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    • 2. 发明申请
    • 導電体およびその製造方法
    • 导体及其制造方法
    • WO2009119273A1
    • 2009-10-01
    • PCT/JP2009/054160
    • 2009-03-05
    • 旭硝子株式会社中尾 祥一郎山田 直臣一杉 太郎長谷川 哲也
    • 中尾 祥一郎山田 直臣一杉 太郎長谷川 哲也
    • H01B5/14C23C14/08H01B13/00
    • C23C14/083C23C14/5806
    •  導電性が良好であるとともに、耐熱性に優れた導電体およびその製造方法を提供する。  基板10上に、Nb、Ta、Mo、As、Sb、W、N、F、S、Se、Te、Cr、Ni、Tc、Re、P及びBiからなる群から選ばれる1又は2以上のドーパントが添加された酸化チタンからなる層(Z)が2層以上設けられており、該2層以上のうち少なくとも1層は、チタンとドーパントの原子数合計に対するドーパントの原子数の割合が0.01~4原子%である第2層(Z2)12であり、該第2層(Z2)12と基板10との間に、該第2層(Z2)よりも、前記チタンとドーパントの原子数合計に対するドーパントの原子数の割合が多い第1層(Z1)11が設けられていることを特徴とする導電体。
    • 提供具有良好导电性和优异耐热性的导体及其制造方法。 导体的特征在于在基板(10)上设置两层或更多层(Z),每层包含二氧化钛,添加至少一种选自Nb,Ta,Mo,As,Sb,W ,N,F,S,Se,Te,Cr,Ni,Tc,Re,P和Bi。 导体的特征还在于:两层或更多层中的至少一层是第二层(Z2; 12),其中掺杂剂原子数相对于钛和掺杂剂原子的总数的比例为0.01 和4原子%; 并且设置在第二层(Z2; 12)和衬底(10)之间的是第一层(Z1; 11),其中掺杂剂原子数相对于钛和掺杂剂原子的总数的比例高于 在第二层(Z2)。