专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2011067877A1 圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：压力型流量控制装置
公开(公告)号：WO2011067877A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/JP2010/004859
申请日：2010-08-02
申请人：株式会社フジキン , 日高敦志 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/50
CPC分类号： G01F1/363 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/7737 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
摘要：温度が１００℃～５００℃の高温ガスであっても、誤差が１．０％Ｆ．Ｓ．以下の高精度な流量制御を在来の温度検出器を用いて行えるようにした高温ガス用圧力式流量制御装置を提供する。流体通路(１５，１６)が形成されたバルブボディ(ＶＤ)と、流体通路に介在された弁部(Ｖ)と、弁部(Ｖ)を駆動して流体通路を開閉する弁駆動部(ＰＥ、２１)と、流体通路の弁部の下流側に設けられた絞り機構と、弁部と絞り機構との間のガス温度を検出する温度検出器(ＴＣ)と、弁部と絞り機構との間のガス圧力を検出する圧力検出器(Ｐ)と、温度検出器及び圧力検出器の各検出値に基づいて絞り機構を流通するガス流量を演算すると共に弁駆動部を制御する演算制御装置と、を有し、温度検出器(ＴＣ)を、弁部と絞り機構との間の出口側流体通路の真上の位置に、前記バルブボディの上面側よりその内方へ向けて穿設された取付孔内に挿着した。
摘要翻译：公开了一种能够以误差裕度小于或等于1.0％F.S.进行高精度流量控制的高温气体使用压力型流量控制装置。使用传统的温度检测器，即使在温度在100℃至500℃之间的高温气体中也是如此。压力型流量控制装置包括阀体（VD），其中流动通道（15和16）已经被形成; 插入在所述流路之间的阀单元（V）; 用于驱动阀单元（V）以打开和关闭流动通道的阀驱动单元（PE和21）; 设置在流路的阀单元的下游侧的孔口; 用于检测阀单元和孔之间的气体温度的温度检测器（TC）; 用于检测阀单元和孔之间的气体压力的压力检测器（P）; 以及计算和控制单元，用于在控制所述阀驱动单元的同时，基于所述温度检测器和所述压力检测器的每个检测值来计算流过所述孔口的气体流量; 其中，所述温度检测器（TC）已经被插入到从所述阀体的顶部侧面朝向所述阀体的顶侧朝向所述安装孔的位置，所述安装孔直接位于所述阀单元和所述孔口之间的出口侧流路的正上方。

2. 发明申请

WO2009147775A1 流量調整器用自動圧力調整器审中-公开
标题翻译：用于流量调节器的自动调压器
公开(公告)号：WO2009147775A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：PCT/JP2009/001591
申请日：2009-04-06
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
发明人：平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要：　流量調整器の出力流量を変更したり、流通するガス種を変更した場合に、その出力側の流量にオーバーシュートが生じないようにする。　本発明は、流量調整器へ供給するガス供給圧力の自動圧力調整器２０であって、圧電素子駆動型圧力調整弁１５と，圧力調整弁１５の出力側に設けた制御圧検出器１４と，制御圧検出器１４の検出値Ｐ２と制御圧の設定値Pstとが入力され、圧力調整弁１５の圧電素子駆動部へ比例制御方式により制御信号を供給して弁の開度調整を行うコントローラ１６とから前記自動圧力調整器２０を構成すると共に、積分動作を無効とすることにより、コントローラの前記比例制御方式を制御圧に残留偏差を生ずる制御とする。
摘要翻译：提供了一种用于流量调节器的自动压力调节器，其中当流量调节器的输出流量改变或改变气体流的类型时，防止在输出侧的流量中发生过冲。要供给流量调节器的气体的自动压力调节器（20）包括由压电元件驱动的压力调节阀（15），设置在压力调节阀（15）的输出侧的控制压力检测器（14），并且控制器（16）接收控制压力检测器（14）的检测值（P2）和控制压力的设定值（Pst），并将控制信号提供给压力调节阀（15）的压电元件驱动部分）通过比例控制系统来调节阀的开度，其中积分作用被禁用，使得通过控制器的比例控制系统在控制压力中产生残余偏差。

