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1. 发明申请

WO2009141947A1 圧力式流量制御装置を用いた流体の非連続式流量切替制御方法审中-公开
标题翻译：使用压力型流量控制器的流体不连续切换流量控制方法
公开(公告)号：WO2009141947A1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/JP2009/001069
申请日：2009-03-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01F7/00 , G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
摘要：本発明は、圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路を少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、第１の流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記第１の流量域の流体を流通させ、また第２の流量域の流体の流量制御には少なくとも他方のオリフィスへ前記第２の流量域の流体を流通させるようにした流量レンジ可変型圧力式流量制御装置を用いた流体の流量制御方法に於いて、前記小流量の第１の流量域の流体の最大制御流量が、前記大流量の第２の流量域の最大制御流量の１０％より小さくなるように前記各オリフィスの流量特性を選定し、所定の流量制御誤差内で流量制御が可能な第１の流量域における最小流量を引き下げる。
摘要翻译：一种使用可变流量范围压力型流量控制器的流体流量控制方法，其构成为使得两个或更多个流体通道平行布置在压力型流量控制器中的控制阀的下游侧和用于液体供给的导管之间，在平行布置的相应流体通道中设置不同的流动特性，第一流动区域中的流体被传导到一个孔，用于在第一流动区域中流体的流动控制，并且第二流动区域中的流体至少传导到另一个孔用于对第二流动区域中的流体进行流量控制，其中每个孔口的流动特性被选择为使得小流量的第一流动区域中的流体的最大控制流量变得小于流体的最大控制流量的10％大流量的第二流动区域和能够在预定的流量控制误差内进行流量控制的第一流动区域中的最小流量为低红。

2. 发明申请

WO2008004334A1 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法审中-公开
标题翻译：检测压力流动控制装置的限制机构下游侧阀的故障的方法
公开(公告)号：WO2008004334A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/JP2007/000630
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F3/22
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022
摘要：　従前の圧力式流量制御装置では、その機構上流量出力信号の存在でもって絞り機構下流側バルブの開動作を判定することが出来ないので不都合である。そのため、圧力式流量制御装置の作動時の流量出力信号の変動状態から絞り機構下流側バルブの開放を簡単に判定できるようにする　圧力式流量制御装置に於いて、その絞り機構下流側バルブを開放すると共に圧力式流量制御装置へ入力する流量設定値Ｑｅを変動させ、当該流量設定値Ｑｅの変動中の圧力式制御装置からの流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶを検出し、当該流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶが規定値以上の場合には、絞り機構下流側バルブの開放作動が正常であると判断し、また、前記変動の大きさΔＶが規定値以下の場合には開放作動が異常であると判断する。
摘要翻译：由于压力流量控制装置的结构，存在根据上游输出信号的存在，无法判断任何传统的压力流量控制装置的限制机构下游侧阀的打开的问题。根据本发明，当压力流量控制服务运行时，可以根据流量输出信号的变化状态来判断限制机构下游侧阀的打开。打开压力流量控制装置的下游侧阀的限制机构，输入压力流量控制装置的流量设定值Qe变化，流量输出信号Qo与压力控制装置的流量输出信号Qo的变化量ΔV 检测到值Qe变化。当流量输出信号Qo的变化量ΔV达到规定值以上时，限制机构下游侧阀的开度被判定为正常。当变化量ΔV小于规定值时，判断开度异常。

3. 发明申请

WO2009040973A1 半導体製造設備用のガス供給装置审中-公开
标题翻译：用于半导体制造设备的气体输送装置
公开(公告)号：WO2009040973A1
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：PCT/JP2008/001920
申请日：2008-07-17
申请人：株式会社フジキン , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 池田信一
发明人：西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455 , H01L21/285
CPC分类号： C23C16/455 , C23C16/45561 , C23C16/52
摘要：　本発明は、反応炉への原料ガスを供給するメインガス供給ラインと前記原料の排気をするべントガス供給ラインとを備え、両ガスラインの中間部に複数のガス供給機構を配設して成る有機金属気相成長法による半導体製造設備用のガス供給装置に於いて、圧力式流量制御装置のオリフィス下流側で検出したメインガス供給ラインのガスＰ 10 とベントガス供給ラインの圧力Ｐ 2 とを対比し、原料ガスの供給切換時にメインガス供給ラインとベントガス供給ライン間に両者の圧力差が零となるように、前記ベントガス供給ラインの入口側当該圧力制御装置により圧力調整する。
摘要翻译：提供一种根据有机金属气相沉积的半导体制造设备的气体供给装置。气体供给装置包括用于将原料气体供给到反应炉的主气体供给管线，用于排出材料的排出气体供给管线和布置在两条气体管线之间的中间的多个气体供给机构。在压力式流量控制装置的孔口下游检测到的主气体供给管线的气体压力（P10）和排出气体供给管线的气体压力（P2）被对比，由在排气供给管路的入口侧的压力控制装置，主气体供给管路和通气气体供给管路之间的压力差在改变原料气体的供给时为零。

