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1. 发明申请

WO2006121068A1 巻取式プラズマＣＶＤ装置审中-公开
标题翻译：绕线等离子体CVD装置
公开(公告)号：WO2006121068A1
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：PCT/JP2006/309387
申请日：2006-05-10
申请人：株式会社アルバック , 廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤 , 菊池正志 , 小形英之 , 川村裕明 , 斎藤一也 , 佐藤昌敏
发明人：廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤 , 菊池正志 , 小形英之 , 川村裕明 , 斎藤一也 , 佐藤昌敏
IPC分类号： C23C16/505 , C23C16/44 , H01L21/205
CPC分类号： H01J37/3277 , B08B7/00 , C23C16/4405 , C23C16/46 , C23C16/5096 , C23C16/545 , H01J37/32009
摘要：　フィルムの成膜領域に反応ガスを均一に供給して膜質の均質化を図ることができ、フィルム成膜途中で成膜部のセルフクリーニングをも実行可能な巻取式プラズマＣＶＤ装置を提供する。　フィルムの走行方向に関して成膜部(２５)の上流側および下流側に配置した一対の可動ローラ(３３，３４)間でフィルム(２２)を支持し、フィルム(２２)を成膜位置においてほぼ直線的に走行させる。これによりシャワープレート(３７)とフィルム(２２)間の対向距離を一定に保持して膜質の均質化を図る。フィルム(２２)は、その裏面側で同時走行する金属ベルト(４０)により加熱される。可動ローラ(３３，３４)は成膜位置からセルフクリーニング位置へ上昇可能に構成し、フィルム(２２)をシャワープレート(３７)から遠ざけられるようにする。そして、マスク(５１)の開口部をシャッタ(６５)で塞ぎ、クリーニングガスの漏出を防いで成膜中のセルフクリーニングを実行可能とする。
摘要翻译：可以在膜沉积期间进行等离子体等离子体CVD装置，其中可以通过将膜反应气体均匀地供应到成膜区域并且膜沉积部分的自清洁来使膜质量均匀。膜（22）被支撑在相对于膜的移动方向布置在成膜部分（25）的上游侧和下游侧的一对可动辊（33,34）之间，然后将膜（22））在成膜位置基本线性地移动。因此，喷淋板（37）和膜（22）之间的距离保持恒定，并且使膜质量均匀。薄膜（22）通过金属带（40）加热，金属带同时在薄膜的背面移动。可移动辊（33,34）可以从成膜位置上升到自清洁位置，并且膜（22）可以与喷淋板（37）分离。通过用挡板（65）封闭掩模（51）的开口，从而防止清洗气体的泄漏，可以在膜沉积期间进行自清洁。

2. 发明申请

WO2008065909A1 巻取式真空成膜方法および巻取式真空成膜装置审中-公开
标题翻译：卷绕真空膜成型工艺和设备
公开(公告)号：WO2008065909A1
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：PCT/JP2007/072250
申请日：2007-11-16
申请人：株式会社アルバック , 廣野貴啓 , 野村常仁 , 多田勲 , 中塚篤
发明人：廣野貴啓 , 野村常仁 , 多田勲 , 中塚篤
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/564 , C23C14/562
摘要：【課題】クリーニングユニットによるキャンローラのクリーニング機能を効果的に維持して品質の高い成膜処理を行うこと。【解決手段】本発明においては、ベースフィルム１２へ成膜する前に、クリーニングユニット３０を冷却用のキャンローラ１４に接触させてキャンローラ１４を非冷却状態で回転させながらクリーニングすることで、クリーニングユニット３０の過冷却を防止して、除去したダストの離脱を阻止し、クリーニングユニット３０によるキャンローラ１４の除塵処理を効率良く行うことが可能となる。また、クリーニング完了後は、クリーニングユニット３０とキャンローラ１４との接触状態を解除することで、成膜時におけるキャンローラ１４の冷却操作によってクリーニングユニット３０が冷却されることを防止して、キャンローラ１４の周面から除去したダストを離脱させることなく保持することができる。　
摘要翻译： [问题]通过清洁单元有效地保持罐辊的清洁功能，进行高质量的成膜处理。 [解决问题的手段]在形成基膜（12）之前，将清洁单元（30）与罐辊（14）接触以进行冷却，并且在非冷却状态下旋转罐辊（14）。因此，可以实现防止清洁单元（30）的过冷，防止除去的灰尘的分离，以及通过清洁单元（30）有效地执行罐辊（14）的除尘处理。此外，在完成清洁之后，通过消除清洁单元（30）和罐辊（14）之间的接触状态，可以防止清洁单元（30）的冷却操作罐辊（14）成膜并保持从罐辊（14）的圆周表面除去的灰尘而不分离。

