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1. 发明申请

WO2008123338A1 荷電粒子装置用部品とその製造方法审中-公开
标题翻译：充电颗粒装置的组件和用于制造组件的方法
公开(公告)号：WO2008123338A1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/JP2008/055823
申请日：2008-03-27
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 角田勝義 , 森下利幸 , 廣川晋平
发明人：照井良典 , 角田勝義 , 森下利幸 , 廣川晋平
IPC分类号： H01J37/065
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/22 , H01J37/065 , H01J2237/061 , H01J2237/06316 , H01J2237/08 , H01J2237/0805
摘要：　電子源あるいはイオン源において、ろう材を使用せず、引き出し電極と絶縁碍子との接合位置精度を向上させた部品を作製し、放出される荷電粒子のアライメントエラーを小さくし、更に、ろう材を使用しないことからコスト面で有利な荷電粒子装置用部品を提供する。　金属製部品と絶縁性部品からなる複数の部品から構成される荷電粒子装置用部品において、金属製部品と絶縁性部品を結合する筒状の嵌合部を有し、該嵌合部の外筒が金属であり内筒が絶縁物であって、室温における該外筒の内寸が該内筒の外寸より僅かに小さく、該嵌合部が外筒と内筒を焼き嵌めにより結合されたことを特徴とする上記の荷電粒子装置用部品。
摘要翻译：提供了一种用于带电粒子装置的部件。在该部件中，钎焊材料不用于电子源或离子源，提取电极和绝缘体之间的接合精度提高，并且排出的带电粒子的取向误差降低。此外，由于不使用钎焊材料，因此成本从成本方面是有利的。该部件由金属部件和绝缘部件的多个部件构成。该部件具有用于连接金属部件和绝缘部件的管状嵌合部。装配部分的外管由金属制成，内管由绝缘材料制成。外管在室温下的内部尺寸略小于内管的外径，并且通过热收缩配合连接外管和内管而形成嵌合部。

2. 发明申请

WO2009069335A1 電子放出源及び電子放出源の製造方法审中-公开
标题翻译：电子发射源的电子发射和制造方法
公开(公告)号：WO2009069335A1
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：PCT/JP2008/062590
申请日：2008-07-11
申请人：電気化学工業株式会社 , 森下利幸 , 照井良典
发明人：森下利幸 , 照井良典
IPC分类号： H01J1/15 , H01J37/065
CPC分类号： H01J37/06 , H01J37/065 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375
摘要：　端子間抵抗値の上昇を防ぐことができる電子放出源及び電子放出源の製造方法を提供する。希土類六硼化物からなる電子放出源チップ（４）と、上記電子放出源チップを把持し加熱するための炭素質部材からなるヒーター（５）とを有する電子放出源であって、上記電子放出源チップ（４）とヒーター（５）の間隙に導電性物質（６）が設けられていることを特徴とする電子放出源。
摘要翻译：能够防止端子间电阻增加的电子发射源和电子发射源的制造方法。电子发射源包括由稀土六硼化物制成的电子发射芯片（4）和由用于保持和加热电子发射芯片的碳质构件构成的加热器（5），其中导电物质（6）设置在电子发射芯片（4）和加热器（5）之间的间隙

3. 发明申请

WO2009044871A1 電子源及び電子ビーム装置审中-公开
标题翻译：电子源和电子束装置
公开(公告)号：WO2009044871A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/JP2008/068077
申请日：2008-10-03
申请人：電気化学工業株式会社 , 野々垣良三 , 照井良典
发明人：野々垣良三 , 照井良典
IPC分类号： H01J37/06 , H01J1/15 , H01J1/16
CPC分类号： H01J1/15 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316 , H01J2237/26 , H01J2237/28
摘要：　電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。絶縁碍子（５）と、絶縁碍子（５）に間隔を空けて配置された２つの導電端子（４）と、導電端子（４）の間に張られている長尺のフィラメント（３）と、フィラメント（３）に取り付けられた電子放射部を有する針状の陰極（１）とを備える電子源であって、フィラメント（３）の軸方向に対する垂直断面形状が長方向と短方向を有し、長方向の最大長がその短方向の最大長の１．５倍以上５倍以下である電子源。
摘要翻译：提供了即使从外部向使用电子源的装置施加振动时也输出稳定的电子束的电子源。电子源设有绝缘体（5）; 在绝缘体（5）上间隔布置的两个导电端子（4）; 在导电端子（4）之间延伸的长丝（3）; 和具有连接到灯丝（3）上的电子放电部分的针状阴极（1）。灯丝（3）在轴向上的垂直截面形状具有长方向和短方向，并且长度方向上的最大长度是短时间内的最大长度的1.5倍以上但不大于5倍方向。

