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1. 发明申请

WO2010086360A1 POSITIONSSENSOR 审中-公开
标题翻译：位置传感器
公开(公告)号：WO2010086360A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/EP2010/050983
申请日：2010-01-28
申请人： CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH , BENDER, Guenther , KÖHLER, Stefan , WALLRAFEN, Werner
发明人： BENDER, Guenther , KÖHLER, Stefan , WALLRAFEN, Werner
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01D5/20 , G01D11/245 , H02K29/08
摘要： Gegenstand der Erfindung ist ein Positionssensor (1), vorzugsweise ein Winkelsensor zur Erfassung des Drehwinkels einer Welle, bestehend aus einem Leadframe (4) auf dem die elektronischen Bauteile des Positionssensors (1) angeordnet und mit diesem elektrisch verbunden sind, einer Umspritzung (5) aus einem Kunststoff, wobei die Umspritzung (5) zumindest die elektronischen Bauteile umschließt und so mit dem Leadframe (4) ein Sensormodul (2) bildet, mehreren elektrischen Anschlüssen (12-15) des Sensormoduls (2), welche durch das Leadframe (4) gebildet sind und einem Trägermodul (3), welches das Sensormodul (2) aufnimmt, wobei das Trägermodul (3) elektrische Anschlüsse (17-20) besitzt, die mit den elektrischen Anschlüssen (12-15) des Sensormoduls (2) elektrisch leitend verbunden sind. Das Trägermodul (3) besitzt mindestens zwei Dome (22, 22',) zwischen denen das Sensormodul (2) angeordnet ist, und dass das jeweils freie Ende der Dome (22, 22') derart verformt ist, dass das Sensormodul (2) in seiner Position geklemmt ist.
摘要翻译：本发明涉及一种位置传感器（1），优选为所述位置传感器的设置在所述电子元件检测轴的旋转角度，其由引线框架（4）的角度传感器（1）和与其电连接，挤出涂布（5）由塑料，其特征在于，包围至少所述电子部件，并因此与（4），传感器模块（2），多个传感器模块的电端子（12-15）的（2）由引线框形成的引线框架的封装（5）（4 ）形成和（支撑模块3），其接收所述传感器模块（2），其特征在于，所述支撑模块（3）具有电连接（17-20），其（与传感器模块的电端子12-15）（2）导电性被连接。在载体模块（3）具有至少两个圆顶（22，22“）之间的传感器模块（2）被布置，而（22，22中的圆顶的相应的自由端”）以这样的方式发生变形，该传感器模块（2）在位置被夹紧。

2. 发明申请

WO2014135542A1 VENTILVORRICHTUNG FÜR EIN KRAFTFAHRZEUG 审中-公开
标题翻译：阀装置用于机动车
公开(公告)号：WO2014135542A1
公开(公告)日：2014-09-12
申请号：PCT/EP2014/054181
申请日：2014-03-04
申请人： CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH
发明人： WELTEROTH, Peter , KÖHLER, Stefan
IPC分类号： F16K1/22
CPC分类号： F16K1/222 , F02D9/1015 , F02M26/70
摘要： Ventilvorrichtung für ein Kraftfahrzeug mit einem Gehäuse (1), einem in dem Gehäuse befindlichen Strömungskanal (2), einer in dem Strömungskanal (2) angeordneten Klappe (3) zum Verschließen des Strömungskanals (2), wobei die Klappe (3) Bereiche besitzt, in denen eine die Klappe (3) durchdringende Achse (4) befestigt ist, und die Achse (4) drehbar in dem Gehäuse (1) gelagert ist und einem im Strömungskanal (2) angeordneten Ventilsitz (5), der in Schließstellung der Klappe (3) mit dieser in Kontakt steht. Die umlaufende Kante (6) der Klappe (3) besitzt eine Dicke, die kleiner als die Dicke der Klappe (3) ist.
摘要翻译：布置阀装置用于具有壳体的机动车辆（1），用于封闭流路位于壳体（2），一个在所述流动通道（2）翼片（3）的流路（2），该翼片（3）具有的区域其中翼片（3）贯通轴（4）附接，并且所述轴线可旋转地在所述壳体（1）被安装，并在流动通道布置（2）之一的阀座（5）（4）（在翼片的闭合位置 3）与其接触。翼片（3）的周缘（6）的厚度比该翼片（3）的厚度小。

