会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 5. 发明申请
    • PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE POLARISATION D'UNE ÉLECTRODE DBD
    • 用于极化DBD电极的方法和装置
    • WO2011064217A1
    • 2011-06-03
    • PCT/EP2010/068049
    • 2010-11-23
    • AGC GLASS EUROPEMICHEL, EricTIXHON, EricLECLERCQ, Joseph
    • MICHEL, EricTIXHON, Eric
    • H05H1/24
    • H01J37/32348C23C16/50C23C16/507C23C16/545H05H1/2406H05H2001/2412H05H2242/1005
    • L'invention concerne un dispositif de traitement de surface d'un substrat par décharge à barrière diélectrique permettant la génération de plasma filamentaire comprenant une chambre de réaction comportant un mélange dont la composition est telle qu'au contact du plasma il se décompose et engendre des espèces aptes à se déposer en couche en grande partie ou en totalité sur le substrat, chambre dans laquelle sont placées au moins deux électrodes dont l'une est portée à la haute tension AC, disposées de part et d'autre du substrat, au moins une barrière diélectrique (DBD placée entre ces au moins deux électrodes, et un transformateur THT/HF comportant un circuit secondaire, dans lequel une source de courant continu (DC) est intercalée en série dans le circuit secondaire, de façon telle que des espèces chimiques générées dans le plasma sous formes d'ions électriquement positifs ou négatifs soient sélectivement attirées par le substrat cible, lequel est introduit dans la chambre de réaction et placé entre les au moins deux électrodes, et repoussés par les électrodes de charge correspondante.
    • 本发明涉及一种用于通过用于产生丝状等离子体的电介质阻挡放电来处理衬底表面的装置,包括反应室,该反应室包括具有如下组成的混合物:当与等离子体接触时,混合物分解并产生 能够以基本上或完全在基底上的层的形式沉积的物质,其中设置在所述室中的至少两个电极区域,一个电极经受高A​​C电压,并且布置在基板的任一侧, 布置在所述至少两个电极之间的至少一个介电阻挡层(DBD)和包括次级电路的THT / HF变压器,其中在次级电路中串联地提供直流(DC)电源,使得产生的化学物质 电离正离子等离子体被插入反应室内的目标基板选择性地吸引并排列 在所述至少两个电极之间,并被具有相应电荷的电极排斥。