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1. 发明申请

WO2005033800A1 LITHOGRAPHIE-OBJEKTIV UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT MINDESTENS EINEM SOLCHEN LITHOGRAPHIE-OBJEKTIV 审中-公开
标题翻译：光刻镜头和投影曝光系统与至少一个该光刻镜头
公开(公告)号：WO2005033800A1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：PCT/EP2004/007753
申请日：2004-07-14
申请人： CARL ZEISS SMT AG , ROSTALSKI, Hans-Jürgen , EPPLE, Alexander , DODOC, Aurelian , WANGLER, Johannes , SCHUSTER, Karl-Heinz , SCHULTZ, Jörg , STICKEL, Franz-Josef , SINGER, Wolfgang , WIETZORREK, Joachim
发明人： ROSTALSKI, Hans-Jürgen , EPPLE, Alexander , DODOC, Aurelian , WANGLER, Johannes , SCHUSTER, Karl-Heinz , SCHULTZ, Jörg , STICKEL, Franz-Josef , SINGER, Wolfgang , WIETZORREK, Joachim
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70066 , G03F7/70241
摘要： Ein optisches Abbildungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage dient zur Abbildung eines in einer Objekt-ebene des Abbildungssystems angeordneten Objektfeldes in ein in einer Bildebene des Abbildungssystems angeordnetes Bildfeld. Es kann sich insbesondere um ein Projektionsobjektiv oder um ein im Beleuchtungs-system einzusetzendes Relais-Objektiv handeln. Das Abbildungssystem hat eine Vielzahl von Linsen, die zwischen der Objektebene und der Bildebene angeordnet sind und jeweils eine erste Linsenfläche und eine zweite Linsenfläche aufweisen. Mindestens eine der Linsen ist eine Doppelasphärenlinse, bei der die erste Linsenfläche und die zweite Lin-senfläche eine asphärische Fläche ist. Bei Doppelasphärenlinsen ist es möglich, mit vertretbarem Aufwand bei der Oberflächenbearbeitung und Prüfung der Linsenoberflächen Linsen mit guter Qualität herzustellen, die die Wirkung einer Asphäre mit sehr starker Deformation haben.
摘要翻译：一种用于微光刻投射曝光设备的成像光学系统被用于成像放置在成像系统的物平面中布置在所述成像系统的图像场的图像平面中的物场的对象。它可以是在特定的投影透镜或在照明系统中继透镜被分配。该成像系统具有多个被布置在物平面和像平面，并且每个具有第一透镜表面和第二透镜表面之间的透镜。至少所述透镜中的一个是一个Doppelasphärenlinse，其中，所述第一透镜表面和第二透镜表面是非球面表面。在Doppelasphärenlinsen它可以使在表面处理和透镜的测试以合理的成本与具有非球面表面的具有非常强的变形的效果良好的品质的透镜面。

2. 发明申请

WO2003098349A3 ILLUMINATION SYSTEM FOR MICROLITHOGRAPHY 审中-公开
公开(公告)号：WO2003098349A3
公开(公告)日：2003-11-27
申请号：PCT/EP2003/004971
申请日：2003-05-13
申请人： CARL ZEISS SMT AG , WIETZORREK, Jochen , HAINZ, Joachim , SINGER, Wolfgang , WANGLER, Johannes , ANTONI, Martin , SCHULTZ, Jörg , DINGER, Udo , SCHUSTER, Karl-Heinz
发明人： WIETZORREK, Jochen , HAINZ, Joachim , SINGER, Wolfgang , WANGLER, Johannes , ANTONI, Martin , SCHULTZ, Jörg , DINGER, Udo , SCHUSTER, Karl-Heinz
IPC分类号： G03F7/20
摘要： There is provided an illumination system for scannertype microlithography along a scanning direction with a light source emitting a wavelength ≤ 193 nm. The illumination system includes a plurality of raster elements (5). The plurality of raster elements is imaged into an image plane (9) of the illumination system to produce a plurality of images being partially superimposed on a field in the image plane. The field defines a non-rectangular intensity profile in the scanning direction.