3. 发明申请

WO2008000383A1 SIGNALAUFBEREITER UND VERFAHREN ZUM VERARBEITEN EINES EMPFANGSSIGNALS 审中-公开
标题翻译：信号调理和方法处理的信号接收
公开(公告)号：WO2008000383A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/EP2007/005451
申请日：2007-06-20
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V: , CARRERA, Alfonso , KÖHLER, Stefan , ROHMER, Günter
发明人： CARRERA, Alfonso , KÖHLER, Stefan , ROHMER, Günter
IPC分类号： H04B1/26 , H04B1/00
CPC分类号： H04B1/0085
摘要： Ein Signalaufbereiter (100) zum Verarbeiten eines Empfangssignals (112) mit einem ersten Nutzfrequenzband (162) und einem zweiten Nutzfrequenzband (164) umfasst einen ersten Mischer (110) zum Mischen des Empfangssignals mit einem ersten Lokaloszillatorsignal (114), wobei eine Frequenz des ersten Lokaloszillatorsignals unsymmetrisch zwischen dem ersten Nutzfrequenzband und dem zweiten Nutzfrequenzband liegt. Der erste Mischer ist ausgelegt, um ein Inphase-Signal (120) und ein Quadratur-Signal (122) zu erhalten, die einen ersten Signalanteil (172) aufweisen, der ein gemischtes Abbild des ersten Nutzfrequenzbands darstellt, und die einen zweiten Signalanteil (174) aufweisen, der ein gemischtes Abbild des zweiten Nutzfrequenzbands darstellt. Der Signalaufbereiter umfasst einen zweiten Mischer (130) zum Mischen des Inphase-Signals und des Quadratur-Signals unter Verwendung des zweiten Lokaloszillatorsignals (132). Eine Frequenz des zweiten Lokaloszillatorsignals ist so gewählt, dass das gemischte Abbild (173) des ersten Nutzfrequenzbands und das gemischte Abbild (174) des zweiten Nutzfrequenzbands bezüglich des zweiten Lokaloszillatorsignals zumindest teilweise Spiegelbänder zueinander sind. Der zweite Mischer ist ausgelegt, um an seinem Ausgang Informationsinhalte des ersten Nutzfrequenzbands und des zweiten Nutzfrequenzbands getrennt bereitzustellen, um ein erstes Ausgangssignal (140) zu erhalten, das im Wesentlichen einen Informationsinhalt des ersten Nutzfrequenzbands umfasst, und um ein zweites Ausgangssignal (142) zu erhalten, das im Wesentlichen einen Informationsinhalt des zweiten Nutzfrequenzbands umfasst.
摘要翻译：用于与第一使用频带（162）和第二使用频带（164）中处理接收的信号（112）的信号调节器（100）包括一个第一混频器（110），用于将接收的信号与第一本机振荡器信号（114），所述第一的，其中一个频率混合本地振荡器信号是第一使用频带和第二使用频带之间是不对称的。第一混频器，用于接收同相位信号（120）和正交信号（122），其具有表示所述第一使用频带的混合图像的第一信号部分（172），和一个第二信号分量（174 ），其表示所述第二使用频带的混合图像。信号调节器包括用于同相信号并使用所述第二本地振荡器信号（132）的正交信号混频的第二混频器（130）。第二本机振荡器信号的频率被选择为使得所述第一使用频带和第二使用频带的混合图像（174）相对于所述第二本地振荡器信号的混合图像（173）至少部分地彼此的图像带。第二混频器被实现为在第一使用频带和第二使用频带以获得第一输出信号（140），其基本上包括第一使用频带的信息内容，和第二输出信号（142）的输出信息内容单独地提供到得到的，其基本上包含第二使用频带的信息内容。

