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1. 发明申请

WO2011067877A1 圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：压力型流量控制装置
公开(公告)号：WO2011067877A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/JP2010/004859
申请日：2010-08-02
申请人：株式会社フジキン , 日高敦志 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/50
CPC分类号： G01F1/363 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/7737 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要：温度が１００℃～５００℃の高温ガスであっても、誤差が１．０％Ｆ．Ｓ．以下の高精度な流量制御を在来の温度検出器を用いて行えるようにした高温ガス用圧力式流量制御装置を提供する。流体通路(１５，１６)が形成されたバルブボディ(ＶＤ)と、流体通路に介在された弁部(Ｖ)と、弁部(Ｖ)を駆動して流体通路を開閉する弁駆動部(ＰＥ、２１)と、流体通路の弁部の下流側に設けられた絞り機構と、弁部と絞り機構との間のガス温度を検出する温度検出器(ＴＣ)と、弁部と絞り機構との間のガス圧力を検出する圧力検出器(Ｐ)と、温度検出器及び圧力検出器の各検出値に基づいて絞り機構を流通するガス流量を演算すると共に弁駆動部を制御する演算制御装置と、を有し、温度検出器(ＴＣ)を、弁部と絞り機構との間の出口側流体通路の真上の位置に、前記バルブボディの上面側よりその内方へ向けて穿設された取付孔内に挿着した。
摘要翻译：公开了一种能够以误差裕度小于或等于1.0％F.S.进行高精度流量控制的高温气体使用压力型流量控制装置。使用传统的温度检测器，即使在温度在100℃至500℃之间的高温气体中也是如此。压力型流量控制装置包括阀体（VD），其中流动通道（15和16）已经被形成; 插入在所述流路之间的阀单元（V）; 用于驱动阀单元（V）以打开和关闭流动通道的阀驱动单元（PE和21）; 设置在流路的阀单元的下游侧的孔口; 用于检测阀单元和孔之间的气体温度的温度检测器（TC）; 用于检测阀单元和孔之间的气体压力的压力检测器（P）; 以及计算和控制单元，用于在控制所述阀驱动单元的同时，基于所述温度检测器和所述压力检测器的每个检测值来计算流过所述孔口的气体流量; 其中，所述温度检测器（TC）已经被插入到从所述阀体的顶部侧面朝向所述阀体的顶侧朝向所述安装孔的位置，所述安装孔直接位于所述阀单元和所述孔口之间的出口侧流路的正上方。

2. 发明申请

WO2009147775A1 流量調整器用自動圧力調整器审中-公开
标题翻译：用于流量调节器的自动调压器
公开(公告)号：WO2009147775A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：PCT/JP2009/001591
申请日：2009-04-06
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
发明人：平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要：　流量調整器の出力流量を変更したり、流通するガス種を変更した場合に、その出力側の流量にオーバーシュートが生じないようにする。　本発明は、流量調整器へ供給するガス供給圧力の自動圧力調整器２０であって、圧電素子駆動型圧力調整弁１５と，圧力調整弁１５の出力側に設けた制御圧検出器１４と，制御圧検出器１４の検出値Ｐ２と制御圧の設定値Pstとが入力され、圧力調整弁１５の圧電素子駆動部へ比例制御方式により制御信号を供給して弁の開度調整を行うコントローラ１６とから前記自動圧力調整器２０を構成すると共に、積分動作を無効とすることにより、コントローラの前記比例制御方式を制御圧に残留偏差を生ずる制御とする。
摘要翻译：提供了一种用于流量调节器的自动压力调节器，其中当流量调节器的输出流量改变或改变气体流的类型时，防止在输出侧的流量中发生过冲。要供给流量调节器的气体的自动压力调节器（20）包括由压电元件驱动的压力调节阀（15），设置在压力调节阀（15）的输出侧的控制压力检测器（14），并且控制器（16）接收控制压力检测器（14）的检测值（P2）和控制压力的设定值（Pst），并将控制信号提供给压力调节阀（15）的压电元件驱动部分）通过比例控制系统来调节阀的开度，其中积分作用被禁用，使得通过控制器的比例控制系统在控制压力中产生残余偏差。