4. 发明申请

WO2011067877A1 圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：压力型流量控制装置
公开(公告)号：WO2011067877A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/JP2010/004859
申请日：2010-08-02
申请人：株式会社フジキン , 日高敦志 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/50
CPC分类号： G01F1/363 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/7737 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要：温度が１００℃～５００℃の高温ガスであっても、誤差が１．０％Ｆ．Ｓ．以下の高精度な流量制御を在来の温度検出器を用いて行えるようにした高温ガス用圧力式流量制御装置を提供する。流体通路(１５，１６)が形成されたバルブボディ(ＶＤ)と、流体通路に介在された弁部(Ｖ)と、弁部(Ｖ)を駆動して流体通路を開閉する弁駆動部(ＰＥ、２１)と、流体通路の弁部の下流側に設けられた絞り機構と、弁部と絞り機構との間のガス温度を検出する温度検出器(ＴＣ)と、弁部と絞り機構との間のガス圧力を検出する圧力検出器(Ｐ)と、温度検出器及び圧力検出器の各検出値に基づいて絞り機構を流通するガス流量を演算すると共に弁駆動部を制御する演算制御装置と、を有し、温度検出器(ＴＣ)を、弁部と絞り機構との間の出口側流体通路の真上の位置に、前記バルブボディの上面側よりその内方へ向けて穿設された取付孔内に挿着した。
摘要翻译：公开了一种能够以误差裕度小于或等于1.0％F.S.进行高精度流量控制的高温气体使用压力型流量控制装置。使用传统的温度检测器，即使在温度在100℃至500℃之间的高温气体中也是如此。压力型流量控制装置包括阀体（VD），其中流动通道（15和16）已经被形成; 插入在所述流路之间的阀单元（V）; 用于驱动阀单元（V）以打开和关闭流动通道的阀驱动单元（PE和21）; 设置在流路的阀单元的下游侧的孔口; 用于检测阀单元和孔之间的气体温度的温度检测器（TC）; 用于检测阀单元和孔之间的气体压力的压力检测器（P）; 以及计算和控制单元，用于在控制所述阀驱动单元的同时，基于所述温度检测器和所述压力检测器的每个检测值来计算流过所述孔口的气体流量; 其中，所述温度检测器（TC）已经被插入到从所述阀体的顶部侧面朝向所述阀体的顶侧朝向所述安装孔的位置，所述安装孔直接位于所述阀单元和所述孔口之间的出口侧流路的正上方。

5. 发明申请

WO2008001483A1 原料の気化供給装置及びこれに用いる自動圧力調整装置审中-公开
标题翻译：材料蒸发器/供应商及其使用的自动压力调节器
公开(公告)号：WO2008001483A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/000628
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：平田薫 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/52 , G05D16/2013 , Y10T137/7737
摘要：　ＭＯＤＶＣ法による半導体製造に使用する原料気化供給装置の構造の簡素化と小型化を図ると共に、原料のプロセスチャンバへの供給量を高精度で制御することにより、半導体の品質の安定化と品質の向上を図る。　本発明の原料の気化供給装置は、原料を貯留したソースタンクと、キャリアガス供給源から一定流量のキャリアガスを流量調整しつつ前記ソースタンクの原料中へ供給する流量制御装置と、ソースタンクの上部空間に溜まった原料の蒸気Ｇ 4 とキャリアガスＧ 1 との混合ガスＧｏを導出する１次配管路と、前記１次配管路の混合ガスＧｏの圧力及び温度の検出値に基づいて１次配管路の末端に介設したコントロールバルブの開度を調整し、混合ガスＧｏの流通する通路断面積を調整することによりソースタンク内の混合ガスＧｏの圧力を一定値に保持する自動圧力調整装置と、前記ソースタンク及び自動圧力調整装置の演算制御部を除く部分を設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンク内の内圧を所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバへ混合ガスＧｏを供給する構成とする。
摘要翻译：通过MODVC方法生产半导体的材料的蒸发器/供应商的结构简化，小型化，通过以高精度控制处理室的材料供应量，半导体的质量得到稳定和提高。蒸发器/材料供应商包括储存材料的源罐，流量控制器，用于在恒定流量下将载气从载气供应源供应到源罐中的材料，同时调节其流量;主管线用于引导收集在源罐的上部空间和载气（G > 1 ），一个自动压力调节器，用于通过调节布置在该罐中的控制阀的开度将源箱中的混合气体（G O）的压力保持在固定值基于主管线中的混合气体（G O）的压力和温度的检测值，并调节混合气体的流动通道的横截面积（G＆lt; O＆gt;）和用于加热源罐的恒温加热部分和自动压力恢复部分模拟器除了操作控制部分到设定温度之外，其中在将源罐的内部压力控制到所需压力的同时将混合气体（G O）向供给到处理室。