4. 发明申请

WO2004113702A1 DROSSELKLAPPEN-VERSTELLVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： ADJUSTING油门
公开(公告)号：WO2004113702A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/EP2004/050958
申请日：2004-05-28
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , HANNEWALD, Thomas , KÖHLER, Stefan
发明人： HANNEWALD, Thomas , KÖHLER, Stefan
IPC分类号： F02D9/10
CPC分类号： F02D11/10 , F02D9/1065 , F16K1/221 , F16K1/226
摘要： Eine Drosselklappen-Verstellvorrichtung besitzt ein Gehäuse (12) mit einer Lagerung für eine Drosselklappenwelle (20) und einem Drosselklappenstutzen (26), in welchem eine Drosselklappe (24) verschwenkbar ist , die auf der in einem Wellendurchtritt (44) in den Stutzen (26) mündende Drosselklappenwelle (26) sitzt. Um die Leckluft zu vermindern, wird vorgeschlagen, dass der Umfang (34) der Drosselklappe (24) mit Abstand zu einem Durchtritt (44) der Drosselklappenwelle (20) in dem Drosselklappenstutzen (26) liegt.
摘要翻译：节流阀定位装置有一个带有用于节流阀轴的存储器（20）和节气门体（26），在该节流阀（24）是可枢转的，壳体（12），其（在该连接件26的轴通道（44））打开节气门轴（26）就位。为了减少空气泄漏，所以建议在距离节流阀（24）从所述节气门轴（20）在的通路（44）的周边（34），所述节气门体（26）。

5. 发明申请

WO2004081429A1 TEILEINHEIT EINES DROSSELKLAPPENSTUTZENS 审中-公开
标题翻译： PART机用节流的脖子
公开(公告)号：WO2004081429A1
公开(公告)日：2004-09-23
申请号：PCT/DE2003/004153
申请日：2003-12-16
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , HANNEWALD, Thomas , KÖHLER, Stefan , LINDNER, Roland
发明人： HANNEWALD, Thomas , KÖHLER, Stefan , LINDNER, Roland
IPC分类号： F16K1/22
CPC分类号： F16K1/221 , F02D9/1025 , F02D9/107 , F16K1/2261
摘要： Die Teileinheit besteht aus einer Drosselklappenwelle (1) aus Metall und einer Drosselklappe (2) aus Kunststoff, wobei die Drosselklappenwelle (1) mittig durch die Drosselklappe (2) hindurchführend angeordnet ist und wobei der maximale spitze Winkel α zwischen der Längsachse der Drosselklappenwelle (1) und einer weiteren Längsachse der Drosselklappe (2) zwischen 5° und 25° beträgt.
摘要翻译：子单元由金属构成的节气门轴（1）和节流阀（2）的塑料，其特征在于，所述节流阀心轴（1）中心穿过节流阀（2）通过前导布置，并且其中，所述最大顶角α（节流轴1的纵向轴线之间）和5°和25°之间的节流阀（2）的进一步的纵向轴线。