3. 发明申请

WO2005049883A1 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置审中-公开
标题翻译：提取真空沉积方法和真空真空沉积装置
公开(公告)号：WO2005049883A1
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：PCT/JP2004/016839
申请日：2004-11-12
申请人：株式会社アルバック , 林信博 , 廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤
发明人：林信博 , 廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/022 , G11B5/85
摘要：本発明は、プラスチック単層フィルムでなるベースフィルムに熱変形を生じさせることなく金属膜を成膜することができる生産性に優れた巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置を提供することを課題とし、その解決方法として、金属膜の蒸着前において原料フィルム（１２）に電子ビームを照射する電子ビーム照射器（２１）を配置すると共に、成膜後の原料フィルム（１２）をガイドする補助ローラ（１８）とキャンローラ（１４）との間にバイアス電圧を印加する直流バイアス電源（２２）を設けることにより、金属膜の蒸着前は電子ビームの照射により帯電させた原料フィルム（１２）をキャンローラ（１４）に密着させ、金属膜の蒸着後は補助ローラ（１８）に電気的に接続される金属膜とキャンローラ（１４）との間に印加したバイアス電圧によって原料フィルム（１２）をキャンローラ（１４）へ密着させる。
摘要翻译：一种优良的生产率吸收真空沉积方法和用于在基底膜上形成金属膜的设备，该基膜包含塑料单层膜而不引起热变形。一种用于在金属膜真空沉积之前将电子束施加到材料膜（12）上的电子束施加器（21），以及用于在辅助辊（18）用于用沉积的金属膜和罐辊（14）引导材料膜（12）。通过施加电子束充电的材料膜（12）在真空沉积金属膜之前与罐辊（14）紧密接触。在真空沉积金属膜之后，通过施加在罐辊（14）和电连接到辅助辊（14）的金属膜之间的偏置电压，使膜（12）与罐辊（14）紧密接触辊（18）。

4. 发明申请

WO2008139834A1 フィルム搬送装置および巻取式真空成膜方法审中-公开
标题翻译：薄膜输送装置和卷绕型真空成膜方法
公开(公告)号：WO2008139834A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/JP2008/057600
申请日：2008-04-18
申请人：株式会社アルバック , 廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤
发明人：廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/562 , B65H27/00 , B65H2701/1315
摘要：【課題】ベースフィルムの成膜領域を保護でき、かつ安定したフィルム走行性を実現する。【解決手段】本発明に係る巻取式真空成膜装置１０は、ベースフィルムＦの両側縁部を支持する一対の環状のガイド部１７ｂを有するガイドローラ１７Ａと、ガイドローラ１７Ａに対向して配置されベースフィルムＦの両側縁部を一対のガイド部１７ｂに向けて押圧する補助ローラ１８とを含むガイドユニット２０を有する。これにより、ベースフィルムＦの成膜領域Ｆｃとガイドユニット２０のガイドローラ１７Ａおよび補助ローラ１８の各々のロール面との接触を回避でき、当該成膜領域Ｆｃの保護を図ることができる。
摘要翻译： [问题]为了保护基膜的成膜区域，实现膜的稳定的运行性能。这种绕线式真空成膜装置（10）包括导向单元（20），该引导单元（20）包括具有一对环形引导部分（17b）的引导辊（17A），用于支撑基底膜（F）和与引导辊（17A）相对设置的辅助辊（18），并将基膜（F）的两侧边压在一对引导部分（17b）上。通过这样的结构，可以避免基膜（F）的成膜区域（Fc）与引导单元（20）中的引导辊（17A）和辅助辊（18）的各个辊表面接触，，从而可以保护成膜区域（Fc）。

