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    • 5. 发明申请
    • 팜유 추출공정 폐수의 무방류 처리장치 및 그 처리방법
    • 棕榈油粉碎机的非排放处理装置及其处理方法
    • WO2011087202A1
    • 2011-07-21
    • PCT/KR2010/006303
    • 2010-09-15
    • 제네다인엔지니어링(주)한국생명공학연구원오영찬박상준양권석김철호
    • 오영찬박상준양권석김철호
    • C02F9/14C02F3/30C02F3/06C02F1/44
    • C02F9/00C02F1/40C02F1/441C02F1/4672C02F3/1273C02F3/2833C02F2101/32Y02W10/15
    • 본 발명은 팜유 추출공정 폐수의 무방류 처리장치 및 그 처리방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 삼상분리 디캔터를 통해 전처리된 팜유 추출공정 폐수를 유동상 미생물 담체가 충진된 혐기/호기조, 침지형 분리막, 전기산화 및 역삼투막의 일련의 과정을 거쳐 BOD, COD, SS, T-N, T-P 및 색도를 처리하는 동시에 분리 회수된 오일, 슬러지 및 최종 처리수는 재활용할 수 있는 팜유 추출공정 폐수 무방류 처리장치 및 이를 이용한 팜유 추출공정 폐수 처리방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 팜유 추출공정 폐수 무방류 처리장치는 약품처리 없이 안정적인 폐수 처리가 가능하고, 일반적인 생물학적 방법에 비해 미생물을 고농도로 유지할 수 있어 팜유 추출공정 폐수의 체류시간이 짧으며, 미생물 상태 변화에 따른 침강성의 저하 등의 기존 공정이 가지고 있는 문제점을 보완하여 유지관리가 간단하고 유지관리비용이 저렴할 뿐만 아니라, 분리 회수된 오일, 슬러지 및 최종 처리수를 재사용할 수 있는 효과가 있다.
    • 本发明涉及一种棕榈油粉流出物的不排放处理装置及其处理方法,更具体地说,涉及处理BOD,COD,SS,TN,TP的棕榈油废水的不排放处理装置 和通过三相分离滗析器经过一系列方法预处理的棕榈油粕流出物的色度,所述方法包括填充有微生物流化床载体,浸没分离膜,电氧化和反渗透膜的厌氧/需氧罐,并且可以同时 回收分离收集的油,污泥和最终处理水,以及通过使用该方法处理棕榈油磨废水的方法。 根据本发明的棕榈油粉流出物的不排放处理装置可以不经化学处理稳定地处理流出物,与通常的生物学方法相比,可以高浓度地保持微生物,从而减少棕榈油流出物的停留时间, 补充根据微生物状态变化等降低沉淀的已知方法的问题,从而简化维护和降低维护成本,并可重新使用分离收集的油,污泥和最终处理水。
    • 8. 发明申请
    • 복수기판 처리장치
    • 用于处理多个基板的装置
    • WO2010067974A2
    • 2010-06-17
    • PCT/KR2009/007004
    • 2009-11-26
    • 주식회사 아이피에스황희허필웅서태욱박상준이호영김영준
    • 황희허필웅서태욱박상준이호영김영준
    • H01L21/205H01L21/00
    • H01L21/68764C23C16/45565H01L21/68771
    • 본 발명은 기판에 박막이 균일한 두께로 증학될 수 있으며, 샤워헤드를 용이하게 재구성할 수 있도록 구조가 개선된 복수기판 처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복수기판 처리장치는 내부에 공정 공간이 형성되어 있는 챔버와, 챔버의 공정 공간에 설치되며, 상면의 둘레 방향을 따라 기판이 안착되는 복수의 안착부가 마련되어 있는 기판 지지대와, 기판 지지대의 상측에 방사형으로 배치되며, 기판을 향하여 원료가스를 분사하는 복수의 원료가스분사유닛을 가지는 샤워헤드를 구비하되, 원료가스분사유닛에는, 기판 지지대의 중앙으로부터 가장자리 쪽으로 갈수록 원료가스의 분사량이 증가되도록 원료가스가 분사되는 복수의 노즐이 마련되어 있다.
    • 本发明涉及一种用于处理多个基板的设备,其具有改进的结构,以便在均匀厚度的基板上沉积薄膜,并且以简单的方式布置淋浴头。 根据本发明的用于处理多个基板的设备包括:具有内部的室,其具有用于处理的空间; 基板支撑体,其安装在所述室的空间中,并且沿着其上表面的周向具有多个安装部,以使基板能够安装在各个安装部中; 以及径向设置在基板支撑件上的喷头,并且具有多个用于将材料气体喷射到基板上的材料气体喷射单元。 材料气体喷射单元配备有多个喷嘴,用于喷射材料气体,使得被喷射的原料气体的量随着从基板支撑件的中心朝向角落而增加。
    • 10. 发明申请
    • 반도체 제조 장치
    • 制造半导体的装置
    • WO2011007967A2
    • 2011-01-20
    • PCT/KR2010/004104
    • 2010-06-24
    • (주)아이피에스류선호박상준김영준
    • 류선호박상준김영준
    • H01L21/22
    • H01L21/67757H01L21/67303H01L21/67309H01L21/68771
    • 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 상에 막을 형성하는 등의 각종 공정에 사용되는 반도체 제조 장치를 개시한다. 튜브는 내부에 공정공간을 가지며, 일측에 배출구를 갖는다. 보트는 튜브의 하측 개구를 통해 출입 가능하게 된다. 서셉터는 보트 내에 상하로 서로 이격되어 지지되며, 각각의 회전 중심에 중앙 홀이 형성되며, 각각의 상면에 중심 둘레를 따라 웨이퍼가 다수 안착된다. 공급관은 보트의 상측으로부터 서셉터들의 각 중앙 홀에 관통하여 설치되며, 외부로부터 공급받은 공정가스를 서셉터들의 각 상면으로 분사하는 분사구들이 형성된다. 이에 따라, 한번에 공정 처리할 수 있는 웨이퍼의 수량을 증가시킬 수 있고, 공정 처리 시간을 단축할 수 있으며, 모든 웨이퍼들 상에 균일한 막을 형성할 수 있다.
    • 公开了一种半导体制造装置,用于半导体制造加工中的各种工艺,例如在晶片上形成层。 管中具有处理空间和其一侧的排出孔。 船可以通过管的下部开口装载和卸载。 感受器彼此垂直分离并且支撑在船内,具有限定在其各自的旋转中心中的中心孔,并且具有在其相应顶表面上围绕中心周边堆叠的多个晶片。 供应管安装在船的顶部并穿过基座的每个中心孔,并且限定排出孔,用于将从外部供应的处理气体排放到基座的每个顶表面上。 因此,可以增加一次可以处理的晶片的数量,可以减少处理时间,并且可以在所有晶片上形成均匀的层。