6. 发明申请

WO2009115370A1 REINIGUNGSMODUL, EUV-LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER REINIGUNG 审中-公开
标题翻译：清理模块，EUV光刻设备和方法清洁
公开(公告)号：WO2009115370A1
公开(公告)日：2009-09-24
申请号：PCT/EP2009/051330
申请日：2009-02-05
申请人： CARL ZEISS SMT AG , HEMBACHER, Stefan , KRAUS, Dieter , EHM, Dirk Heinrich , SCHMIDT, Stefan-Wolfgang , KÖHLER, Stefan , CZAP, Almut , WIESNER, Stefan , CHUNG, Hin Yiu Anthony
发明人： HEMBACHER, Stefan , KRAUS, Dieter , EHM, Dirk Heinrich , SCHMIDT, Stefan-Wolfgang , KÖHLER, Stefan , CZAP, Almut , WIESNER, Stefan , CHUNG, Hin Yiu Anthony
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70925
摘要： Um eine schonendere Reinigung von optischen Komponenten (35) innerhalb einer EUV- Lithographievorrichtung zu erlauben, wird ein Reinigungsmodul für eine EUV- Lithographievorrichtung mit einer Zuleitung für molekularen Wasserstoff und einem Heizdraht zur Herstellung von atomarem Wasserstoff und Wasserstoffionen zu Reinigungszwecken vorgeschlagen, bei dem in Strömungsrichtung des Wasserstoffs (31, 32) hinter dem Heizdraht (29) Mittel (33) zum Anlegen eines elektrischen und/oder magnetischen Feldes angeordnet sind. Die Mittel können als Umlenkeinheit sowie als Filtereinheit und/oder Beschleunigungseinheit für den Ionenstrahl (32) ausgebildet sein.
摘要翻译：以允许EUV光刻设备内的光学部件（35）的更温和的清洁，为具有用于分子氢和用于生产原子氢和氢离子用于纯化目的的加热丝的入口EUV光刻设备中的清洁模块，建议，其中，在流动方向上氢（31，32）中的加热丝的后面（29）包括装置（33）被设置用于施加电场和/或磁场。该装置可以被形成为一个偏转单元，以及一个过滤器单元和/或加速度单元，用于将离子束（32）。

7. 发明申请

WO2006063769A1 SYNCHRONISATIONSVORRICHTUNG UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES SYNCHRONISATIONSSIGNALS 审中-公开
标题翻译：同步器和设备，用于产生同步信号
公开(公告)号：WO2006063769A1
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：PCT/EP2005/013303
申请日：2005-12-12
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , WAGNER, Carmen , KÖHLER, Stefan , STADALI, Holger , HOFMANN, Günter , BREILING, Marco
发明人： WAGNER, Carmen , KÖHLER, Stefan , STADALI, Holger , HOFMANN, Günter , BREILING, Marco
IPC分类号： H04L7/10 , H04L7/04 , H04L27/26 , H04B1/16
CPC分类号： H04L7/042 , H04L7/0008 , H04L7/10 , H04L27/0014 , H04L2027/0095
摘要： Eine Synchronisationsvorrichtung zum Bestimmen einer Position eines Synchronisationssignals in einem Empfangssignal, wobei das Synchronisationssignal auf einem Grobsynchronisationssignal und einem Feinsynchronisationssignal basiert, umfasst eine Signalverarbeitungseinrichtung, die ausgebildet ist, um basierend auf dem Grobsynchronisationssignal einen Abschnitt des Empfangssignals zu bestimmen, in dem das Feinsynchronisationssignal liegt, und um basierend auf dem Feinsynchronisationssignal in dem Abschnitt des Empfangssignals die Position des Synchronisationssignals in dem Empfangssignal für eine Synchronisation zu bestimmen.
摘要翻译：用于确定在接收信号中的同步信号的位置的同步装置，该同步信号是基于粗同步信号和精同步信号包括适于确定信号处理装置，基于所述粗同步信号所接收的信号的一部分，其中精同步信号，和命令在所接收信号的部分中的细同步信号来确定所述同步信号的在基于同步接收信号的位置。