5. 发明申请

WO2007148539A1 巻取式真空蒸着装置审中-公开
标题翻译：提取型真空蒸发沉积装置
公开(公告)号：WO2007148539A1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/JP2007/061509
申请日：2007-06-07
申请人：株式会社アルバック , 林信博 , 廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤 , 小松研二
发明人：林信博 , 廣野貴啓 , 多田勲 , 中塚篤 , 小松研二
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/02 , C23C14/5826
摘要：　生産性を低下させることなく、フィルム上への熱負け領域の発生を抑えることができる巻取式真空蒸着装置を提供する。　本発明に係る巻取式真空蒸着装置（１０）は、巻出しローラ（１３）と、巻出しローラ（１３）から繰り出されたフィルム（１２）を巻き取る巻取りローラ（１５）と、巻出しローラ（１３）と巻取りローラ（１５）との間に配置されフィルム（１２）と密着して当該フィルムを冷却する冷却用ローラ（１４）と、冷却用ローラ（１４）に対向配置されフィルム（１２）に蒸着材料を蒸着させる蒸発源（１６）と、巻出しローラ（１３）と蒸発源（１６）との間に配置され、走行するフィルム（１２）に電子ビームを照射する電子ビーム照射器（２１）とを備え、電子ビーム照射器（２１）は、通電加熱によって電子を放出するフィラメント（３１）と、このフィラメント（３１）へ直流電流を供給する直流発生手段とを有する。
摘要翻译：可以抑制膜的热影响区域的发生而不损害生产率的卷取式真空蒸镀装置。卷取式真空蒸镀装置（10）具有分离辊（13），卷取辊（15），用于卷取从送出辊（13）中支付的膜（12），冷却辊（14）设置在支承辊（13）和卷取辊（15）之间并通过与其紧密接触来冷却膜（12），与冷却辊（14）相对设置的蒸发源（16）并且沉积蒸发材料在薄膜（12）上的电子束照射器（21）和放电辊（13）和蒸发源（16）之间的电子束照射器（21），并用电子束照射行进薄膜（12）。电子束照射器（21）具有用于当通过导电加热时发射电子的灯丝（31），还具有用于向灯丝（31）供给直流电流的直流产生装置。

6. 发明申请

WO2008075710A1 永久磁石及び永久磁石の製造方法审中-公开
标题翻译：永磁体和永磁体的制造方法
公开(公告)号：WO2008075710A1
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：PCT/JP2007/074405
申请日：2007-12-19
申请人：株式会社アルバック , 永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉泉良 , 新垣良憲
发明人：永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉泉良 , 新垣良憲
IPC分类号： H01F41/02 , B22F3/00 , B22F3/02 , B22F3/24 , C01B35/04 , H01F1/053 , H01F1/08
CPC分类号： C22C33/0242 , B22F2998/00 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , C22C2202/02 , H01F41/0273 , H01F41/0293 , C22C33/0278 , B22F3/12 , B22F2201/40 , B22F2201/10 , B22F2201/20
摘要：極めて高い保磁力を有し、高磁気特性の永久磁石を高い生産性で作製できる永久磁石の製造方法を提供する鉄－ホウ素－希土類系の焼結磁石の表面の少なくとも一部に、Ｄｙ、Ｔｂの少なくとも一方を付着させる第一工程と、所定温度下で熱処理を施して焼結磁石の表面に付着したＤｙ、Ｔｂの少なくとも一方を焼結磁石の結晶粒界相に拡散させる第二工程とを実施する。焼結磁石として、主相合金（主としてＲ２Ｔ１４Ｂ相から構成され、Ｒが、Ｎｄを主とする少なくとも１種の希土類元素、Ｔが、Ｆｅを主とする遷移金属合金）と、液相合金（Ｒ２Ｔ１４Ｂ相よりもＲの含有率が高く、主としてＲリッチ相から構成される）との各粉末を、所定の混合割合で混合し、得られた混合粉末を磁場中で加圧成形し、この成形体を真空または不活性ガス雰囲気中で焼結してなるものを用いる。　　　
摘要翻译：公开了一种制造具有高矫顽磁力和高磁特性并具有高生产率的永久磁铁的方法。具体而言，进行将Dy和Tb中的至少一种与铁 - 硼 - 稀土类烧结磁体的至少一部分表面粘合的第一工序，以及分散Dy和Tb中的至少一种附着的第二工序通过在一定温度下进行热处理，将烧结磁体的表面形成为烧结磁体的晶界相。通过混合主相合金（主要由R 2 -T 14 B相组成的）粉末获得的磁体，其中R表示至少一种主要由的Nd，T表示主要由Fe构成的过渡金属合金）和液相合金粉末（R含量高于R 2 T 14， B相，主要由富R相组成），在一定的混合比例下，将如此得到的混合粉末在磁场中进行压制成型，然后在真空或惰性气体气氛中烧结成型体，使用烧结磁体。