4. 发明申请

WO2008084537A1 電子銃及び電子ビーム露光装置审中-公开
标题翻译：电子枪和电子束曝光装置
公开(公告)号：WO2008084537A1
公开(公告)日：2008-07-17
申请号：PCT/JP2007/050214
申请日：2007-01-11
申请人：株式会社アドバンテスト , 電気化学工業株式会社 , 安田洋 , 原口岳士 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
发明人：安田洋 , 原口岳士 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
IPC分类号： H01J37/063 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/065 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375
摘要：本願は輝度を向上した電子銃とそれを用いることにより、スループットを向上した電子ビーム露光装置に関するものである。六ホウ化ランタン（ＬａＢ6）又は六ホウ化セリウム（ＣｅＢ6）からなる電子源（２０）と、サプレッサ電極（２４）と加速電極（２１）からなる電子銃において、前記電子源の先端部が前記サプレッサ電極と前記加速電極との間に配置され、前記電子源は、電子放出領域と電子放出制限領域を有し、前記電子放出制限領域は、前記電子源先端部の電子放出面以外の該電子源側面であって、カーボン（３０）で覆われている。前記電子源は、その先端部が直径１０μｍ～１００μｍの円柱形状からなるようにしても良く、前記電子源の先端部が前記サプレッサ電極上面から２．５ｍｍ以上突き出していて、電子源先端と加速電極との距離が５ｍｍ以下に配置されるようにしても良い。
摘要翻译：提高亮度的电子枪，以及通过使用这种电子枪提高生产量的电子束曝光装置。电子枪包括六硼化镧（LaB6）或六硼化铈（CeB6）的电子源（20），抑制电极（24）和加速电极（21）。电子源的前端配置在抑制电极和加速电极之间，电子源具有电子放电区域和电子放电限制区域，其中电子放电限制区域是除电子放电面外的电子源侧面电子源的末端并用碳（30）覆盖。电子源可以在距离抑制电极的上表面突出2.5mm以上的远端形成具有10〜100μm的直径的柱状，并且其可以被布置成使得远端的电子源和加速电极为5mm以下。

5. 发明申请

WO2009044564A1 電子源及び電子ビーム装置审中-公开
标题翻译：电子源和电子束装置
公开(公告)号：WO2009044564A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/JP2008/054359
申请日：2008-03-11
申请人：電気化学工業株式会社 , 野々垣良三 , 照井良典
发明人：野々垣良三 , 照井良典
IPC分类号： H01J37/06 , H01J1/15 , H01J1/16
CPC分类号： H01J1/15 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316 , H01J2237/26 , H01J2237/28
摘要：　電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。絶縁碍子（５）と、絶縁碍子（５）に間隔を空けて配置された２つの導電端子（４）と、導電端子（４）の間に張られている長尺のフィラメント（３）と、フィラメント（３）に取り付けられ電子放射部を有する陰極（１）とを備える電子源であって、フィラメント（３）の軸方向に対する垂直断面形状が長方向と短方向を有し、長方向の最大長がその短方向の最大長の１．５倍以上５倍以下である電子源。
摘要翻译：即使当使用电子源的装置受外部振动影响时，也能提供稳定的电子束的电子源。电子源包括绝缘玻璃（5），在绝缘玻璃（5）上间隔布置的两个导电端子（4），在导电端子（4）之间延伸的长丝（3）和阴极（1）连接到灯丝（3）并具有电子发射部分。与灯丝（3）的轴向垂直的截面形状具有长路和短路，长路的最大长度在不小于1.5倍的范围内短路的五倍大小。

