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1. 发明申请

WO2012072120A1 APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING A DEPOSITION OF ONE OR MORE LAYERS IN A DEPOSITION DEVICE 审中-公开
标题翻译：用于监测沉积物中一层或多层的沉积的装置和方法
公开(公告)号：WO2012072120A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/EP2010/068561
申请日：2010-11-30
申请人： APPLIED MATERIALS INC. , LORENZ, Stefan , SAUER, Peter
发明人： LORENZ, Stefan , SAUER, Peter
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/54 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/0042 , C23C14/54 , C23C14/562
摘要： In one general aspect of the present invention, a method for monitoring a deposition of one or more layers in a deposition device comprises the steps of depositing a first section of a layer onto a moving substrate at a first deposition location, measuring at least one characteristic of the first section of the layer at a first measurement location downstream of the first deposition location, determining a difference between the at least one characteristic and a respective target value, and changing a parameter of the deposition device based on the difference between the at least one characteristic and the respective target value. This method provides for a simple and reliable control of layer properties in a deposition device with an automated closed-loop controller.
摘要翻译：在本发明的一个总体方面，用于监测沉积装置中一层或多层沉积的方法包括以下步骤：在第一沉积位置处将层的第一部分沉积到移动的衬底上，测量至少一个特征在所述第一沉积位置下游的第一测量位置处的所述层的第一部分确定所述至少一个特性与相应目标值之间的差异，以及基于所述沉积设备之间的差异来改变所述沉积设备的参数一个特征和相应的目标值。该方法提供了使用自动闭环控制器的沉积设备中的层性质的简单和可靠的控制。

2. 发明申请

WO2011036078A1 MODULAR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND METHOD 审中-公开
标题翻译：模块化基板处理系统及方法
公开(公告)号：WO2011036078A1
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/EP2010/063542
申请日：2010-09-15
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , HERZOG, André , MORRISON, Neil , HEIN, Stefan , SAUER, Peter
发明人： HERZOG, André , MORRISON, Neil , HEIN, Stefan , SAUER, Peter
IPC分类号： H01L21/00 , B65H23/26 , B65H23/06
CPC分类号： H01L21/67132 , B65H23/24 , B65H23/32 , B65H2601/254 , B65H2801/87
摘要： A modular substrate processing system is provided for processing a flexible substrate. The system includes at least two process modules arranged adjacent to each other in a horizontal direction. The process modules include gas cushion rollers adapted for contactless guiding of the flexible substrate and for diverting the flexible substrate in vertical directions.
摘要翻译：提供了一种用于处理柔性基板的模块化基板处理系统。该系统包括沿水平方向彼此相邻布置的至少两个处理模块。处理模块包括适于柔性基板的非接触式引导和用于在垂直方向上转移柔性基板的气垫辊。

3. 发明申请

WO2010089662A2 MODULAR PVD SYSTEM FOR FLEX PV 审中-公开
标题翻译： FLEX PV模块化PVD系统
公开(公告)号：WO2010089662A2
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：PCT/IB2010/000231
申请日：2010-02-05
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , HEIN, Stefan , HERZOG, Andre , SAUER, Peter , MORRISON, Neil
发明人： HEIN, Stefan , HERZOG, Andre , SAUER, Peter , MORRISON, Neil
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/045 , H01L21/203
CPC分类号： H01L31/1876 , C23C14/086 , C23C14/205 , C23C14/562 , C23C14/568 , H01L21/67155 , H01L21/67173 , H01L21/67207 , H01L21/67236 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： A system for thin film deposition on a flexible substrate having at least a first deposition region is described. The system includes a first chamber being based on a platform, wherein the first deposition region is within the first chamber, wherein the first chamber has a first support member configuration configured for supporting at least two different substrate guiding systems and wherein one substrate guiding system is supported by the first support member configuration, and wherein the platform is configured for at least two different deposition units and wherein one deposition unit of the at least two different deposition units is enclosed by the first chamber.
摘要翻译：描述了具有至少第一沉积区域的柔性基板上的薄膜沉积系统。该系统包括基于平台的第一室，其中第一沉积区域在第一室内，其中第一室具有构造成用于支撑至少两个不同的衬底引导系统的第一支撑构件配置，并且其中一个衬底引导系统是由所述第一支撑构件构造支撑，并且其中所述平台构造成用于至少两个不同的沉积单元，并且其中所述至少两个不同沉积单元中的一个沉积单元被所述第一室包围。

