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1. 发明申请

WO2008004334A1 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法审中-公开
标题翻译：检测压力流动控制装置的限制机构下游侧阀的故障的方法
公开(公告)号：WO2008004334A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/JP2007/000630
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F3/22
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022
摘要：　従前の圧力式流量制御装置では、その機構上流量出力信号の存在でもって絞り機構下流側バルブの開動作を判定することが出来ないので不都合である。そのため、圧力式流量制御装置の作動時の流量出力信号の変動状態から絞り機構下流側バルブの開放を簡単に判定できるようにする　圧力式流量制御装置に於いて、その絞り機構下流側バルブを開放すると共に圧力式流量制御装置へ入力する流量設定値Ｑｅを変動させ、当該流量設定値Ｑｅの変動中の圧力式制御装置からの流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶを検出し、当該流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶが規定値以上の場合には、絞り機構下流側バルブの開放作動が正常であると判断し、また、前記変動の大きさΔＶが規定値以下の場合には開放作動が異常であると判断する。
摘要翻译：由于压力流量控制装置的结构，存在根据上游输出信号的存在，无法判断任何传统的压力流量控制装置的限制机构下游侧阀的打开的问题。根据本发明，当压力流量控制服务运行时，可以根据流量输出信号的变化状态来判断限制机构下游侧阀的打开。打开压力流量控制装置的下游侧阀的限制机构，输入压力流量控制装置的流量设定值Qe变化，流量输出信号Qo与压力控制装置的流量输出信号Qo的变化量ΔV 检测到值Qe变化。当流量输出信号Qo的变化量ΔV达到规定值以上时，限制机构下游侧阀的开度被判定为正常。当变化量ΔV小于规定值时，判断开度异常。

2. 发明申请

WO2009122646A1 気化器を備えたガス供給装置审中-公开
标题翻译：配有加热器的气体供应装置
公开(公告)号：WO2009122646A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/000643
申请日：2009-02-17
申请人：株式会社フジキン , 長田厚 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 平田薫 , 松本篤諮 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
发明人：長田厚 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 平田薫 , 松本篤諮 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/31 , B01J4/00 , H01L21/205
CPC分类号： B01J4/02 , B01B1/005 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B01J2219/00191 , B01J2219/00198 , B01J2219/00213 , B01J2219/00231 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , F02D19/023 , F02D19/027 , F02M21/0239 , F02M21/06 , Y02T10/32 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606
摘要：本発明は、液体受入れタンクと，液体を気化する気化器と，気化ガスの流量を調整する高温型圧力式流量制御装置と，気化器と高温型圧力式流量制御装置とこれらに接続した配管路の所望部分を加熱する加熱装置とから構成される気化器を備えたガス供給装置であり、これにより、省エネルギ化と小型化を図ると共に、厳密な気化器側の温度制御を必要とすることなしに高精度なガス流量制御を安定に且つ簡単に行えるようにした気化器を備えたガス供給装置を提供する。
摘要翻译：本发明提供一种配备有化油器的气体供给装置，其包括液体容纳槽，用于蒸发液体的化油器，用于调节汽化气体的流量的高温压力型流量控制器，以及用于加热所需部分的加热器化油器，高温压力型流量控制器和与其连接的管路。在该气体供给装置中，能够实现节能小型化，能够以高精度容易且稳定地进行气体的流量控制，而无需对化油器侧进行严格的温度控制。

3. 发明申请

WO2008001483A1 原料の気化供給装置及びこれに用いる自動圧力調整装置审中-公开
标题翻译：材料蒸发器/供应商及其使用的自动压力调节器
公开(公告)号：WO2008001483A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/000628
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：平田薫 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/52 , G05D16/2013 , Y10T137/7737
摘要：　ＭＯＤＶＣ法による半導体製造に使用する原料気化供給装置の構造の簡素化と小型化を図ると共に、原料のプロセスチャンバへの供給量を高精度で制御することにより、半導体の品質の安定化と品質の向上を図る。　本発明の原料の気化供給装置は、原料を貯留したソースタンクと、キャリアガス供給源から一定流量のキャリアガスを流量調整しつつ前記ソースタンクの原料中へ供給する流量制御装置と、ソースタンクの上部空間に溜まった原料の蒸気Ｇ 4 とキャリアガスＧ 1 との混合ガスＧｏを導出する１次配管路と、前記１次配管路の混合ガスＧｏの圧力及び温度の検出値に基づいて１次配管路の末端に介設したコントロールバルブの開度を調整し、混合ガスＧｏの流通する通路断面積を調整することによりソースタンク内の混合ガスＧｏの圧力を一定値に保持する自動圧力調整装置と、前記ソースタンク及び自動圧力調整装置の演算制御部を除く部分を設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンク内の内圧を所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバへ混合ガスＧｏを供給する構成とする。
摘要翻译：通过MODVC方法生产半导体的材料的蒸发器/供应商的结构简化，小型化，通过以高精度控制处理室的材料供应量，半导体的质量得到稳定和提高。蒸发器/材料供应商包括储存材料的源罐，流量控制器，用于在恒定流量下将载气从载气供应源供应到源罐中的材料，同时调节其流量;主管线用于引导收集在源罐的上部空间和载气（G > 1 ），一个自动压力调节器，用于通过调节布置在该罐中的控制阀的开度将源箱中的混合气体（G O）的压力保持在固定值基于主管线中的混合气体（G O）的压力和温度的检测值，并调节混合气体的流动通道的横截面积（G＆lt; O＆gt;）和用于加热源罐的恒温加热部分和自动压力恢复部分模拟器除了操作控制部分到设定温度之外，其中在将源罐的内部压力控制到所需压力的同时将混合气体（G O）向供给到处理室。

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