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1. 发明申请

WO2008087754A1 量子カスケードレーザ审中-公开
标题翻译：量子CASCADE激光
公开(公告)号：WO2008087754A1
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：PCT/JP2007/061460
申请日：2007-06-06
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 枝村忠孝 , 秋草直大 , 藤田和上 , 杉山厚志 , 落合隆英
发明人：枝村忠孝 , 秋草直大 , 藤田和上 , 杉山厚志 , 落合隆英
IPC分类号： H01S5/343
CPC分类号： H01S5/3402 , B82Y20/00 , H01S5/3086 , H01S5/309 , H01S5/34313
摘要：　半導体基板と、半導体基板上に設けられ、量子井戸発光層１７及び注入層１８からなる単位積層体１６が多段に積層されたカスケード構造を有する活性層とを備えて量子カスケードレーザを構成する。また、単位積層体１６は、そのサブバンド準位構造において、発光上準位Ｌｕｐと、発光下準位Ｌｌｏｗと、発光下準位よりも低いエネルギー準位からなる緩和ミニバンドＭＢとを有し、上準位から下準位への電子のサブバンド間遷移によって光が生成されるとともに、サブバンド間遷移を経た電子は、ＬＯフォノン散乱によって下準位ＬｌｏｗからミニバンドＭＢへと緩和され、ミニバンドＭＢを介して、注入層１８から後段の発光層へと注入されるように構成される。これにより、量子井戸発光層における反転分布を効率的に形成して、レーザ動作性能を向上することが可能な量子カスケードレーザが実現される。
摘要翻译：量子级联激光器包括半导体衬底和形成在半导体衬底上的有源层，并且具有级联结构，其中每个由量子阱发射层（17）和注入层（18）组成的单位多层体（16）被堆叠。每个单元多层体（16）具有子带级结构，其包括由发射上位电平（L SUB）上升的发光次级（L < 低），并且能量水平低于排放较低水平。在从上层到下层的电子的子带到子带过渡时产生光。通过LO声子散射将经历子带到子带转变的电子从较低电平（L _{低）松弛到微带（MB），并在后续阶段从下一级注入到发射层通过微带（MB）的注入层（18）。由此，能够有效地形成量子阱发射层中的反演分布并实现激光作用性能的量子级联激光器。}

2. 发明申请

WO2007007434A1 量子カスケードレーザ审中-公开
标题翻译：量子CASCADE激光
公开(公告)号：WO2007007434A1
公开(公告)日：2007-01-18
申请号：PCT/JP2006/300385
申请日：2006-01-13
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 山西正道 , 枝村忠孝 , 秋草直大 , 杉山厚志
发明人：山西正道 , 枝村忠孝 , 秋草直大 , 杉山厚志
IPC分类号： H01S5/34
CPC分类号： H01S5/3401 , B82Y20/00
摘要：　量子井戸発光層及び注入層が交互に、垂直方向に積層されたｍ１段のカスケード構造を有し、量子井戸構造でのサブバンド間遷移によって光を生成する活性層２０を含む半導体積層体のレーザ素子部１０を用いて、量子カスケードレーザ１を構成する。さらに、本レーザ１においては、この活性層２０を含むレーザ素子部１０を、水平方向に互いに分離された状態でｍ２個配列する。そして、これらのレーザ素子部１０１～１０ｍ２を直列に接続することにより、実効的な段数がｍ１×ｍ２段となる２次元状のカスケード構造を実現する。これにより、狭線幅特性を有するとともに、低閾値、高出力での動作が可能な量子カスケードレーザが実現される。
摘要翻译：量子级联激光器（1）通过使用具有m1级联结构的半导体层体的激光元件单元（10）来构造，其中量子阱发光层和注入层在垂直方向上交替层叠，并且包括有源层（20），用于通过量子阱结构中的子带之间的过渡来产生光。此外，包括有源层（20）的激光元件单元（10）的m2片在水平方向上彼此分开布置。通过串联连接激光元件单元（10×1×10 -2 m 2），可以实现具有m1×m2实际阶段的二维级联结构。这实现了具有窄线宽特性并能够以低阈值和高输出操作的量子级联激光器。

3. 发明申请

WO2006022162A1 面発光レーザ光源の製造方法及び面発光レーザ光源审中-公开
标题翻译：表面发射激光光源和表面发射激光光源的制作方法
公开(公告)号：WO2006022162A1
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：PCT/JP2005/014909
申请日：2005-08-15
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 大軒紀之 , 杉山厚志
发明人：大軒紀之 , 杉山厚志
IPC分类号： H01S5/183
CPC分类号： H01S5/18388 , H01S5/14 , H01S5/18311 , H01S5/423 , H01S2301/18
摘要：　面発光レーザ光源２は、円柱状のメサ型形状を有する面発光レーザ素子３とマイクロレンズ４とが一体に、基板１０上に形成されて構成されている。面発光レーザ素子３は、垂直共振器型面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）であり、下部ミラー５と上部ミラー８との間で共振器が構成される。また、マイクロレンズ４は、第１レンズ部４ａと第２レンズ部４ｂとで構成され、出射面３ａ側の中心部から外側のレンズ面４ｃに向かって所定の分布で屈折率が変化する分布屈折率構造に形成されている。これにより、所望の出射条件でレーザ光を得ることができる面発光レーザ光源の製造方法及び面発光レーザ光源が実現される。
摘要翻译：一种表面发射激光源（2），包括具有柱状台面形状的表面发射激光器元件（3）和一体地形成在基底（10）上的微透镜（4）。表面发射激光元件（3）是在下反射镜（5）和上反射镜（8）之间构成谐振器的垂直谐振器面发射激光器（VCSEL）。微透镜（4）由第一透镜部分（4a）和第二透镜部分（4b）组成，并且具有分布折射率结构，其特征在于，其折射率从出射面（3a）的中心部分变化）侧朝向外透镜面（4c）。因此，实现了能够在期望的退出条件下获得激光的表面发射激光光源的制造方法和表面发射激光光源。

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