6. 发明申请

WO2008029731A1 電子源审中-公开
标题翻译：电子源
公开(公告)号：WO2008029731A1
公开(公告)日：2008-03-13
申请号：PCT/JP2007/067008
申请日：2007-08-31
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 坂輪盛一
发明人：照井良典 , 坂輪盛一
IPC分类号： H01J1/304 , H01J37/073
CPC分类号： H01J1/144 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316 , H01J2237/28
摘要：　本願発明の電子源は、絶縁碍子（５）に設けた一対の導電端子（４）間に張ったヘアピン型のフィラメント（３）に、電子放射部となる尖鋭化した端部を有するロッド状の陰極（１）を接合してなる電子源であって、陰極の電子放射部とは異なる端部（８）が、絶縁碍子（５）に固定されていることを特徴とする電子源である。より好ましくは、陰極の電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属ピンを介して絶縁碍子に固定されている。当該構成の電子源を用いることによって、電子源を用いる装置が外部から振動を受けても、安定した電子線を与えることができる。
摘要翻译：提供一种电子源，其通过将具有锐化端部的棒状阴极（1）接合成为电子发射部分而制成到张紧在一对导电端子（4）之间的发型灯丝（3））设置在绝缘体瓷（5）中。电子源的特征在于除了电子发射部分之外的阴极的端部（8）固定在绝缘体瓷（5）中。更优选地，除了电子发射部分之外的阴极的端部通过焊接到绝缘体瓷的金属销固定在绝缘体瓷器中。通过使用如此构成的电子源，即使使用电子源的器件从外部振动，也能够产生稳定的电子束。

7. 发明申请

WO2007055154A1 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法审中-公开
标题翻译：电子枪，电子束曝光系统和曝光方法
公开(公告)号：WO2007055154A1
公开(公告)日：2007-05-18
申请号：PCT/JP2006/321991
申请日：2006-11-02
申请人：株式会社アドバンテスト , 電気化学工業株式会社 , 安田洋 , 原口岳士 , 大饗義久 , 佐藤高雅 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
发明人：安田洋 , 原口岳士 , 大饗義久 , 佐藤高雅 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/073 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/3175
摘要： [PROBLEMS] An electron gun capable of reducing a sublimation amount by the heat of an electron source emitting electrons, and being used constantly over a long period of time; an electron beam exposure system and an exposure method using the electron gun. [MEANS OF SOLVING PROBLEMS] An electron gun (101) comprising an electron source (20) emitting electrons, wherein the electron source (20) has an electron emitting area (20a) and an electron emission limiting area (30); the electron emission limiting area (30) is the side surface of the electron source (20) excluding an electron emission surface at the tip end of the electron source (20), is covered with a material different from that of the electron source (20), and applies an electric field to the tip end to emit thermal field radiating electrons while keeping temperature at a level low enough not to produce the sublimation of the material of the electron source (20). The material of the electron source (20) may be lanthanum hexaboride (LaB 6 ) or cerium hexaboride (CeB 6), and the electron emission limiting area (30) may be covered with carbon. The temperature may range from 1100°C to 1300°C.
摘要翻译：本发明提供一种能够通过发射电子的电子源的热量而降低升华量并且长时间不间断地使用的电子枪。电子束曝光系统和使用电子枪的曝光方法。解决问题的手段一种包含发射电子的电子源（20）的电子枪（101），其中电子源（20）具有电子发射区（20a）和电子发射限制区（30）。电子发射限制区域（30）是除电子源（20）的末端外的电子发射表面的电子源（20）的侧表面被不同于电子源（20）的材料覆盖），并且向顶端施加电场以发射热场辐射电子，同时将温度保持在足够低的水平，不会产生电子源（20）的材料的升华。电子源（20）的材料可以是六硼化镧（LaB 6 N 6）或六硼化铈（CeB 6），并且电子发射限制区域（30）可以是覆盖着碳。温度可以在1100℃至1300℃的范围内。

