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    • 5. 发明申请
    • 임피던스 정합 장치
    • 阻抗匹配装置
    • WO2011105678A1
    • 2011-09-01
    • PCT/KR2010/008269
    • 2010-11-23
    • 주식회사 플라즈마트김재현이상원이용관
    • 김재현이상원이용관
    • H05H1/46H03H7/40
    • H05H1/46H01J37/32091H01J37/32183H03H7/40H05H2001/4682
    • 본 발명은 임피던스 정합 장치를 개시한다. 이 임피던스 정합 장치는 플라즈마 부하에 임피던스 정합시킨다. 이 임피던스 정합 장치는 제1 주파수로 동작하는 제1 주파수 RF 전원부의 출력을 상기 플라즈마 부하에 전달하는 제1 주파수 임피던스 정합 회로부, 및 제1 주파수보다 큰 제2 주파수로 동작하는 제2 주파수 RF 전원부의 출력을 플라즈마 부하에 전달하는 제2 주파수 임피던스 정합 회로부를 포함한다. 제1 주파수 임피던스 정합 회로부는 T 형 정합회로를 포함하고, 제2 주파수 임피던스 정합회로부는 표준 L형 정합회로 또는 Π형 정합회로를 포함한다.
    • 阻抗匹配装置技术领域本发明涉及阻抗匹配装置。 阻抗匹配装置将阻抗与等离子体负载相匹配。 阻抗匹配装置包括:第一频率阻抗匹配电路单元,其将以第一频率工作的第一频率RF电源单元的输出传送到等离子体负载; 以及第二频率阻抗匹配电路单元,其将以比第一频率高的第二频率工作的第二频率RF电源单元的输出传送到等离子体负载。 第一频率阻抗匹配电路单元包括T型匹配电路,第二频率阻抗匹配电路单元包括标准L型匹配电路或π型匹配电路。