3. 发明申请

WO2008129783A1 圧電素子駆動式制御弁审中-公开
标题翻译：压电元件驱动控制阀
公开(公告)号：WO2008129783A1
公开(公告)日：2008-10-30
申请号：PCT/JP2008/000572
申请日：2008-03-13
申请人：株式会社フジキン , 澤田洋平 , 平田薫 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：澤田洋平 , 平田薫 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/12
CPC分类号： F16K31/007 , F16K7/14
摘要：　圧電アクチュエータ１６が縮む時に圧電素子に掛かる引っ張り力を緩和し、高温環境下に於いても安定した流量制御を行えるようにする。　本発明の圧電素子駆動式制御弁は、弁座８ｄを有するボディ８と、弁座８ｄに当離座する金属ダイヤフラム９と、ボディ８側に昇降自在に支持されたアクチュエータボックス１３と、ボディ８側に固定された割りベース１１と、アクチュエータボックス１３を下方へ押圧附勢して金属ダイヤフラム９を弁座８ｄへ当座させる皿バネ１５と、アクチュエータボックス１３内に収容され、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス１３を皿バネ１５の弾性力に抗して押し上げる圧電アクチュエータ１６とから成る圧電素子駆動式制御弁１に於いて、割りベース１１と圧電アクチュエータ１６との間に、圧電アクチュエータ１６の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構２０を介設する。
摘要翻译：压电元件驱动控制阀，其中当压电致动器（16）收缩时作用在压电元件上的张力减小，使得阀即使在高温环境下也能够执行稳定的流量控制。压电元件驱动控制阀（1）具有带有阀座（8d）的主体（8），与阀座（8d）接触并与阀座分离的金属隔膜（9），支撑在阀座在主体（8）侧上可上下移动的固定在主体（8）侧的分割基座（11），用于向下按压推动致动器箱（13）的圆盘形弹簧（15）使得金属隔膜（9）位于阀座（8d）上，并且压电致动器（16）容纳在致动器箱（13）中并且通过受到电压而向上延伸，向上推动致动器箱（13））抵抗碟形弹簧（15）的弹力。用于对压电致动器（16）的压电元件持续施加压力的预加载机构（20）被放置在分离基座（11）和压电致动器（16）之间。

4. 发明申请

WO2008001484A1 流量比可変型流体供給装置审中-公开
标题翻译：可变流量比率流体供应装置
公开(公告)号：WO2008001484A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/000629
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 澤田洋平 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：平田薫 , 澤田洋平 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/85938 , Y10T137/87314 , Y10T137/87539
摘要：　半導体製造装置用チャンバへの流量比可変型ガス分流供給装置を大幅に小型化及び低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。　流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑ 1 、Ｑ 2 でもって分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するようにした流量化可変型流体供給装置に於いて、前記第１分流管路１に開口面積Ｓ 1 の第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ～２ｎを並列状に直結した管路として、前記各分岐管路２ａ～２ｎに夫々開口面積Ｓ 2 a～Ｓ 2 ｎのオリフィス４ａ～４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ～Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ～Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ 2 ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ 2 ｏとの比に等しい流量比Ｑ 1 ／Ｑ 2 でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。
摘要翻译：用于半导体制造装置的可变流量比型气体分支/供给装置的尺寸和成本急剧降低，并且能够以高精度容易地调节流量比。在可变流量比型流体供给装置中，布置成以从流量控制器（6）以流量Q向第一分支管道（1）和第二分支管道（2）以预定流量（Q < 并且以两个分支导管（1,2）的气流以流量Q向腔室供应，具有开口的第一孔口（3）在第一分支管道（1）中设置有第一分支导管（1），第二分支管道（2）由直接并联的多个分支导管（2a-2n）构成， 4a-4n）分别设置在分支导管（2a-2n）中，开/关阀（Vb-Vn）分别具有开口面积（S 2 2 N 2 N 2 n））在整个或部分地设置在分支管道中，并且以流量Q的气流以分流管道（1,2）分支到相应的分支导管（1,2），流量比Q 1 / 2等于第一分支导管（1）中的第一孔（3）与总开口之间的比率通过打开或关闭开/关阀（Vb-Vn），从而调节总开口面积S 2，使第二分支管道（2）中的可通过孔的面积S 2 在第二分支导管（2）中的可通过的孔口。

