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1. 发明申请

WO2003067636A1 表面処理装置及び表面処理方法审中-公开
标题翻译：表面处理器件和表面处理方法
公开(公告)号：WO2003067636A1
公开(公告)日：2003-08-14
申请号：PCT/JP2003/000457
申请日：2003-01-21
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 永関一也 , 大西正 , 村上幸一 , 林大輔 , 上郡明子 , 本多稔
发明人：永関一也 , 大西正 , 村上幸一 , 林大輔 , 上郡明子 , 本多稔
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67161 , G03F7/40 , H01J2237/31 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H01L21/68742 , H01L21/68785
摘要： Installed in a vacuum chamber (1) is a table (2) for supporting semiconductor wafer (W), which is a treatment subject substrate, with an electron beam irradiation mechanism (6) mounted on the ceiling of the vacuum chamber (1) for generating electron beams (EB). The table (2) is adapted to be vertically moved by a lifting/lowering device (3), allowing the distance between the electron beam irradiating mechanism (6) and the semiconductor wafer (W) to be set at a desired value. This makes it possible to effect a uniform satisfactory treatment over the entire surface of the treatment subject substrate.
摘要翻译：安装在真空室（1）中的是用于支撑作为处理对象衬底的半导体晶片（W）的工作台（2），其中安装有真空室（1）的顶板上的电子束照射机构（6）产生电子束（EB）。工作台（2）适于通过提升/降低装置（3）垂直移动，允许将电子束照射机构（6）和半导体晶片（W）之间的距离设定为期望值。这使得可以对处理对象基板的整个表面实现均匀令人满意的处理。

2. 发明申请

WO2006062185A1 軸流ファンの製造方法及び軸流ファン审中-公开
标题翻译：制造轴流风扇和轴流风扇的方法
公开(公告)号：WO2006062185A1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：PCT/JP2005/022621
申请日：2005-12-09
申请人：ダイキン工業株式会社 , 高岡成幸 , 大西正 , 山本治郎 , 杣原浩二
发明人：高岡成幸 , 大西正 , 山本治郎 , 杣原浩二
IPC分类号： F04D29/34 , F04D29/32 , F04D29/64
CPC分类号： F04D29/34 , F04D29/329
摘要：　軸受部１３を備えたハブ１を樹脂一体成形するハブ成形金型と、羽根を１枚毎樹脂一体成形する羽根成形金型とを使用する軸流ファンの製造方法であって、第１の製造方法は、羽根成形金型にハブ１をインサートし、このハブ１に対し羽根ピッチ分の角度回転さながら羽根を１枚ごとインサート樹脂成形する。また、第２の方法は、１枚毎樹脂成形した羽根２をハブ１に接着して取り付ける。
摘要翻译：一种轴流式风扇的制造方法，其使用轮毂形成用模具来一体化树脂成形具有轴承部（13）的轮毂（1），并且还使用用于将叶片一体地树脂成形为叶片的刀片形成模具 - 刀片基础。在第一种制造方法中，将轮毂（1）插入刀片形成用模具中，并将刀片以相对于刀片间距的角度相对于轮毂（1）一边一个接一个地树脂成型。在第二种方法中，一个接一个地树脂模制的叶片（2）被粘附在轮毂（1）上。

3. 发明申请

WO2006062100A1 軸流ファン审中-公开
标题翻译：轴流风扇
公开(公告)号：WO2006062100A1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：PCT/JP2005/022376
申请日：2005-12-06
申请人：ダイキン工業株式会社 , 高岡成幸 , 大西正 , 山本治郎 , 杣原浩二
发明人：高岡成幸 , 大西正 , 山本治郎 , 杣原浩二
IPC分类号： F04D29/32 , F04D29/64
CPC分类号： F04D29/329 , F04D29/646
摘要：　樹脂材料によって一体成形されたハブ１は軸受部１３を備えている。樹脂材料によって一体成形された羽根体２は、円筒状基部２２と複数の羽根２１とを備えている。軸流ファンはハブ１を羽根体２の筒状基部２２内に嵌入して一体に結合したものである。従って、外力が作用する結合部として、ハブ１の外周側面全体を利用することができるので、ハブ１と羽根体２との結合力を大きくすることができる。
摘要翻译：由树脂材料整体模制的轮毂（1）具有轴承部分（13）。由树脂材料整体模制的叶片体（2）具有圆形的中空圆筒状基部（22）和叶片（21）。轴流风扇通过将轮毂（1）装配到叶片体（2）的基部（22）中而构成，以将其一体地连接。由于毂（1）的整个外周侧表面可以用作外力作用的接合部分，所以可以增加轮毂（1）和叶片体（2）之间的接合力。