3. 发明申请

WO2008129783A1 圧電素子駆動式制御弁审中-公开
标题翻译：压电元件驱动控制阀
公开(公告)号：WO2008129783A1
公开(公告)日：2008-10-30
申请号：PCT/JP2008/000572
申请日：2008-03-13
申请人：株式会社フジキン , 澤田洋平 , 平田薫 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：澤田洋平 , 平田薫 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/12
CPC分类号： F16K31/007 , F16K7/14
摘要：　圧電アクチュエータ１６が縮む時に圧電素子に掛かる引っ張り力を緩和し、高温環境下に於いても安定した流量制御を行えるようにする。　本発明の圧電素子駆動式制御弁は、弁座８ｄを有するボディ８と、弁座８ｄに当離座する金属ダイヤフラム９と、ボディ８側に昇降自在に支持されたアクチュエータボックス１３と、ボディ８側に固定された割りベース１１と、アクチュエータボックス１３を下方へ押圧附勢して金属ダイヤフラム９を弁座８ｄへ当座させる皿バネ１５と、アクチュエータボックス１３内に収容され、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス１３を皿バネ１５の弾性力に抗して押し上げる圧電アクチュエータ１６とから成る圧電素子駆動式制御弁１に於いて、割りベース１１と圧電アクチュエータ１６との間に、圧電アクチュエータ１６の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構２０を介設する。
摘要翻译：压电元件驱动控制阀，其中当压电致动器（16）收缩时作用在压电元件上的张力减小，使得阀即使在高温环境下也能够执行稳定的流量控制。压电元件驱动控制阀（1）具有带有阀座（8d）的主体（8），与阀座（8d）接触并与阀座分离的金属隔膜（9），支撑在阀座在主体（8）侧上可上下移动的固定在主体（8）侧的分割基座（11），用于向下按压推动致动器箱（13）的圆盘形弹簧（15）使得金属隔膜（9）位于阀座（8d）上，并且压电致动器（16）容纳在致动器箱（13）中并且通过受到电压而向上延伸，向上推动致动器箱（13））抵抗碟形弹簧（15）的弹力。用于对压电致动器（16）的压电元件持续施加压力的预加载机构（20）被放置在分离基座（11）和压电致动器（16）之间。

4. 发明申请

WO2008001484A1 流量比可変型流体供給装置审中-公开
标题翻译：可变流量比率流体供应装置
公开(公告)号：WO2008001484A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/000629
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 澤田洋平 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：平田薫 , 澤田洋平 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/85938 , Y10T137/87314 , Y10T137/87539
摘要：　半導体製造装置用チャンバへの流量比可変型ガス分流供給装置を大幅に小型化及び低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。　流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑ 1 、Ｑ 2 でもって分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するようにした流量化可変型流体供給装置に於いて、前記第１分流管路１に開口面積Ｓ 1 の第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ～２ｎを並列状に直結した管路として、前記各分岐管路２ａ～２ｎに夫々開口面積Ｓ 2 a～Ｓ 2 ｎのオリフィス４ａ～４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ～Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ～Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ 2 ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ 2 ｏとの比に等しい流量比Ｑ 1 ／Ｑ 2 でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。
摘要翻译：用于半导体制造装置的可变流量比型气体分支/供给装置的尺寸和成本急剧降低，并且能够以高精度容易地调节流量比。在可变流量比型流体供给装置中，布置成以从流量控制器（6）以流量Q向第一分支管道（1）和第二分支管道（2）以预定流量（Q < 并且以两个分支导管（1,2）的气流以流量Q向腔室供应，具有开口的第一孔口（3）在第一分支管道（1）中设置有第一分支导管（1），第二分支管道（2）由直接并联的多个分支导管（2a-2n）构成， 4a-4n）分别设置在分支导管（2a-2n）中，开/关阀（Vb-Vn）分别具有开口面积（S 2 2 N 2 N 2 n））在整个或部分地设置在分支管道中，并且以流量Q的气流以分流管道（1,2）分支到相应的分支导管（1,2），流量比Q 1 / 2等于第一分支导管（1）中的第一孔（3）与总开口之间的比率通过打开或关闭开/关阀（Vb-Vn），从而调节总开口面积S 2，使第二分支管道（2）中的可通过孔的面积S 2 在第二分支导管（2）中的可通过的孔口。