6. 发明申请

WO2011101934A1 混合ガス供給装置审中-公开
标题翻译：混合气供应装置
公开(公告)号：WO2011101934A1
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/JP2010/006261
申请日：2010-10-22
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC分类号： B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
摘要：　半導体製造装置用の混合ガス供給装置において、プロセスガス供給ラインへの他のガス種の逆拡散を防止して、混合ガス供給装置のマニホールド及びプロセスチャンバのガス置換の高速化を図る。　本発明は、流量制御装置と出口側切換弁ＶＯとから成る複数のガス供給ラインを並列状に配設し、各出口側切換弁ＶＯのガス出口をマニホールド１へ連絡すると共に、マニホールド１の混合ガス出口に近い位置のガス供給ラインを小流量用ガスの供給用にした混合ガス供給装置に於いて、流量制御装置の出口側と出口側切換弁ＶＯの入口側とを前記流量制御装置の出口側連結金具２２及びガス通路１９ａを有する取付台１９を介して気密に連結し、前記出口側連結金具２２の流路２４の一部及び又は前記出口側切換弁ＶＯとマニホールド１の混合ガス流通孔２０とを連通する流路２５に小孔部２６を設け、出口側切換弁ＶＯの上流側又は流量制御装置の上流側への他のガスの逆拡散の防止とマニホールド１の混合ガス出口２に連結したプロセスチャンバ６の高速ガス置換を可能とする。
摘要翻译：公开了一种用于半导体制造装置的混合气体供应装置，其防止其它气体类型朝向处理气体供应管线解扩，并且有助于加速混合气体供应装置的歧管和处理室。在混合气体供给装置中，包括流量控制装置和出口侧切换阀（VO）的多个气体供给管路并联配置，将各出口侧切换阀（VO）的气体出口到歧管（1），并且在歧管（1）的混合气体出口附近的位置处的气体供应管线被制成以供应低流量气体。流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的进气侧通过安装件（19）以气密方式连接，还包括流量控制装置出口侧连接配件（22）和气路（19a）。在出口侧连接配件（22）和/或与出口侧切换阀（VO）和混合气体连通的流路（25）中的一些流路（24）中设置小孔部分（26）流过歧管（1）的孔（20）。可以防止其他气体向出口侧切换阀（VO）或流量控制装置的上游侧的扩展，并且迅速地将气体替换为连接到混合气体出口的处理室（6）（1）的（2）。

7. 发明申请

WO2009147775A1 流量調整器用自動圧力調整器审中-公开
标题翻译：用于流量调节器的自动调压器
公开(公告)号：WO2009147775A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：PCT/JP2009/001591
申请日：2009-04-06
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
发明人：平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要：　流量調整器の出力流量を変更したり、流通するガス種を変更した場合に、その出力側の流量にオーバーシュートが生じないようにする。　本発明は、流量調整器へ供給するガス供給圧力の自動圧力調整器２０であって、圧電素子駆動型圧力調整弁１５と，圧力調整弁１５の出力側に設けた制御圧検出器１４と，制御圧検出器１４の検出値Ｐ２と制御圧の設定値Pstとが入力され、圧力調整弁１５の圧電素子駆動部へ比例制御方式により制御信号を供給して弁の開度調整を行うコントローラ１６とから前記自動圧力調整器２０を構成すると共に、積分動作を無効とすることにより、コントローラの前記比例制御方式を制御圧に残留偏差を生ずる制御とする。
摘要翻译：提供了一种用于流量调节器的自动压力调节器，其中当流量调节器的输出流量改变或改变气体流的类型时，防止在输出侧的流量中发生过冲。要供给流量调节器的气体的自动压力调节器（20）包括由压电元件驱动的压力调节阀（15），设置在压力调节阀（15）的输出侧的控制压力检测器（14），并且控制器（16）接收控制压力检测器（14）的检测值（P2）和控制压力的设定值（Pst），并将控制信号提供给压力调节阀（15）的压电元件驱动部分）通过比例控制系统来调节阀的开度，其中积分作用被禁用，使得通过控制器的比例控制系统在控制压力中产生残余偏差。