7. 发明申请

WO2008075709A1 永久磁石及び永久磁石の製造方法审中-公开
标题翻译：永磁体及其制造方法
公开(公告)号：WO2008075709A1
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：PCT/JP2007/074404
申请日：2007-12-19
申请人：株式会社アルバック , 永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉泉良 , 新垣良憲
发明人：永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉泉良 , 新垣良憲
IPC分类号： H01F41/02 , C01B35/04 , H01F1/053 , H01F1/08
CPC分类号： H01F1/0577 , H01F41/0293
摘要：　所定形状鉄－ホウ素－希土類系の焼結磁石の表面にＤｙ、Ｔｂを付着させ、その結晶粒界相に拡散させてなる永久磁石を、高い生産性でかつ低コストで製造できるようにする。　処理室内に鉄－ホウ素－希土類系の焼結磁石を配置して所定温度に加熱すると共に、同一または他の処理室内に配置したＤｙ及びＴｂの少なくとも一方を含有するフッ化物からなる蒸発材料Ｖを蒸発させ、この蒸発した蒸発材料を焼結磁石表面に付着させ、この付着した蒸発材料のＤｙ、Ｔｂの金属原子を、焼結磁石表面に蒸発材料からなる薄膜が形成される前に焼結磁石の結晶粒界相に拡散させる。　　　　
摘要翻译：公开了一种以低成本生产高生产率的永久磁铁的方法。在这种方法中，Dy和/或Tb附着在特定形状的铁 - 硼 - 稀土烧结磁体的表面上并分散在烧结磁体的晶界相中。具体地说，将铁 - 硼 - 稀土烧结磁体放置在处理室中并加热到一定温度，同时蒸发放置在相同或不同的处理室中并由含有至少一个的Dy和Tb。蒸发的蒸发材料粘附到烧结磁体的表面，并且在蒸发材料的薄膜形成之前，附着的蒸发材料中的Dy和/或Tb的金属原子分散在烧结磁体的晶界相中在烧结磁体的表面上。

8. 发明申请

WO2008032668A1 真空蒸気処理装置审中-公开
标题翻译：真空蒸发处理设备
公开(公告)号：WO2008032668A1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：PCT/JP2007/067573
申请日：2007-09-10
申请人：株式会社アルバック , 永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉良良 , 新垣良憲
发明人：永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉良良 , 新垣良憲
IPC分类号： C23C14/24 , H01F1/053 , H01F1/08 , H01F41/02
CPC分类号： C23C14/24 , H01F41/0293
摘要：　処理室に金属蒸発雰囲気を形成し、この金属蒸気雰囲気中の金属を被処理物の表面に付着させ、それに加えて、被処理物表面に付着した金属原子をその結晶粒界内に拡散させる処理を実施することに適した真空蒸気処理装置を提供する。　処理炉１１と、この処理炉内に配置された少なくとも１個の処理箱４と、この処理箱の周囲を囲うように処理炉内に設けた加熱手段２とを備える。処理箱内に被処理物Ｓと金属蒸発材料Ｖとを配置した状態でこの処理箱を処理炉に収納した後、処理炉及び処理箱を所定圧力まで減圧して保持する真空排気手段を設け、減圧下で加熱手段を作動させて被処理物を所定温度まで昇温させつつ金属蒸発材料を蒸発させ、この蒸発した金属原子を被処理物表面に供給される。
摘要翻译：提供一种适用于在处理室中形成金属蒸发气氛的真空蒸发处理设备，将金属蒸镀气氛中的金属附着到加工对象物的表面，另外，进行使附着的金属原子扩散的工序将加工对象的表面加工成加工对象的晶粒边界。真空蒸发处理设备包括处理炉（11），设置在处理炉中的至少一个处理箱（4）和设置在处理炉内部以包围处理箱周边的加热装置（2）。真空蒸发处理设备还设置有真空排气装置，其将处理炉和处理箱减压至预定压力并将其维护在具有加工对象（S）和金属蒸发材料（V）的处理箱两者之后设置在内部被容纳在处理炉中。当加热装置在减压下操作以将加工对象的温度升高到预定温度时，蒸发金属蒸发材料并将蒸发的金属原子供应到加工对象的表面。