5. 发明申请

WO2011101934A1 混合ガス供給装置审中-公开
标题翻译：混合气供应装置
公开(公告)号：WO2011101934A1
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/JP2010/006261
申请日：2010-10-22
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC分类号： B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
摘要：　半導体製造装置用の混合ガス供給装置において、プロセスガス供給ラインへの他のガス種の逆拡散を防止して、混合ガス供給装置のマニホールド及びプロセスチャンバのガス置換の高速化を図る。　本発明は、流量制御装置と出口側切換弁ＶＯとから成る複数のガス供給ラインを並列状に配設し、各出口側切換弁ＶＯのガス出口をマニホールド１へ連絡すると共に、マニホールド１の混合ガス出口に近い位置のガス供給ラインを小流量用ガスの供給用にした混合ガス供給装置に於いて、流量制御装置の出口側と出口側切換弁ＶＯの入口側とを前記流量制御装置の出口側連結金具２２及びガス通路１９ａを有する取付台１９を介して気密に連結し、前記出口側連結金具２２の流路２４の一部及び又は前記出口側切換弁ＶＯとマニホールド１の混合ガス流通孔２０とを連通する流路２５に小孔部２６を設け、出口側切換弁ＶＯの上流側又は流量制御装置の上流側への他のガスの逆拡散の防止とマニホールド１の混合ガス出口２に連結したプロセスチャンバ６の高速ガス置換を可能とする。
摘要翻译：公开了一种用于半导体制造装置的混合气体供应装置，其防止其它气体类型朝向处理气体供应管线解扩，并且有助于加速混合气体供应装置的歧管和处理室。在混合气体供给装置中，包括流量控制装置和出口侧切换阀（VO）的多个气体供给管路并联配置，将各出口侧切换阀（VO）的气体出口到歧管（1），并且在歧管（1）的混合气体出口附近的位置处的气体供应管线被制成以供应低流量气体。流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的进气侧通过安装件（19）以气密方式连接，还包括流量控制装置出口侧连接配件（22）和气路（19a）。在出口侧连接配件（22）和/或与出口侧切换阀（VO）和混合气体连通的流路（25）中的一些流路（24）中设置小孔部分（26）流过歧管（1）的孔（20）。可以防止其他气体向出口侧切换阀（VO）或流量控制装置的上游侧的扩展，并且迅速地将气体替换为连接到混合气体出口的处理室（6）（1）的（2）。

6. 发明申请

WO2009141947A1 圧力式流量制御装置を用いた流体の非連続式流量切替制御方法审中-公开
标题翻译：使用压力型流量控制器的流体不连续切换流量控制方法
公开(公告)号：WO2009141947A1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/JP2009/001069
申请日：2009-03-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01F7/00 , G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
摘要：本発明は、圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路を少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、第１の流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記第１の流量域の流体を流通させ、また第２の流量域の流体の流量制御には少なくとも他方のオリフィスへ前記第２の流量域の流体を流通させるようにした流量レンジ可変型圧力式流量制御装置を用いた流体の流量制御方法に於いて、前記小流量の第１の流量域の流体の最大制御流量が、前記大流量の第２の流量域の最大制御流量の１０％より小さくなるように前記各オリフィスの流量特性を選定し、所定の流量制御誤差内で流量制御が可能な第１の流量域における最小流量を引き下げる。
摘要翻译：一种使用可变流量范围压力型流量控制器的流体流量控制方法，其构成为使得两个或更多个流体通道平行布置在压力型流量控制器中的控制阀的下游侧和用于液体供给的导管之间，在平行布置的相应流体通道中设置不同的流动特性，第一流动区域中的流体被传导到一个孔，用于在第一流动区域中流体的流动控制，并且第二流动区域中的流体至少传导到另一个孔用于对第二流动区域中的流体进行流量控制，其中每个孔口的流动特性被选择为使得小流量的第一流动区域中的流体的最大控制流量变得小于流体的最大控制流量的10％大流量的第二流动区域和能够在预定的流量控制误差内进行流量控制的第一流动区域中的最小流量为低红。