5. 发明申请

WO2009037724A1 小型流量制御弁审中-公开
标题翻译：小流量控制阀
公开(公告)号：WO2009037724A1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：PCT/JP2007/001009
申请日：2007-09-18
申请人：株式会社フジキン , 土肥亮介 , 西野功二 , 平田薫 , 池田信一
发明人：土肥亮介 , 西野功二 , 平田薫 , 池田信一
IPC分类号： F16K1/00 , F16K27/02 , F16K31/04 , F16K31/44
CPC分类号： F16K27/02 , F16K1/12 , F16K31/52
摘要：　半導体製造設備や化学品製造設備等の圧力式流量制御装置に適用される小型流量制御弁であって、コストの低減が図れると共に、構造を簡単化してコンパクトに形成でき、それでいて高精度の作動が行なえる様にする。　流入路７と流出路８が左右に離間して形成されて流入路７側又は流出路８側に弁座９を備えた弁箱２と、弁箱２に設けられて左右方向に移動可能な可動体３と、可動体３に設けられて弁座９に当離座し得る弁体４と、弁箱２と可動体３との間に設けられて可動体３の左右方向の移動を許容すると共に流入路７と流出路８を連通し得る伸縮可能な伸縮筒体５と、弁箱２に設けられて可動体３を移動させる為のアクチュエータ６とで構成する。
摘要翻译：适用于半导体制造装置和化学制品制造装置的压力式流量控制装置的小流量控制阀，其成本可以降低，其可以通过简化结构而形成为紧凑的形状，并且其中可以高精度地进行操作。小流量调节阀由两个分别形成有流入路径（7）和流出路径（8）的阀箱（2）构成，并且在流入路径上包括阀座（9） 7）侧或流出路径（8）侧，设置在阀箱（2）中并且可沿水平方向移动的可移动体（3），设置在可移动体上的阀体（4）（3），其可与阀座（9）接触或远离，设置在阀箱（2）和可动体（3）之间的可延伸的延伸筒体（5），其允许可移动体（3）在水平方向上的运动，并且允许流入路径（7）和流出路径（8）彼此连通;以及致动器（6），其设置在阀箱（ 2），并且允许可移动体（3）移动。

6. 发明申请

WO2008004334A1 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法审中-公开
标题翻译：检测压力流动控制装置的限制机构下游侧阀的故障的方法
公开(公告)号：WO2008004334A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/JP2007/000630
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F3/22
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022
摘要：　従前の圧力式流量制御装置では、その機構上流量出力信号の存在でもって絞り機構下流側バルブの開動作を判定することが出来ないので不都合である。そのため、圧力式流量制御装置の作動時の流量出力信号の変動状態から絞り機構下流側バルブの開放を簡単に判定できるようにする　圧力式流量制御装置に於いて、その絞り機構下流側バルブを開放すると共に圧力式流量制御装置へ入力する流量設定値Ｑｅを変動させ、当該流量設定値Ｑｅの変動中の圧力式制御装置からの流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶを検出し、当該流量出力信号Ｑｏの変動の大きさΔＶが規定値以上の場合には、絞り機構下流側バルブの開放作動が正常であると判断し、また、前記変動の大きさΔＶが規定値以下の場合には開放作動が異常であると判断する。
摘要翻译：由于压力流量控制装置的结构，存在根据上游输出信号的存在，无法判断任何传统的压力流量控制装置的限制机构下游侧阀的打开的问题。根据本发明，当压力流量控制服务运行时，可以根据流量输出信号的变化状态来判断限制机构下游侧阀的打开。打开压力流量控制装置的下游侧阀的限制机构，输入压力流量控制装置的流量设定值Qe变化，流量输出信号Qo与压力控制装置的流量输出信号Qo的变化量ΔV 检测到值Qe变化。当流量输出信号Qo的变化量ΔV达到规定值以上时，限制机构下游侧阀的开度被判定为正常。当变化量ΔV小于规定值时，判断开度异常。

