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    • 8. 发明申请
    • 레이저 에칭을 이용한 패턴 형성 방법
    • 使用激光蚀刻形成图案的方法
    • WO2013122365A1
    • 2013-08-22
    • PCT/KR2013/001090
    • 2013-02-12
    • 주식회사 잉크테크
    • 정광춘이인숙최정아
    • H01L21/027
    • H01L21/461
    • 본 발명은 다양한 레이저 파워를 이용하여, Index matching 특성이 뛰어난 전도성 금속와이어 투명전극 미세패턴 전극 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 ① 다양한 기재 위에 균일한 전도성 금속 나노와이어 층을 형성하는 단계, ② 전도성 투명전극 위에 광학적으로 투명하고 절연성을 갖는 다양한 폴리머 층을 형성하는 단계 ③ 전도성막 표면에 레이저를 직접 조사하여 미세패턴 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 전도성 미세패턴 전극 제조방법은, 금속 나노와이어를 균일하게 배열하여, 저저항의 전도성층을 형성하고, 그 전도성 전극층 위에 절연 폴리머를 이용한 보호막을 형성시켜 전도성 전극 막을 보호하는 특징이 있다. 또한 레이저 파워를 변화시켜 전도성 미세패턴 전극 형성하는 이 기술을 이용하면, 투명전극의 고질적인 시인성 문제를 해결할 수 있고, 우수한 패턴 해상도와 미세선폭을 구현 할 수 있는 효과가 있다.
    • 本发明涉及使用各种激光功率制造具有优异的折射率匹配特性的导电金属线透明电极的精细图案的制造方法。 更具体地说,用于制造导电金属线透明电极的精细图案的方法包括:(1)在各种基材上形成均匀的导电金属纳米线; (2)在导电性透明电极上形成光学透明且具有绝缘性的各种聚合物层; 和(3)用激光直接照射导电膜的表面以形成精细图案电极。 因此,制造导电图案电极的方法包括:均匀排列金属纳米线以形成具有低电阻的导电层; 以及在所述导电电极层上形成使用绝缘聚合物的保护膜,以保护所述导电电极层。 此外,当使用这种用于形成导电精细图案电极的技术时,可以改变激光功率以解决透明电极的慢性可见性问题,并且实现优异的图案分辨率和细线宽度。