4. 发明申请

WO2009092459A1 VACUUM COATING APPARATUS AND METHOD 审中-公开
标题翻译：真空涂装装置及方法
公开(公告)号：WO2009092459A1
公开(公告)日：2009-07-30
申请号：PCT/EP2008/064311
申请日：2008-10-22
申请人： Applied Materials Inc. , LOTZ, Hans-Georg , SAUER, Peter
发明人： LOTZ, Hans-Georg , SAUER, Peter
IPC分类号： C23C14/54 , C23C16/52 , C23C14/56 , C23C16/54
CPC分类号： C23C14/547 , C23C14/562 , C23C16/52 , C23C16/545
摘要： A strip coating system 1 according to the present invention comprises a first pulley 2 carrying a flexible metal or Al substrate 3 wound up on the first pulley 2. Furthermore, the strip coating system 1 has a second pulley 4 (take-up pulley) for taking up the coated substrate 3. The coating process carried out in the strip coating system 1 is a continuous coating process. During the coating process the first pulley 2 and the second pulley 4 are rotated to move the substrate 3 continuously past a coating tool 5 for depositing coating particles 6 on a surface 3' of the substrate 3. After having passed the coating section with a speed v the substrate 3 carrying a coating film 7 on the surface 3' thereof passes an IR spectroscopic measurement device 8 for measuring the layer thickness of the coating film 7. An arrow 9 indicates a feedback control between the IR measurement device 8 and the coating tool 5. The feedback control 9 controls one or a plurality of process parameters of the coating tool 5 responsive to the measurement of the thickness of the coating film 7 detected by the measurement tool 8. Thus, an in-situ on-line measurement of the thickness of the coating film 7 may be implemented.
摘要翻译：根据本发明的条带涂覆系统1包括承载卷绕在第一滑轮2上的柔性金属或Al基板3的第一滑轮2.此外，带涂层系统1具有第二滑轮4（卷取滑轮），用于卷取涂布基材3.在带材涂布体系1中进行的涂布方法是连续涂布方法。在涂布过程中，旋转第一滑轮2和第二滑轮4，以使基板3连续地移动通过涂覆工具5，以将涂层颗粒6沉积在基板3的表面3'上。在以一定速度通过涂布部分 v在表面3'上承载涂膜7的基板3通过用于测量涂膜7的层厚度的IR光谱测量装置8.箭头9表示IR测量装置8和涂布工具之间的反馈控制响应于由测量工具8检测到的涂膜7的厚度的测量，反馈控制器9控制涂覆工具5的一个或多个工艺参数。因此，原位在线测量可以实现涂膜7的厚度。