7. 发明申请

WO2008001483A1 原料の気化供給装置及びこれに用いる自動圧力調整装置审中-公开
标题翻译：材料蒸发器/供应商及其使用的自动压力调节器
公开(公告)号：WO2008001483A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/JP2007/000628
申请日：2007-06-13
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：平田薫 , 永瀬正明 , 日高敦志 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/52 , G05D16/2013 , Y10T137/7737
摘要：　ＭＯＤＶＣ法による半導体製造に使用する原料気化供給装置の構造の簡素化と小型化を図ると共に、原料のプロセスチャンバへの供給量を高精度で制御することにより、半導体の品質の安定化と品質の向上を図る。　本発明の原料の気化供給装置は、原料を貯留したソースタンクと、キャリアガス供給源から一定流量のキャリアガスを流量調整しつつ前記ソースタンクの原料中へ供給する流量制御装置と、ソースタンクの上部空間に溜まった原料の蒸気Ｇ 4 とキャリアガスＧ 1 との混合ガスＧｏを導出する１次配管路と、前記１次配管路の混合ガスＧｏの圧力及び温度の検出値に基づいて１次配管路の末端に介設したコントロールバルブの開度を調整し、混合ガスＧｏの流通する通路断面積を調整することによりソースタンク内の混合ガスＧｏの圧力を一定値に保持する自動圧力調整装置と、前記ソースタンク及び自動圧力調整装置の演算制御部を除く部分を設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンク内の内圧を所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバへ混合ガスＧｏを供給する構成とする。
摘要翻译：通过MODVC方法生产半导体的材料的蒸发器/供应商的结构简化，小型化，通过以高精度控制处理室的材料供应量，半导体的质量得到稳定和提高。蒸发器/材料供应商包括储存材料的源罐，流量控制器，用于在恒定流量下将载气从载气供应源供应到源罐中的材料，同时调节其流量;主管线用于引导收集在源罐的上部空间和载气（G > 1 ），一个自动压力调节器，用于通过调节布置在该罐中的控制阀的开度将源箱中的混合气体（G O）的压力保持在固定值基于主管线中的混合气体（G O）的压力和温度的检测值，并调节混合气体的流动通道的横截面积（G＆lt; O＆gt;）和用于加热源罐的恒温加热部分和自动压力恢复部分模拟器除了操作控制部分到设定温度之外，其中在将源罐的内部压力控制到所需压力的同时将混合气体（G O）向供给到处理室。

