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    • 2. 发明申请
    • FERROELECTRIC THIN FILM TRAVELLING WAVE ROTATION SENSOR
    • 铁电薄膜行驶波浪传感器
    • WO1994008245A1
    • 1994-04-14
    • PCT/US1993004935
    • 1993-05-24
    • BEI ELECTRONICS, INC.
    • BEI ELECTRONICS, INC.WAN, Lawrence, A.
    • G01P09/04
    • G01C19/5684
    • A diaphragm (24) is disposed over a cavity (18) formed in a silicon base (14). A plurality of electrodes (22) are radially disposed about the diaphragm overlying the cavity, and a signal applying circuit (34) applies a signal to the plurality of electrodes so that portions of the diaphragm flex for establishing a net angular momentum (e.g., the flexing of the diaphragm simulates a traveling wave encircling the cavity). A deformation sensing circuit comprising a plurality of strain gages (42) interconnected to form a corresponding plurality of Wheatstone bridges (38) are disposed about the periphery of the cavity along orthogonal axes (X, Y) for sensing deformation of the structure about the orthogonal axes.
    • 隔膜(24)设置在形成在硅基底(14)中的空腔(18)之上。 多个电极(22)围绕覆盖空腔的隔膜放射状设置,并且信号施加电路(34)向多个电极施加信号,使得隔膜的部分弯曲以建立净角动量(例如, 隔膜的弯曲模拟围绕空腔的行波)。 包括互连以形成对应的多个惠斯通电桥(38)的多个应变计(42)的变形感测电路围绕着沿着正交轴线(X,Y)的空腔的周边设置,用于感测关于正交的结构的变形 轴。
    • 3. 发明申请
    • APPARATUS FOR DETECTING RELATIVE MOVEMENT
    • 检测相对运动的装置
    • WO1993022615A1
    • 1993-11-11
    • PCT/US1993004260
    • 1993-05-04
    • BEI ELECTRONICS, INC.
    • BEI ELECTRONICS, INC.MITCHELL, Donald, K.
    • G01B09/02
    • G01D5/38
    • The apparatus disclosed herein employs a grating or scale (13) which concentrates light at a preselected wavelength into the positive (33) and negative (35) first orders while minimizing the zeroth order (31). The scale (13) is illuminated with monochromatic light of the selected wavelength and a poly-phase periodic detector (25) has its sensing plane spaced from the scale a distance less than W: 2 tan THETA where THETA = arcsin [ lambda : P], where W is the width of the illuminated region of the scale. The period of the poly-phase detector is equal to P/2 so that each detector element (51) or phase responds principally to interference between the positive and negative first orders without requiring magnification or redirection of the diffracted light. Preferably, the distance of the sensing plane from the scale (13) is greater than W: 2 tan phi where phi = arcsin [3 lambda : P], so that the detector response does not include substantial components from diffraction orders higher than the first.
    • 本文公开的装置采用光栅或刻度(13),其将预选波长的光集中到正(33)和负(35)第一阶中,同时最小化零阶(31)。 刻度(13)被所选波长的单色光照亮,并且多相周期性检测器(25)的感测平面与刻度距离小于W:2 tan THETA的距离,其中THETA = arcsin [λ:P] ,其中W是刻度的照明区域的宽度。 多相检测器的周期等于P / 2,使得每个检测器元件(51)或相位主要响应正和负第一阶之间的干涉,而不需要衍射光的放大或重定向。 优选地,感测平面与标尺(13)的距离大于W:2tanφ,其中phi = arcsin [3λ:P],使得检测器响应不包括高于第一 。
    • 5. 发明申请
    • SHAFT ANGLE ENCODER HAVING A CIRCUIT FOR SYNTHESIZING A SKIPPED TRACK OUTPUT SIGNAL
    • 具有用于合成滑行轨道输出信号的电路的角度编码器
    • WO1983002511A1
    • 1983-07-21
    • PCT/US1982000034
    • 1982-01-15
    • BEI ELECTRONICS, INC.
    • BEI ELECTRONICS, INC.HAVILLE, George, Douglas
    • G06F11/10
    • H03M1/26
    • Codeur de position angulaire d'un arbre permettant de produire une pluralité de signaux de sortie correspondant à un mot de code binaire à multi-chiffres représentant la position angulaire de l'arbre, comprenant un organe de code rotatif (12) ayant une multitude de pistes de codes s'échelonnant dans l'ordre de zéro à n à l'exception de l'omission d'une piste sautée ayant l'ordre n moins 1, la piste d'ordre zéro ayant les plus grandes divisions tandis que la piste d'ordre n possède les divisions les plus fines, des moyens transducteurs (16) permettant la lecture des pistes et produisant des signaux électriques correspondants, un détecteur de parité (24) ayant des entrées de réception des signaux électriques correspondant aux pistes ayant les ordres de zéro à n moins 2 et permettant de produire une sortie correspondante paire/impaire, et une porte logique OU exclusif (34) ayant des entrées de réception de la sortie paire/impaire de ce détecteur de parité et le signal électrique correspondant à la piste d'ordre n, la porte OU exclusif produisant une sortie qui synthétise les signaux électriques de sortie correspondant à la piste sautée d'ordre n moins 1. La piste d'ordre n peut être une piste sinus pour produire un signal électrique d'onde sinusoïdale lequel est numérisé avant d'être envoyé à la porte logique OU exclusif.
    • 6. 发明申请
    • ROTATION SENSOR
    • 旋转传感器
    • WO1993005400A1
    • 1993-03-18
    • PCT/US1992007229
    • 1992-08-26
    • BEI ELECTRONICS, INC.
    • BEI ELECTRONICS, INC.WAN, Lawrence, A.
    • G01P09/04
    • G01C19/5712
    • A silicon chip (10) is micromachined so that a plurality of tines (18) extend radially and coplanarly from an outer peripheral surface (22) of a circular base (14). First and second mounting members (28, 36) extend from the base for mounting the base (14) to a support (32). The first mounting member is disposed generally perpendicularly to the second mounting member. A pulse generator (74) applies electrostatic or electromagnetic pulses to successive free ends of the plurality of tines so that each tine momentarily vibrates in the plane in rotational sequence along the circumference of the base. The successive vibrators establish a net angular momentum approximating a spinning wheel so that rotation of the sensor about the axis of one of the first or second mounting members causes the other mounting member to experience to deformation due to coriolis force. A plurality of strain gages (RX1-RX8, RY1-RY8) interconnected to form Wheatstone bridges (40, 44, 48, 52) are disposed on the first and second mounting members for respectively sensing deformation of the first and second mounting members.
    • 硅芯片(10)被微加工,使得多个尖齿(18)从圆形基座(14)的外周表面(22)径向和共面延伸。 第一和第二安装构件(28,36)从基座延伸以将基座(14)安装到支撑件(32)上。 第一安装构件大致垂直于第二安装构件设置。 脉冲发生器(74)将静电或电磁脉冲施加到多个尖齿的连续自由端,使得每个齿沿着基座的圆周以旋转顺序在平面中瞬间振动。 连续振动器建立近似于旋转轮的净角动量,使得传感器围绕第一或第二安装构件之一的轴线的旋转导致另一安装构件由于科里奥利力而经历变形。 互连以形成惠斯登电桥(40,44,48,52)的多个应变计(RX1-RX8,RY1-RY8)设置在第一和第二安装构件上,用于分别感测第一和第二安装构件的变形。