8. 发明申请

WO2006063760A1 SIGNALKONVERTIERER ZUM KONVERTIEREN EINES STARTSIGNALS IN EIN ENDSIGNAL UND VERFAHREN ZUM KONVERTIEREN EINES STARTSIGNALS IN EIN ENDSIGNAL 审中-公开
标题翻译：信号转换器用于将起动信号IN的结束信号AND METHOD FOR CONVERTING起始信号IN的结束信号
公开(公告)号：WO2006063760A1
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：PCT/EP2005/013294
申请日：2005-12-12
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , KÖHLER, Stefan
发明人： KÖHLER, Stefan
IPC分类号： H04L27/26
CPC分类号： H03H17/0621 , H03H17/0275 , H03H2017/0247 , H04L27/2092 , H04L27/2627
摘要： Ein Signalkonvertierer (150) zum Konvertieren eines Startsignals in ein Endsignal umfasst eine Einrichtung (102) zum Kopieren des Startsignals (xplus[k]), um eine Mehrzahl von kopierten Startsignalen (104a bis 104d) zu erhalten, wobei ein kopiertes Startsignal als Zweigsignal in einen Verarbeitungszweig (110, 112, 114, 116) einspeisbar ist. Ferner umfasst der Signalkonvertierer (150) eine erste Zweigverarbeitungseinrichtung in einem ersten Verarbeitungszweig (110) zum Verarbeiten eines ersten Zweigsignals gemäß einer ersten Verarbeitungsvorschrift, um ein erstes verarbeitetes Zweigsignal zu erhalten. Weiterhin umfasst der Signalkonvertierer (150) eine zweite Zweigverarbeitungseinrichtung in einem zweiten Verarbeitungszweig (112) zum Verarbeiten eines zweiten Zweigsignals gemäß einer zweiten Verarbeitungsvorschrift, um ein zweites verarbeitetes Zweigsignal zu erhalten, wobei sich die zweite Verarbeitungsvorschrift von der ersten Verarbeitungsvorschrift unterscheidet und wobei die erste Verarbeitungsvorschrift und die zweite Verarbeitungsvorschrift ausgebildet sind, um eine Tiefpass-Polyphasenfilterung der kopierten Startsignale zu bewirken. Schließlich umfasst der Signalkonvertierer (150) eine Auswahleinrichtung zum sequentiellen Auswählen des ersten verarbeiteten Zweigsignals und dann des zweiten verarbeiteten Zweigsignal, um das Endsignal zu erhalten.
摘要翻译：用于在端信号转换的启动信号的信号转换器（150）包括用于复制开始信号（XPLUS [K]），以获得多个拷贝开始信号（104a至104d中），其中，复制开始信号作为一个分支信号的装置（102）一个处理分支（110，112，114，116）可以被供给。此外，信号转换器（150）包括在第一处理分支（110），用于根据第一处理规则处理第一分支信号的第一分支处理装置，以获得第一处理分支的信号。此外，信号转换器（150）包括在第二处理分支（112），用于根据第二处理规则处理第二分支信号，以获得第二处理分支信号，其中，从所述第一处理规则的第二处理规则不同，并且其中，所述第一处理指定的第二分支处理器和第二处理规范被配置为使低通多相滤波-复制开始信号。最后，该信号转换器（150）包括一个选择装置，用于在第一处理分支的信号的顺序选择，则第二处理分支的信号，以获得端信号。