7. 发明申请

WO2009130835A1 流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用駆動回路审中-公开
标题翻译：压力型流量控制装置的压力控制阀驱动电路流量自动诊断功能
公开(公告)号：WO2009130835A1
公开(公告)日：2009-10-29
申请号：PCT/JP2009/000647
申请日：2009-02-18
申请人：株式会社フジキン , 杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薫 , 中谷貴紀
发明人：杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薫 , 中谷貴紀
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7762
摘要：　流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路（５）において、制御部の駆動回路と並列に、制御弁を高速閉止させるための閉止回路（８）を設け、流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、流量自己診断時に高精度な診断結果が得られるようにする。
摘要翻译：在具有流量自诊断功能的压力型流量控制装置的压力控制阀压电元件驱动电路（5）中，与高速关闭控制阀的闭合回路（8）并列设置控制器的驱动电路，用于减少流量自诊断中的阀关闭时间延迟。因此，可以在流量自我诊断中获得高精度的诊断结果。

8. 发明申请

WO2008026306A1 カム式バルブ审中-公开
标题翻译：凸轮阀
公开(公告)号：WO2008026306A1
公开(公告)日：2008-03-06
申请号：PCT/JP2007/000891
申请日：2007-08-21
申请人：株式会社フジキン , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 澤田洋平
发明人：土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 澤田洋平
IPC分类号： F16K31/524 , F16K1/00 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K41/10
CPC分类号： F16K31/04 , F16K7/16 , F16K31/52491
摘要：　ステッピングモータ及びカム機構から成るアクチュエータを上下方向へ微調整してバルブの零点調整を簡単且つ容易に行えるようにする。　流入通路２ａ、流出通路２ｂ、弁室２ｃ及び弁座２ｄを有するボディ２内にステム７を昇降自在に配設し、前記ステム７をステム７の上方位置に配設したステッピングモータ９及びステッピングモータ９の回転運動を直線運動に変えてステム７に伝達するカム機構１０から成るアクチュエータにより下降させ、弁室２ｃ内に配設したダイヤフラム３又はステム７の下端部に設けた弁体３０を弁座２ｄへ当座させるようにしたステッピングモータ駆動型のカム式バルブ１に於いて、前記ボディ２の弁室２ｃを覆うボンネット５にアクチュエータを昇降自在に支持する昇降支持機構１１を設け、当該昇降支持機構１１にステム７に対するアクチュエータの高さ位置を微調整する高さ微調整機構１２を設ける。
摘要翻译：一种凸轮阀，其中通过精细垂直调节由步进电机和凸轮机构构成的致动器简单且容易地制造阀的零点调节。在步进电机驱动型的凸轮阀（1）中，杆（7）可上下移动地安装在具有流入路径（2a），流出路径（2b），阀室（2c）的主体（2），以及阀座（2d）。杆（7）由设置在杆（7）上方的步进电动机（9）和凸轮机构（10）所构成的致动器下降，用于将步进电动机（9）的旋转运动转换为直线运动并传递它到茎（7）。这使得放置在阀室（2c）中的隔膜（3）或放置在阀杆（7）的下端处的阀体（30）与阀座（2d）接触。在覆盖主体（2）的阀室（2c）的发动机罩（5）上设置有用于可升降地支撑致动器的升降支撑机构（11），并且提升支撑机构（11）设置有微细高度调节机构（12），用于执行致动器相对于杆（7）的高度的微调。