5. 发明申请

WO2006102913A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR涂层基布
公开(公告)号：WO2006102913A1
公开(公告)日：2006-10-05
申请号：PCT/EP2005/003363
申请日：2005-03-31
申请人： APPLIED FILMS GMBH & CO. KG , GEBELE, Thomas , GERTMANN, Reiner , GRIMM, Helmut , HACKER, Volker , HEGEMANN, Thomas , HELLE, Franz-Josef , HENRICH, Jürgen , KAMPMANN, Lutz , KREMPEL-HESSE, Jörg , MICHAEL, Klaus , SAUER, Peter , STOLLEY, Tobias , SOMMER, Elisabeth , ZMELTY, Anton
发明人： GEBELE, Thomas , GERTMANN, Reiner , GRIMM, Helmut , HACKER, Volker , HEGEMANN, Thomas , HELLE, Franz-Josef , HENRICH, Jürgen , KAMPMANN, Lutz , KREMPEL-HESSE, Jörg , MICHAEL, Klaus , SAUER, Peter , STOLLEY, Tobias , SOMMER, Elisabeth , ZMELTY, Anton
IPC分类号： C23C14/56 , B05D7/24
CPC分类号： B05D1/60 , B05D1/002 , B05D3/067 , B05D3/068 , B05D7/02 , C23C14/568
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Beschichten von Substraten, insbesondere von Flaschen aus Kunststoff. Die Substrate (2, 5) werden dabei von Atmosphäre über ein spezielles Schleusensystem (2) in Vakuum eingeführt und dort beschichtet. Es können mehrere Schichten aufgetragen werden, mindestens wird jedoch eine Schicht aufgetragen. Nach der Beschichtung werden die Substrate über dasselbe Schleusensystem wieder an die Atmosphäre verbracht. Das Schleusensystem weist ein Schleusenrad (3) auf, das auf seinem Umfang Ausnehmungen für die Aufnahme von Substraten besitzt. Zwischen den einzelnen Ausnehmungen befinden sich Dichtungsschienen, die eine Abdichtung gegenüber Vakuumkammern ermöglichen.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于涂覆基材，特别是塑料瓶的方法。基板（2,5）是由此从大气压约一个特定的锁系统（2）被引入到真空并涂覆在那里。可以应用多个层，和至少一个层被施加。使用相同的锁系统涂布基材后带回到大气中。的锁系统，包括：具有在其周边上的凹部为底物的摄取的锁轮（3）。被密封导轨，其允许针对各个凹槽之间的真空腔室的密封。

6. 发明申请

WO2006000437A1 EINWEG-ZAPFHAHN FÜR EINEN UNTER DRUCK STEHENDEN FLÜSSIGKEITSBEHÄLTER 审中-公开
标题翻译：一次性TAP用于加压液体容器
公开(公告)号：WO2006000437A1
公开(公告)日：2006-01-05
申请号：PCT/EP2005/006857
申请日：2005-06-24
申请人： IMPRESS GROUP B.V. , NEUKIRCH, Werner , SAUER, Peter
发明人： NEUKIRCH, Werner , SAUER, Peter
IPC分类号： B67D1/14
CPC分类号： B67D1/1466 , B67D1/0462 , B67D1/0801 , B67D1/0802 , B67D3/045 , B67D2001/0824
摘要： Die vorliegende Erfindung ist auf einen Einweg-Zapfhahn (1) zum Zapfen von Flüssigkeit aus einem unter Druck stehenden Flüssigkeitsbehälter gerichtet, der gegenüber bekannten Zapfhähnen so modifiziert ist, dass er vorzugsweise im oberen Bereich der Seitenwand des Flüssigkeitsbehälters angebracht werden kann. Zu diesem Zweck besitzt er eine seitliche, im montierten Zustand nach unten gerichtete Einlassöffnung (21) zum dichtenden Ankoppeln an eine Steigleitung (34) sowie Mittel (6, 7, 8), die den Zutritt von Flüssigkeit in den Zapfhahn und zur Austrittsöffnung (der Zapfbohrung) in geeigneter Weise steuern. Die Erfindung betrifft außerdem ein Flüssigkeitsgebinde mit einer entsprechenden Öffnung (36) für und mit diesem Zapfhahn.
摘要翻译：本发明涉及用于分配流体从加压流体容器，其在与已知的抽头比较改性，以便它可以在优选的液体容器的侧壁的上部区域被附接的单向分接头（1）。为此目的，它具有用于密封地耦合到提升管（34）和装置（6，7，8），液体进入该抽头和所述出口开口（定向在组装状态下，以底部入口开口（21）的侧枢轴孔）适当地控制。本发明还涉及与相应的开口（36）的液体容器和与该抽头。

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