8. 发明申请

WO2004073010A1 電子銃审中-公开
标题翻译：电子枪
公开(公告)号：WO2004073010A1
公开(公告)日：2004-08-26
申请号：PCT/JP2004/001686
申请日：2004-02-17
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 野々垣良三 , 坂輪盛一
发明人：照井良典 , 野々垣良三 , 坂輪盛一
IPC分类号： H01J37/073
CPC分类号： H01J1/16 , H01J1/146 , H01J1/20 , H01J9/04 , H01J9/042 , H01J37/065 , H01J2237/06316 , H01J2237/25 , H01J2237/28 , H01J2237/3175
摘要： An electron source suitable for an electron beam exposure system, an Auger electronic spectrometer or the like, and provides a small total emission current amount even during a high-angular-current-density operation. An electron gun provided with a cathode (1) consisting of tungsten or molybdenum single crystal and provided on the surface thereof with a coating layer consisting of oxygen and at least one kind of metal element selected from a group consisting of 2A group, 3A group and 4A group, characterized in that the end of the cathode (1) has a conical trapezoid shape, a total conical angle of a conical trapezoid portion (8) is between 25° and 95°, and the diameter of the top face (9) is 5mum through 200mum.
摘要翻译：适用于电子束曝光系统的电子源，俄歇电子光谱仪等，甚至在高角度 - 电流密度的操作中也提供小的总发射电流量。一种具有由钨或钼单晶组成的阴极（1）的电子枪，其表面上设置有由氧组成的涂层和至少一种选自2A组，3A组和 4A，其特征在于，阴极（1）的端部具有锥形梯形形状，锥形梯形部分（8）的总锥形角在25°和95°之间，并且顶面（9）的直径是5mum到200mum。

9. 发明申请

WO2008038684A1 電子源审中-公开
标题翻译：电子源
公开(公告)号：WO2008038684A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/JP2007/068722
申请日：2007-09-26
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 中原史博 , 坂輪盛一
发明人：照井良典 , 中原史博 , 坂輪盛一
IPC分类号： H01J1/304 , H01J37/063 , H01J37/073
CPC分类号： H01J37/065 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/28 , H01J37/3174 , H01J2237/06316 , H01J2237/065 , H01J2237/2817
摘要：　高角電流密度動作時にも余剰電流が小さい電子源を提供する。電子放出部（８）と、サプレッサー電極と、引き出し電極とを有する電子源であって、前記電子放出部（８）が、第１の円錐台部分または円錐部分（２３）とそれに続く第２の円錐台部分（２２）とからなる形状を有する単結晶ロッドの一端の先端に位置することを特徴とする電子源である。好ましくは、単結晶ロッドが、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、及びランタノイド系列からなる群から選ばれた金属元素の酸化物を拡散源として有し、かつ、タングステンまたはモリブデンの＜１００＞方位からなることを特徴とする電子源である。
摘要翻译：即使在高角度电流密度下也能实现低电流的电子源。电子源是具有电子发射部分（8），抑制电极和引出电极的电子源，其特征在于电子发射部分（8）位于单晶棒的一端的顶点，单晶棒的一端由第一圆锥形截锥体部分或圆锥形部分（23），并且与其相连，具有第二圆锥形部分（22）。优选地，电子源的特征在于，单晶棒含有选自由Ca，Sr，Ba，Sc，Y，La，Ti，Zr，Hf和镧系元素组成的组中的金属元素的氧化物作为扩散源，由钨或钼的取向组成。

10. 发明申请

WO2007148507A1 電子源审中-公开
标题翻译：电子源
公开(公告)号：WO2007148507A1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/JP2007/060620
申请日：2007-05-24
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 坂輪盛一
发明人：照井良典 , 坂輪盛一
IPC分类号： H01J1/304
CPC分类号： H01J1/14 , H01J1/30
摘要：　余剰電流が従来のものより格段に少ない電子源を提供する。　タングステンまたはモリブデンからなる＜１００＞方位の単結晶ロッドを有し、該ロッドの一端部が電子放出部８であり、また該ロッドの一部にＣａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、及びランタノイド系列元素からなる群から選ばれた少なくとも１種の金属元素の酸化物を拡散源として有する電子源であって、該ロッドの側面１０に該ロッドの中心軸と平行な｛１００｝面が現れていないことを特徴とする電子源。
摘要翻译：本发明提供了一种电子源，其中过电流远低于常规产品。电子源包括具有取向的钨或钼的单晶棒。杆的一端构成电子释放部分（8）。电子源的特征在于，选自由Ca，Sr，Ba，Sc，Y，La，Ti，Zr，Hf和镧系元素组成的组中的至少一种金属元素的氧化物作为扩散源棒的一部分和{100}面平行于杆的中心轴线不会出现在杆的侧面（10）上。

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