9. 发明申请

WO2011067891A1 圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流量制御装置审中-公开
标题翻译：压电驱动阀和压电驱动流量控制装置
公开(公告)号：WO2011067891A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/JP2010/006483
申请日：2010-11-04
申请人：株式会社フジキン , 日高敦志 , 平田薫 , 永瀬正明 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二
发明人：日高敦志 , 平田薫 , 永瀬正明 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二
IPC分类号： F16K49/00 , F16K7/14 , F16K31/02 , F16K37/00 , G05D7/06
CPC分类号： F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要：　圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。　流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸長を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されている。
摘要翻译：公开了一种压电驱动阀，其可以在高于压电致动器的使用范围内的温度的温度下甚至控制流体。还公开了一种压电驱动的流体控制装置。压电驱动阀设有：开启和关闭流体通道（1b）的阀体（2）; 压电致动器（10），其利用压电元件的膨胀和收缩来驱动所述阀体（2）打开和关闭; 和散热间隔件（40），其提升和支撑所述压电致动器（10），使得所述压电致动器与所述流体通道（1b）相距一定距离，并且将从所述压电致动器（10）传递的热量从所述压电致动器在流体通道（1b）中流动的流体。此外，压电驱动阀优选地具有容纳和支撑压电致动器（10）和散热间隔件（40）的支撑筒体（23A）。在支撑圆柱体（23A）中，容纳散热间隔件（40）的至少一部分由与散热间隔件（40）的热膨胀系数相同的热膨胀系数的材料形成。

10. 发明申请

WO2011064948A1 カム式制御弁审中-公开
标题翻译： CAM控制阀
公开(公告)号：WO2011064948A1
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：PCT/JP2010/006509
申请日：2010-11-05
申请人：株式会社フジキン , 澤田洋平 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：澤田洋平 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K31/524 , F16K31/04 , F16H25/14 , F16K7/16
CPC分类号： F16K7/16 , F16K31/047 , F16K31/52408
摘要：【課題】　カムが取り付けられたモータを上下方向へ高さ調整する際に、調整ネジにアクセスしやすくしたカム式制御弁を提供する。【解決手段】　流体流路２及び弁座３を有する弁箱４と、弁座３に当離座して流体流路２を開閉する弁体５と、弁体５を押し下げて弁座３に当接させる弁棒６と、弁棒６に作用して弁棒６を押し下げるカム７と、カム７を回転駆動するモータ８と、モータ８を保持するモータホルダ９と、弁箱４に固定されてモータホルダ９を上下に移動可能に支持する支持枠１０と、支持枠１０の上辺部からモータホルダ９を離間させる方向に付勢する弾性部材１１と、モータホルダ９を支持枠１０に吊り下げ状に支持してモータホルダ９の支持枠１０に対する高さを調整するための高さ調整ネジ１２であって、支持枠１０の上辺部に摺動可能に挿入されるとともにモータホルダ９に螺入された高さ調整ネジ１２と、を備える。
摘要翻译：公开了一种凸轮控制阀，其中当调节安装有凸轮的马达的垂直方向的高度时，容易接近调节螺钉。凸轮控制阀设置有：具有流体管道（2）和阀座（3）的阀箱（4）; 阀座（5），其从所述阀座（3）排放/脱离以打开/关闭所述流体管道（2）; 按压使阀体（5）与阀座（3）接触的阀体（5）的阀杆（6）; 作用在阀杆（6）上的凸轮（7），压下阀杆（6）; 旋转驱动凸轮（7）的马达（8）; 保持马达（8）的马达保持器（9）; 支撑框架（10），其以可垂直移动的方式支撑所述电动机保持器（9），并且固定到所述阀箱（4）; 弹性构件（11），其沿着与所述支撑框架（10）的上部分离的方向对所述马达保持器（9）施力; 以及从所述支撑框架（10）以悬挂方式支撑所述电动机保持器（9）的高度调节螺钉（12）用于调节所述电动机保持器（9）相对于所述支撑框架（10）的高度，，可滑动地插入支撑框架（10）的上部，并且被拧入电动机保持器（9）。

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