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    • 8. 发明申请
    • 半導体レーザ素子
    • WO2021187081A1
    • 2021-09-23
    • PCT/JP2021/007842
    • 2021-03-02
    • パナソニック株式会社
    • 持田 篤範能崎 信一郎江良 正範
    • H01S5/028H01S5/343
    • 半導体レーザ素子の端面保護膜の反射率を、広い波長範囲で1%以下とする。半導体レーザ素子(1)は、フロント側端面(50F)及びリア側端面(50R)を有する半導体積層体(50)と、半導体積層体(50)のフロント側端面(50F)に配置される端面保護膜(1F)とを備える。端面保護膜(1F)は、フロント側端面(50F)に配置される第1誘電体層(10)と、第1誘電体層(10)の外側に積層される第2誘電体層(20)とを有する。第2誘電体層(20)は、第1誘電体層(10)に積層される第1層(21)と、第1層(21)に積層される第2層(22)と、第2層(22)に積層される第3層(23)とを有する。レーザ光の波長λに対して、第2層(22)の屈折率n2は、第1層(21)の屈折率n1及び第3層(23)の屈折率n3より高く、第2層(22)の膜厚は、λ/(8n2)以上、3λ/(4n2)以下である。