4. 发明申请

WO2007040073A1 遠心ファン及びこれを用いた空気調和機审中-公开
标题翻译：使用相同的离心风机和空调
公开(公告)号：WO2007040073A1
公开(公告)日：2007-04-12
申请号：PCT/JP2006/318932
申请日：2006-09-25
申请人：ダイキン工業株式会社 , 鄭志明 , 大西正
发明人：鄭志明 , 大西正
IPC分类号： F04D29/28 , F24F1/00
CPC分类号： F24F1/0007 , F04D29/162 , F04D29/281 , F04D29/4213 , F04D29/667 , F24F1/0022 , F24F2001/0037 , F24F2001/0048
摘要：　ファン吹出口における羽根の高さ方向の風速分布が均一化されて運転音が低減された遠心ファン、及びこの遠心ファンが適用されて運転音が低減された空気調和機が提供される。遠心ファンは、モータの回転軸を固定するハブ、ハブの外周に形成された主板、主板に対向して配置されて気体流路を形成するシュラウド、主板とシュラウドとの間に配置された複数枚の羽根、及びシュラウドの吸入側に配置されたベルマウスを備えている。シュラウドのベルマウスに対する表面には、ファンの運転時に前記表面に沿ってシュラウドの中心から外周に向かう空気流を形成する突部又は凹部が形成されている。空気調和機は、このように構成された遠心ファンを搭載している。
摘要翻译：本发明提供一种离心式风扇，风扇吹出口的叶片高度方向的气流分布均匀化，降低了运转噪音，而使用离心式风扇降低运转噪音的空调装置。离心风扇具有用于固定电动机的旋转轴的毂，形成在轮毂的外周的主板，面向主板的主体板，形成气流路径，设置在主板和护罩之间的叶片，和一个喇叭口放置在护罩的吸力侧。在护罩的面向喇叭口的表面中形成有脊或凹部，并且在风扇操作中，脊部或凹部沿着护罩的中心朝向外周的表面形成气流。空调具有如上构造的离心式风扇。

5. 发明申请

WO2006035933A1 送風機の羽根車およびそれを備えた空気調和機审中-公开
标题翻译：用于具有该喷雾器和空调的叶轮
公开(公告)号：WO2006035933A1
公开(公告)日：2006-04-06
申请号：PCT/JP2005/018129
申请日：2005-09-30
申请人：ダイキン工業株式会社 , 寺岡弘宣 , 松下裕彦 , 大西正 , 田中英志 , 吉永浩三
发明人：寺岡弘宣 , 松下裕彦 , 大西正 , 田中英志 , 吉永浩三
IPC分类号： F04D17/04 , F04D29/30 , F04D29/66 , F24F1/00
CPC分类号： F24F13/24 , F04D29/283 , F04D29/30 , F04D29/663 , F04D29/666 , F04D29/667 , F24F1/0007 , F24F1/0018 , F24F2001/0048
摘要：　羽根１５と、該羽根１５の側縁に所定の間隔をおいて設けられる複数の切欠１７と、該各切欠１７の間に設けられる複数の平滑部１８とを備える送風機の羽根車が提供される。羽根１５の側縁から放出される大きなスケールを有する横渦が、切欠１７において形成される縦渦により、小さなスケールで組織化されて安定した横渦に細分化にされることから、空力騒音の低減が図られる。
摘要翻译：一种用于鼓风机的叶轮，包括以预定间隔形成在每个叶片（15）的侧边缘中的叶片（15），切口（17）和形成在相邻凹口（17）之间的多个平滑部分（18）。从叶片（15）的侧边缘排出的大规模横向涡流被形成在凹口（17）中的纵向漩涡分成较小的横向涡流，其被小型化并且被稳定化，由此空气动力学噪声减小。

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