),该方法至少包括以下步骤: - 施加具有用于校正反射镜(1)的表面形式的层厚度变化(21)的校正层(13), - 向校正层(13)施加第一组层(19),其中第一组 (19)层包括交替地彼此交替布置的多个第一(9)和第二(11)层,其中第一层(9)具有用于辐射的折射率,其工作波长大于 用于辐射的第二层(11)具有工作波长,在这种情况下,通过以下步骤施加校正层(13): - 将反射镜(1)引入包含反应气体(15)的气氛中, - 应用校正辐射( 17),其具有与所述反射镜(1,201,301,401)相对的位置相关的辐射能量密度,使得具有位置相关层厚度变化(21)的校正层(13)在所述镜的照射表面上生长 (1)。
    • 7. 发明申请
    • MIKROSKOP
    • 显微镜
    • WO2002067037A2
    • 2002-08-29
    • PCT/EP2002/001610
    • 2002-02-15
    • EVOTEC OAI AGMÜLLER, Jürgen
    • MÜLLER, Jürgen
    • G02B21/00
    • G02B21/0024G02B21/006
    • Ein fonfokales Mikroskop wiest eine Probenaufnahmeeinrichtung zur Aufnahme einer Probe (18) auf. Die Probe (18) wird durch eine Beleuchtungseinheit (10) beleuchtet. Eine Optikeinheit (12) dient dazu, die von der Beleuchtungseinheit (10) erzeugte Strahlung in Richtung der Probe (18) zu lenken und die von der Probe (18) aubgegebene Strahlung in Richtung einer Detektoreinheit (20) zu lenken. Ferner weist das konfokale Mikroskop eine Aperturblende (34) auf, die im Strahlengang vor der Detektoreinheit (20) angeordnet ist. Zusätzlich ist im Strahlengang vor der Aperturblende (34) eine Fokussierlinse (30) vorgesehen. Zur Justierung des konfokalen Mikroskops wie beispielsweise zum Ausgleich thermischer Belastungen, ist die Fokussierlinse (30) verstellbar.
    • 上的样品用于接收样品(18),接收装置A fonfokales威斯特显微镜。 将样品(18)由一个照明单元(10)照射。 的光学单元(12),用于引导在样品(18)的方向上产生的辐射使用的照明单元(10),并从样品(18)aubgegebene辐射朝向检测器单元(20)指示。 此外,共焦显微镜,其在所述检测器单元(20)的前面布置在光束路径的孔径光阑(34)。 此外,在孔径光阑(34)的前部的光束路径具有聚焦透镜被提供(30)。 对于共焦显微镜如以补偿热应力的调整,聚焦透镜(30)是可调的。
    • 8. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM STRANGGIEßEN EINES METALLSTRANGS
    • 方法和装置的连续铸造用金属条带
    • WO2011144478A1
    • 2011-11-24
    • PCT/EP2011/057401
    • 2011-05-09
    • SMS SIEMAG AGRAILE, AlexanderPÜRLING, ReinerMÜLLER, JürgenFISCHER, Lothar
    • RAILE, AlexanderPÜRLING, ReinerMÜLLER, JürgenFISCHER, Lothar
    • B22D11/08
    • B22D11/085
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Stranggießen eines Metallstrangs. Dabei kommt ein flexibler, von oben in eine Kokille einführbarer, an seinem vom voreilenden Kaltstrangende entfernten Ende einen Anfahrkopf aufweisender Kaltstrang und ein auf einer Gießbühne angeordneter Kaltstrangwagen zum Einsatz, auf den der Kaltstrang nach dem Entkoppeln von dem Warmstrang gezogen wird, wobei der Kaltstrangwagen das voreilende Kaltstrangende an einer Beladeseite aufnimmt und mittels einer auf Kettenrädern umlaufenden Endloskette für den nächsten Anguss zu einer Entladeseite in Richtung der Kokille bewegt. Bei einem solchen Verfahren und einer Vorrichtung soll insbesondere eine problemlose Handhabung eines langen Kaltstrangs in einer Kreisbogenstranggießanlage ermöglicht werden. Hierzu wird der an der Beladeseite aufgenommene Kaltstrang mittels der Endloskette an der Entladeseite von einer oberen Laufbahn des Kaltstrangwagens auf eine untere Laufbahn umgelenkt, auf der der Kaltstrang mit seinem voreilenden Kaltstrangende so weit in Richtung zur Beladeseite hin zurückgeführt wird, bis der gesamte Kaltstrang aufgewickelt vom Kaltstrangwagen aufgenommen wird und das voreilende Kaltstrangende eine der Beladeseite zugewandte Ausgangs-Transportposition einnimmt.
    • 本发明涉及一种用于连续铸造的金属股线的方法和装置。 下面是一个更灵活的,从上方到模具中插入,在其端部远离领先冷钢坯端结束具有虚设棒方向冷段和设置在铸造平台引锭杆托架的使用到的引锭杆在热链的解耦,其中,所述引锭杆托架之后绘制哪个 接收引导冷的腿端至装载侧并利用在所述模具的方向上循环链链轮的旋转下一个栅极连接到一排出侧的装置移动。 在这样的方法和装置特别容易操作一个长引锭杆的应该以Kreisbogenstranggießanlage成为可能。 为了这个目的通过在引锭杆托架的上运行路径的排出侧的环形链的手段记录在装载侧引锭杆偏转到其上朝向装载侧到目前为止返回以其领先冷钢坯端引锭杆的方向向下,直到从整个冷段伤口的下运行 引锭杆托架并将该引锭杆的前端占用了装载侧朝向输出运输位置。