8. 发明申请

WO2011067891A1 圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流量制御装置审中-公开
标题翻译：压电驱动阀和压电驱动流量控制装置
公开(公告)号：WO2011067891A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/JP2010/006483
申请日：2010-11-04
申请人：株式会社フジキン , 日高敦志 , 平田薫 , 永瀬正明 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二
发明人：日高敦志 , 平田薫 , 永瀬正明 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二
IPC分类号： F16K49/00 , F16K7/14 , F16K31/02 , F16K37/00 , G05D7/06
CPC分类号： F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要：　圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。　流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸長を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されている。
摘要翻译：公开了一种压电驱动阀，其可以在高于压电致动器的使用范围内的温度的温度下甚至控制流体。还公开了一种压电驱动的流体控制装置。压电驱动阀设有：开启和关闭流体通道（1b）的阀体（2）; 压电致动器（10），其利用压电元件的膨胀和收缩来驱动所述阀体（2）打开和关闭; 和散热间隔件（40），其提升和支撑所述压电致动器（10），使得所述压电致动器与所述流体通道（1b）相距一定距离，并且将从所述压电致动器（10）传递的热量从所述压电致动器在流体通道（1b）中流动的流体。此外，压电驱动阀优选地具有容纳和支撑压电致动器（10）和散热间隔件（40）的支撑筒体（23A）。在支撑圆柱体（23A）中，容纳散热间隔件（40）的至少一部分由与散热间隔件（40）的热膨胀系数相同的热膨胀系数的材料形成。

9. 发明申请

WO2009122646A1 気化器を備えたガス供給装置审中-公开
标题翻译：配有加热器的气体供应装置
公开(公告)号：WO2009122646A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/000643
申请日：2009-02-17
申请人：株式会社フジキン , 長田厚 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 平田薫 , 松本篤諮 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
发明人：長田厚 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 平田薫 , 松本篤諮 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/31 , B01J4/00 , H01L21/205
CPC分类号： B01J4/02 , B01B1/005 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B01J2219/00191 , B01J2219/00198 , B01J2219/00213 , B01J2219/00231 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , F02D19/023 , F02D19/027 , F02M21/0239 , F02M21/06 , Y02T10/32 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606
摘要：本発明は、液体受入れタンクと，液体を気化する気化器と，気化ガスの流量を調整する高温型圧力式流量制御装置と，気化器と高温型圧力式流量制御装置とこれらに接続した配管路の所望部分を加熱する加熱装置とから構成される気化器を備えたガス供給装置であり、これにより、省エネルギ化と小型化を図ると共に、厳密な気化器側の温度制御を必要とすることなしに高精度なガス流量制御を安定に且つ簡単に行えるようにした気化器を備えたガス供給装置を提供する。
摘要翻译：本发明提供一种配备有化油器的气体供给装置，其包括液体容纳槽，用于蒸发液体的化油器，用于调节汽化气体的流量的高温压力型流量控制器，以及用于加热所需部分的加热器化油器，高温压力型流量控制器和与其连接的管路。在该气体供给装置中，能够实现节能小型化，能够以高精度容易且稳定地进行气体的流量控制，而无需对化油器侧进行严格的温度控制。

10. 发明申请

WO2009130835A1 流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用駆動回路审中-公开
标题翻译：压力型流量控制装置的压力控制阀驱动电路流量自动诊断功能
公开(公告)号：WO2009130835A1
公开(公告)日：2009-10-29
申请号：PCT/JP2009/000647
申请日：2009-02-18
申请人：株式会社フジキン , 杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薫 , 中谷貴紀
发明人：杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薫 , 中谷貴紀
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7762
摘要：　流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路（５）において、制御部の駆動回路と並列に、制御弁を高速閉止させるための閉止回路（８）を設け、流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、流量自己診断時に高精度な診断結果が得られるようにする。
摘要翻译：在具有流量自诊断功能的压力型流量控制装置的压力控制阀压电元件驱动电路（5）中，与高速关闭控制阀的闭合回路（8）并列设置控制器的驱动电路，用于减少流量自诊断中的阀关闭时间延迟。因此，可以在流量自我诊断中获得高精度的诊断结果。

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