3. 发明申请

WO2003098349A2 ILLUMINATION SYSTEM PARTICULARLY FOR MICROLITHOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：照明系统特别适用于微晶
公开(公告)号：WO2003098349A2
公开(公告)日：2003-11-27
申请号：PCT/EP2003/004971
申请日：2003-05-13
申请人： CARL ZEISS SMT AG , WIETZORREK, Jochen , HAINZ, Joachim , SINGER, Wolfgang , WANGLER, Johannes , ANTONI, Martin , SCHULTZ, Jörg , DINGER, Udo , SCHUSTER, Karl-Heinz
发明人： WIETZORREK, Jochen , HAINZ, Joachim , SINGER, Wolfgang , WANGLER, Johannes , ANTONI, Martin , SCHULTZ, Jörg , DINGER, Udo , SCHUSTER, Karl-Heinz
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G02B3/0043 , B82Y10/00 , G02B3/0062 , G02B17/0657 , G03F7/70075 , G03F7/70083 , G03F7/70108 , G03F7/70166 , G03F7/702 , G03F7/70233 , G03F7/70358 , G03F7/708 , G21K1/06 , G21K1/062
摘要： There is provided an illumination system for scannertype microlithography along a scanning direction with a light source emitting a wavelength ≤ 193 nm. The illumination system includes a plurality of raster elements. The plurality of raster elements is imaged into an image plane of the illumination system to produce a plurality of images being partially superimposed on a field in the image plane. The field defines a non-rectangular intensity profile in the scanning direction.
摘要翻译：提供了一种用于沿着扫描方向进行扫描器微光刻的照明系统，其中发射波长<= 193nm的光源。照明系统包括多个光栅元件。将多个光栅元件成像为照明系统的图像平面，以产生部分地叠加在图像平面中的场上的多个图像。该场在扫描方向上定义非矩形强度分布。

4. 发明申请

WO2004102273A2 BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT AXIKON-MODUL 审中-公开
标题翻译：与锥镜组件照明系统
公开(公告)号：WO2004102273A2
公开(公告)日：2004-11-25
申请号：PCT/EP2004/004004
申请日：2004-04-16
申请人： CARL ZEISS SMT AG , SCHULTZ, Jörg
发明人： SCHULTZ, Jörg
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G02B27/286 , G02B5/001 , G03F7/70108 , G03F7/70566
摘要： Beleuchtungssystem (1) für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit einem Axikon-Modul (3) zur Erzeugung einer Beleuchtungsverteilung mit einem zentralen Intensitätsminimum. Das Axikon-Modul (3) weist ein erstes Axikonelement (5) mit einer ersten Axikonfläche (11) und ein dem ersten Axikonelement (5) zugeordnetes zweites Axikonelement (7) mit einer zweiten Axikonfläche (13) auf. Das Beleuchtungssystem (1) weist weiterhin ein erstes polarisationsbeeinflussendes optisches Element (15) auf, welches in Lichtrichtung vor dem ersten Axikonelement (5) angeordnet ist und derart aufgebaut ist, dass auf die Axikonflächen (11, 13) treffende Strahlen (19) annähernd senkrecht oder annähernd parallel zur jeweiligen Einfallsebene der Strahlen (19) polarisiert sind.
摘要翻译：该照明系统（1），用于与旋转三棱镜模块（3），用于产生具有中心强度最小值的照度分布的微光刻投射曝光系统。展像模块（3）具有：（5）具有第一Axikonfläche（11）和（7）具有第二Axikonfläche（13）（5）相关联的第二Axikonelement第一Axikonelement第一Axikonelement。的照明系统（1）还包括被所述第一Axikonelement（5）之前布置在光方向和被构造成第一偏振影响光学元件（15），所述Axikonflächen（11，13）碰撞射流（19）大致垂直被极化或大致平行于所述梁（19）的入射相应平面。

