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    • 3. 发明申请
    • INTEGRIERTE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
    • 集成器件及其制造方法
    • WO2008077581A1
    • 2008-07-03
    • PCT/EP2007/011271
    • 2007-12-20
    • ATMEL GERMANY GMBHEADS DEUTSCHLAND GMBHWÜRTZ, AlidaZIEGLER, VolkerSCHMID, Ulrich
    • WÜRTZ, AlidaZIEGLER, VolkerSCHMID, Ulrich
    • H01H59/00H01P1/12B81C1/00
    • H01H59/0009B81B2201/014B81C1/00246B81C2203/0728H01L2924/0002H01L2924/00
    • Integrierte Anordnung mit einem Schaltkreis und einem MEMS-Schaltelement (500) - bei der der Schaltkreis eine Mehrzahl von Halbleiterbauelementen (400) aufweist, die über metallische Leitbahnen (101...104, 201...204, 301...304) in mehreren übereinander angeordneten Metallisierungsebenen (100, 200, 300) miteinander zur Ausbildung des Schaltkreises verbunden sind, - bei der die Metallisierungsebenen (100, 200, 300) zwischen dem MEMS-Schaltelement (500) und den Halbleiterbauelementen (400) ausgebildet sind, so dass das MEMS-Schaltelement (500) oberhalb der obersten Metallisierungsebene (300) ausgebildet ist, - bei der das MEMS-Schaltelement (500) beweglich ausgebildet ist, - das MEMS-Schaltelement (500) positioniert zu einem Dielektrikum (26) ausgebildet ist, so dass das bewegliche MEMS-Schaltelement (500) und das Dielektrikum (26) eine veränderbare Impedanz (für ein Hochfrequenzsignal) bilden, und - bei der in der obersten Metallisierungsebene (300) eine zum MEMS-Schaltelement (500) positionierte Antriebselektrode (303) zur Erzeugung einer elektrostatischen Kraft zur Bewegung des MEMS-Schaltelements (500) ausgebildet ist.
    • 集成组件,其包括一个电路和一个MEMS开关元件(500) - ,其中所述电路包括多个半导体器件(400),覆盖金属导电线(101 ... 104,201 ... 204,301 ... 304) 在几个叠置的金属化水平(100,200,300)相互连接以形成电路, - 其中,所述MEMS之间的金属化(100,200,300)开关元件(500)和形成(400)的半导体器件,所以 该MEMS开关元件(500)的最上金属化(300),上述形成 - 在其中MEMS开关元件(500)是可移动的, - 定位在电介质中的MEMS开关元件(500),(26)形成, 形式,使得可动MEMS开关元件(500)和所述电介质(26)包括一个可变阻抗(为一个高频信号),以及 - 其中在最上方的金属化(300)的MEMS开关元件(500) 是用于生成静电力用于移动MEMS形成定位的驱动电极(303)开关元件(500)。
    • 4. 发明申请
    • BEHANDLUNGSEINHEIT UND ANLAGE ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON GEGENSTÄNDEN
    • 处理装置和系统对于对象的表面处理
    • WO2012013306A1
    • 2012-02-02
    • PCT/EP2011/003561
    • 2011-07-16
    • EISENMANN AGSCHMID, UlrichFERNHOLZ, JürgenSCHMIDT, RogerMEIER, RalphHANF, Jürgen
    • SCHMID, UlrichFERNHOLZ, JürgenSCHMIDT, RogerMEIER, RalphHANF, Jürgen
    • B05B13/02
    • B05B13/0242B05B13/0221B05B16/20B05B16/40B05B16/90
    • Eine Behandlungseinheit (30) zur Oberflächenbehandlung, ins besondere zum Lackieren, von Gegenständen, insbesondere von Karosserieteilen, umfasst wenigstens eine Behandlungskabine (38), die einen Behandlungsraum (42) vorgibt. Mittels einer Fördereinrichtung (22) können die Gegenstände (12) in den Behandlungsraum (42) hinein und wieder aus diesem heraus ge fördert werden. Die Fördereinrichtung (22) umfasst ein Drehelement (50) mit einer ersten und einer zweiten Fläche (56, 58), die derart angeordnet sind, dass abhängig von der Stellung des Drehelements (50) die erste oder die zweite Fläche (56, 58) den Behandlungsraum (42) zumindest bereichsweise begrenzt. Das Drehelement (50) trägt an einer Fläche (58) einen Förderroboter (62), insbesondere einen mehrachsigen Förderroboter, mittels welchem wenigstens ein Gegenstand (12) aufnehmbar und abgebbar ist. Außerdem ist eine Anlage (10) zur Oberflächenbehandlung von Gegenständen (12) mit wenigstens einer solchen Behandlungseinheit (30) angegeben.
    • 的处理单元(30),用于表面处理,特别是用于绘画,物体,特别是车体部件,包括至少一个处理室(38),它定义了一个处理空间(42)。 通过输送器(22),制品(12)到处理室(42)进入和离开的手段本再次促进GE。 输送机(22)包括具有第一和被布置为使得第二表面(56,58)的旋转构件(50),其根据所述旋转件(50)的第一或第二表面的位置(56,58) 处理室(42)至少部分地限定。 所述旋转部件(50)带有一个表面(58)的输送机器人(62),尤其是多轴机器人输送上,通过其中的至少一个对象(12)可以被接收,并且可以输出装置。 此外,对于物品与至少一个这样的处理单元(30)的表面处理(12)的系统(10)被指定。