8. 发明申请

WO2011101934A1 混合ガス供給装置审中-公开
标题翻译：混合气供应装置
公开(公告)号：WO2011101934A1
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/JP2010/006261
申请日：2010-10-22
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC分类号： B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
摘要：　半導体製造装置用の混合ガス供給装置において、プロセスガス供給ラインへの他のガス種の逆拡散を防止して、混合ガス供給装置のマニホールド及びプロセスチャンバのガス置換の高速化を図る。　本発明は、流量制御装置と出口側切換弁ＶＯとから成る複数のガス供給ラインを並列状に配設し、各出口側切換弁ＶＯのガス出口をマニホールド１へ連絡すると共に、マニホールド１の混合ガス出口に近い位置のガス供給ラインを小流量用ガスの供給用にした混合ガス供給装置に於いて、流量制御装置の出口側と出口側切換弁ＶＯの入口側とを前記流量制御装置の出口側連結金具２２及びガス通路１９ａを有する取付台１９を介して気密に連結し、前記出口側連結金具２２の流路２４の一部及び又は前記出口側切換弁ＶＯとマニホールド１の混合ガス流通孔２０とを連通する流路２５に小孔部２６を設け、出口側切換弁ＶＯの上流側又は流量制御装置の上流側への他のガスの逆拡散の防止とマニホールド１の混合ガス出口２に連結したプロセスチャンバ６の高速ガス置換を可能とする。
摘要翻译：公开了一种用于半导体制造装置的混合气体供应装置，其防止其它气体类型朝向处理气体供应管线解扩，并且有助于加速混合气体供应装置的歧管和处理室。在混合气体供给装置中，包括流量控制装置和出口侧切换阀（VO）的多个气体供给管路并联配置，将各出口侧切换阀（VO）的气体出口到歧管（1），并且在歧管（1）的混合气体出口附近的位置处的气体供应管线被制成以供应低流量气体。流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的进气侧通过安装件（19）以气密方式连接，还包括流量控制装置出口侧连接配件（22）和气路（19a）。在出口侧连接配件（22）和/或与出口侧切换阀（VO）和混合气体连通的流路（25）中的一些流路（24）中设置小孔部分（26）流过歧管（1）的孔（20）。可以防止其他气体向出口侧切换阀（VO）或流量控制装置的上游侧的扩展，并且迅速地将气体替换为连接到混合气体出口的处理室（6）（1）的（2）。

9. 发明申请

WO2009141947A1 圧力式流量制御装置を用いた流体の非連続式流量切替制御方法审中-公开
标题翻译：使用压力型流量控制器的流体不连续切换流量控制方法
公开(公告)号：WO2009141947A1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/JP2009/001069
申请日：2009-03-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01F7/00 , G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
摘要：本発明は、圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路を少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、第１の流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記第１の流量域の流体を流通させ、また第２の流量域の流体の流量制御には少なくとも他方のオリフィスへ前記第２の流量域の流体を流通させるようにした流量レンジ可変型圧力式流量制御装置を用いた流体の流量制御方法に於いて、前記小流量の第１の流量域の流体の最大制御流量が、前記大流量の第２の流量域の最大制御流量の１０％より小さくなるように前記各オリフィスの流量特性を選定し、所定の流量制御誤差内で流量制御が可能な第１の流量域における最小流量を引き下げる。
摘要翻译：一种使用可变流量范围压力型流量控制器的流体流量控制方法，其构成为使得两个或更多个流体通道平行布置在压力型流量控制器中的控制阀的下游侧和用于液体供给的导管之间，在平行布置的相应流体通道中设置不同的流动特性，第一流动区域中的流体被传导到一个孔，用于在第一流动区域中流体的流动控制，并且第二流动区域中的流体至少传导到另一个孔用于对第二流动区域中的流体进行流量控制，其中每个孔口的流动特性被选择为使得小流量的第一流动区域中的流体的最大控制流量变得小于流体的最大控制流量的10％大流量的第二流动区域和能够在预定的流量控制误差内进行流量控制的第一流动区域中的最小流量为低红。

10. 发明申请

WO2009130835A1 流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用駆動回路审中-公开
标题翻译：压力型流量控制装置的压力控制阀驱动电路流量自动诊断功能
公开(公告)号：WO2009130835A1
公开(公告)日：2009-10-29
申请号：PCT/JP2009/000647
申请日：2009-02-18
申请人：株式会社フジキン , 杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薫 , 中谷貴紀
发明人：杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薫 , 中谷貴紀
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7762
摘要：　流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路（５）において、制御部の駆動回路と並列に、制御弁を高速閉止させるための閉止回路（８）を設け、流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、流量自己診断時に高精度な診断結果が得られるようにする。
摘要翻译：在具有流量自诊断功能的压力型流量控制装置的压力控制阀压电元件驱动电路（5）中，与高速关闭控制阀的闭合回路（8）并列设置控制器的驱动电路，用于减少流量自诊断中的阀关闭时间延迟。因此，可以在流量自我诊断中获得高精度的诊断结果。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式