5. 发明申请

WO2003072602A3 PROTEIN COMPLEXES AND METHODS FOR THEIR USE 审中-公开
公开(公告)号：WO2003072602A3
公开(公告)日：2003-09-04
申请号：PCT/EP2002/050003
申请日：2002-12-20
申请人： CELLZOME AG , BAUER, Andreas , GAVIN, Anne-Claude , SUPERTI-FURGA, Gulio , KÜSTER, Bernhard , SCHULTZ, Jörg , MARZIOCH, Martina , GRANDI, Paola , KRAUSE, Roland , KRUSE, Ulrich , MERINO, Alejandro , BAUCH, Angela , MICHON, Anne-Marie , LEUTWEIN, Christina , RICK, Jens
发明人： BAUER, Andreas , GAVIN, Anne-Claude , SUPERTI-FURGA, Gulio , KÜSTER, Bernhard , SCHULTZ, Jörg , MARZIOCH, Martina , GRANDI, Paola , KRAUSE, Roland , KRUSE, Ulrich , MERINO, Alejandro , BAUCH, Angela , MICHON, Anne-Marie , LEUTWEIN, Christina , RICK, Jens
IPC分类号： C07K14/47
摘要： The present invention relates to multiprotein complexes from eukaryotes. The complexes are obtainable by using a protein as a bait and isolating the set of proteins which is attached thereto from cells. Such protein complexes may comprise up to 30 distinct proteins.

6. 发明申请

WO2003072602A2 PROTEIN COMPLEXES AND METHODS FOR THEIR USE 审中-公开
标题翻译：蛋白复合物及其使用方法
公开(公告)号：WO2003072602A2
公开(公告)日：2003-09-04
申请号：PCT/EP2002/050003
申请日：2002-12-20
申请人： CELLZOME AG , BAUER, Andreas , GAVIN, Anne-Claude , SUPERTI-FURGA, Gulio , KÜSTER, Bernhard , SCHULTZ, Jörg , MARZIOCH, Martina , GRANDI, Paola , KRAUSE, Roland , KRUSE, Ulrich , MERINO, Alejandro , BAUCH, Angela , MICHON, Anne-Marie , LEUTWEIN, Christina , RICK, Jens
发明人： BAUER, Andreas , GAVIN, Anne-Claude , SUPERTI-FURGA, Gulio , KÜSTER, Bernhard , SCHULTZ, Jörg , MARZIOCH, Martina , GRANDI, Paola , KRAUSE, Roland , KRUSE, Ulrich , MERINO, Alejandro , BAUCH, Angela , MICHON, Anne-Marie , LEUTWEIN, Christina , RICK, Jens
IPC分类号： C07K14/47
CPC分类号： C07K14/47 , A61K39/00 , C07K14/39 , C07K2319/02 , C07K2319/50
摘要： The present invention relates to multiprotein complexes from eukaryotes. The complexes are obtainable by using a protein as a bait and isolating the set of proteins which is attached thereto from cells. Such protein complexes may comprise up to 30 distinct proteins.
摘要翻译：本发明涉及来自真核生物的多蛋白复合物。通过使用蛋白质作为诱饵并且从细胞中分离附着于其上的蛋白质组，可以获得复合物。这样的蛋白质复合物可以包含多达30个不同的蛋白质。

7. 发明申请

WO2002092626A3 CLEAVAGE AND POLYADENYLATION COMPLEX OF PRECURSOR MRNA 审中-公开
公开(公告)号：WO2002092626A3
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：PCT/EP2002/005359
申请日：2002-05-15
申请人： CELLZOME AG , BAUER, Andreas , GAVIN, Anne-Claude , MARZIOCH, Martina , SCHULTZ, Jörg , BRAJENOVIC, Miro , GRANDI, Paola
发明人： BAUER, Andreas , GAVIN, Anne-Claude , MARZIOCH, Martina , SCHULTZ, Jörg , BRAJENOVIC, Miro , GRANDI, Paola
IPC分类号： C07K14/39
摘要： The present invention relates to novel components of the cleavage/polyadenylation machinery of precursor mRNA as well as to the complex containing the new components and its use. The complex is obtained by using one component thereof as a bait and isolating a highly organised complex consisting of at least 13 distinct proteins.

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