9. 发明申请

WO2008044489A1 巻取式真空成膜装置审中-公开
标题翻译：采购型真空包装机
公开(公告)号：WO2008044489A1
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/JP2007/068929
申请日：2007-09-28
申请人：株式会社アルバック , 林信博 , 藤井智晴 , 多田勲 , 中塚篤
发明人：林信博 , 藤井智晴 , 多田勲 , 中塚篤
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/04
CPC分类号： C23C14/042 , B05C1/0834 , B41F31/002 , B41F31/15 , C23C14/562
摘要：　オイルの凝縮付着効率の低下および印刷ローラに対するオイルの転写効率の低下を抑制しつつ、オイル凝縮ローラの構成の簡素化と組立て作業性の向上を図る。　本発明に係る巻取式真空成膜装置におけるマスク形成ユニット（２０）は、マスクパターン（２５）を形成するオイルを外周に保持するオイル凝縮ローラ（３１）と、フィルム（１２）の成膜面にオイルをマスクパターン（２５）として転写する印刷ローラ（３３）と、オイル凝縮ローラ（３１）と印刷ローラ（３３）との間に配置されオイル凝縮ローラ（３１）から印刷ローラ（３３）へオイルを転写する転写ローラ（３２）とを有するとともに、オイル凝縮ローラ（３１）を冷却する冷却機構と、転写ローラをオイル凝縮ローラ（３１），印刷ローラ（３３）に対して軸方向に周期的に揺動させる揺動機構を備えている。
摘要翻译：旨在简化油冷凝辊的组装和改进组装，同时抑制油的冷凝附着效率的降低和油对印刷辊的转印效率。提供一种卷取式真空成膜装置，其包括掩模形成单元（20），该掩模形成单元（20）包括用于在其外圆周上保持该油以形成掩模图案（25）的油冷凝辊（31），印刷辊（33）用于将作为掩模图案（25）的油转印到膜（12）的成膜面上;以及转印辊（32），布置在聚光辊（31）和印刷辊（33）之间，用于将油从线圈冷凝辊（31）到印刷辊（33）。进一步包括用于冷凝油冷凝辊（31）的冷却机构和用于相对于油冷凝辊（31）和印刷辊（33）在轴向上周期性地摆动转印辊的摇摆机构。

10. 发明申请

WO2008075711A1 永久磁石及び永久磁石の製造方法审中-公开
标题翻译：永磁体及其制造方法
公开(公告)号：WO2008075711A1
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：PCT/JP2007/074406
申请日：2007-12-19
申请人：株式会社アルバック , 永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉泉良 , 新垣良憲
发明人：永田浩 , 中村久三 , 加藤丈夫 , 中塚篤 , 向江一郎 , 伊藤正美 , 吉泉良 , 新垣良憲
IPC分类号： H01F41/02 , C01B35/04 , H01F1/053 , H01F1/08
CPC分类号： H01F41/026 , H01F1/0577 , H01F7/02 , H01F41/0293
摘要：焼結磁石Ｓ表面にＤｙやＴｂを付着させるのに先立ってこの焼結磁石表面をクリーニングする前工程をなくし、焼結磁石の結晶粒界相にＤｙやＴｂの拡散させてなる永久磁石の生産性を向上させる。処理室２０内に鉄－ホウ素－希土類系の焼結磁石Ｓを配置して所定温度に加熱すると共に、同一または他の処理室内に配置したＤｙ及びＴｂの少なくとも一方を含有する水素化物からなる蒸発材料Ｖを蒸発させ、この蒸発した蒸発材料を焼結磁石表面に付着させ、この付着した蒸発材料のＤｙ、Ｔｂの金属原子を焼結磁石の結晶粒界相に拡散させる。　　　
摘要翻译：公开了一种用于制造分散在烧结磁体S的晶界相中的Dy或Tb的永磁体的方法。该方法不包括在将Dy或Tb粘附到表面之前清洁烧结磁体的表面的预备步骤的烧结磁体，从而提高了生产率。具体地说，将铁 - 硼 - 稀土类烧结磁体S放置在处理室（20）中并加热到一定温度，同时蒸发放置在相同或不同处理室中并由氢化物含有Dy和Tb中的至少一种。蒸发的蒸发材料粘附到烧结磁体的表面，并且附着的蒸发材料中的Dy和/或Tb的金属原子分散在烧结磁体的晶界相中。

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