9. 发明申请

WO2010043398A1 EUV- LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINES OPTISCHEN ELEMENTS 审中-公开
标题翻译： EUV光刻设备和方法处理的光学元件的
公开(公告)号：WO2010043398A1
公开(公告)日：2010-04-22
申请号：PCT/EP2009/007411
申请日：2009-10-15
申请人： CARL ZEISS SMT AG , SINGER, Wolfgang , KWAN, Yim-Bun-Patrick , SCHMIDT, Stefan-Wolfgang , EHM, Dirk Heinrich , KRAUS, Dieter , WIESNER, Stefan , KÖHLER, Stefan , CZAP, Almut , CHUNG, Hin Yiu Anthony
发明人： SINGER, Wolfgang , KWAN, Yim-Bun-Patrick , SCHMIDT, Stefan-Wolfgang , EHM, Dirk Heinrich , KRAUS, Dieter , WIESNER, Stefan , KÖHLER, Stefan , CZAP, Almut , CHUNG, Hin Yiu Anthony
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/00
CPC分类号： G03F7/70925 , G03F1/82 , G03F1/86 , G03F7/70733 , G03F7/7085 , G03F7/70866
摘要： Die Erfindung betrifft eine EUV-Lithographievorrichtung, umfassend: eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten einer Maske an einer Beleuchtungsposition in der EUV-Lithographievorrichtung, sowie eine Projektionseinrichtung zur Abbildung einer an der Maske vorgesehenen Struktur auf ein lichtempfindliches Substrat. Die EUV-Lithographievorrichtung weist eine Bearbeitungseinrichtung (15) zur bevorzugt ortsaufgelösten Bearbeitung eines optischen Elements (6a), insbesondere der Maske, an einer Bearbeitungsposition in der EUV-Lithographievorrichtung auf. Zur Aktivierung mindestens eines Gasbestandteils des Gasstroms (27) umfasst die Bearbeitungseinrichtung (15) eine Strahlungsquelle zur Erzeugung von Strahlung, einen Teilchengenerator (30) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls, insbesondere eines Elektronenstrahls (30a), und/oder einen Hochfrequenzgenerator.
摘要翻译：本发明涉及一种EUV光刻设备，包括：用于在EUV光刻设备的照射位置照射的掩模的照明装置，以及投影装置，用于一设置在掩模图案在感光性基板上进行成像。 EUV光刻设备包括用于光学元件（6a）中的优选空间分辨加工，尤其是掩模的处理装置（15），在EUV光刻设备中的处理位置。为了激活气体流（27）的处理装置中的至少一种气体组分（15）包括用于产生辐射的辐射源，用于产生粒子束，特别是电子束（30A）和/或高频率发生器的粒子发生器（30）。

10. 发明申请

WO2009121385A1 CLEANING MODULE AND EUV LITHOGRAPHY DEVICE WITH CLEANING MODULE 审中-公开
标题翻译：清洁模块和具有清洁模块的EUV光刻设备
公开(公告)号：WO2009121385A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/EP2008/009754
申请日：2008-11-19
申请人： CARL ZEISS SMT AG , EHM, Dirk, Heinrich , KALLER, Julian , SCHMIDT, Stefan , KRAUS, Dieter , WIESNER, Stefan , CZAP, Almut , CHUNG, Hin-Yiu, Anthony , KÖHLER, Stefan
发明人： EHM, Dirk, Heinrich , KALLER, Julian , SCHMIDT, Stefan , KRAUS, Dieter , WIESNER, Stefan , CZAP, Almut , CHUNG, Hin-Yiu, Anthony , KÖHLER, Stefan
IPC分类号： G03F7/20 , B08B7/00
CPC分类号： G03F7/70925 , B08B7/0035
摘要： In order to enable a more gentle cleaning of the optical elements of an EUV lithography device, a cleaning module for an EUV lithography device is suggested with a supply (206) for molecular hydrogen, a heating filament (210) and a line (212) for atomic and/or molecular hydrogen, in which cleaning module the line (212) has at least one bend with a bending angle of less than 120 degrees, the line (212) has a material on its inner surface which has a low recombination rate for atomic hydrogen and the supply (206) is of flared shape at its end which faces the heating filament (210). A gentler cleaning can also be achieved by exciting a cleaning gas by means of a cold cathode or a plasma as well as by filtering out charged particles by means of electrical and/or magnetic fields.
摘要翻译：为了能够对EUV光刻设备的光学元件进行更温和的清洁，建议用于分子氢的供应（206），加热灯丝（210）和线（212）的用于EUV光刻设备的清洁模块，对于原子和/或分子氢，其中线（212）的清洁模块具有弯曲角度小于120度的至少一个弯曲，线（212）在其内表面上具有低复合速率的材料对于原子氢，并且供应（206）在其面向加热丝（210）的端部处具有喇叭形形状。还可以通过借助于冷阴极或等离子体激发清洁气体以及通过电场和/或磁场过滤掉带电粒子来实现温和清洁。

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