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热词
    • 5. 发明申请
    • 微細構造体製造方法
    • WO2020036173A1
    • 2020-02-20
    • PCT/JP2019/031824
    • 2019-08-13
    • SCIVAX株式会社
    • 谷口豊田中覚
    • H01L21/027B29C59/02
    • 大面積のモールドとして使用できる微細構造体又は大面積のモールドを形成するための微細構造体を低価格で精度良く作製することができる微細構造体製造方法を提供することを目的とする。 凹凸パターン21からなる単位微細構造2を基材1の表面に複数隣接して配置する微細構造体製造方法において、膜厚が200nm以下の樹脂からなる膜30が形成されたスタンプ台3に凹凸パターン21を反転させた反転凹凸パターン41を有する型4を接触させて、当該型4の表面に樹脂を塗布する塗布工程と、基材1に型4を押圧し、樹脂を硬化させた後に離型して、基材1の表面に単位微細構造2を形成する単位微細構造形成工程と、を有し、塗布工程と、単位微細構造形成工程をこの順番で2回以上繰り返して、単位微細構造2同士を1μm以下の間隔で隣接して配置する。
    • 7. 发明申请
    • 機能構造体
    • 功能结构
    • WO2017126673A1
    • 2017-07-27
    • PCT/JP2017/001966
    • 2017-01-20
    • SCIVAX株式会社
    • 谷口豊縄田晃史田中覚
    • G02B1/118
    • G02B1/118
    • 所定の機能を有する機能構造の破損を防止又は抑制した機能構造体を提供する。基部10に形成された凹部11及び凸部12からなり所定の機能を有する機能構造1と、表面側からの力が機能構造1に加わるのを防止又は抑制するリブ2と、で構成される。例えば、リブ2の高さは、凸部11の高さ以上に形成すれば良い。また、機能構造1を有する面に平行な少なくとも1以上の直線方向において、リブの強度は前記凸部の強度より大きくなるようにすれば良い。
    • 提供了一种功能结构,其中防止或抑制了具有预定功能的功能结构的破损。 功能结构体1包括凹部11和形成在基部10中并具有预定功能的突起12以及用于防止或抑制从表面侧向功能结构1施加力的肋2。 例如,肋2的高度可以形成为等于或大于突起11的高度。 此外,在至少一个平行于具有功能结构1的表面的线性方向上,肋的强度可以设定为大于突起的强度。
    • 8. 发明申请
    • 光学部材およびその製造方法
    • 光学部件及其制造方法
    • WO2016035650A1
    • 2016-03-10
    • PCT/JP2015/074103
    • 2015-08-26
    • SCIVAX株式会社
    • 縄田晃史田中覚
    • G02B1/118
    • G02B1/11G02B1/118
    •  ラインアンドスペース状の反射抑制構造において、ライン方向を回転軸とした光源の入射角が変わるときでも、反射を十分に抑えることができる光学部材を提供する。光学部材としての機能を有する基部と、前記基部の表面に形成され断面が凸形状の凹凸を複数連続したラインアンドスペース状の反射抑制構造と、を有する光学部材であって、前記凸形状の底辺の中点の位置を原点、底辺をy軸、底辺に対する高さ方向をx軸、凸形状の底辺の幅をP、凸形状の高さをH、r=0.1、前記凸形状上の任意の位置を(x,y)とすると、前記凸形状は下記式(1)を満たす。
    • 提供一种光学构件,其中,在线空间形反射抑制结构中,即使当使用作为旋转轴的线方向的光源的入射角改变时,也可以适当地抑制反射。 具有用作光学构件的基底部分的光学构件,以及在空间形状的反射抑制结构中,在其表面上形成有多个具有凸形形状的凹凸形状的横截面的凹凸形状 基部,其中凸形满足等式(1),其中凸形底部的中点的位置为原点,底部为y轴,相对于底部的高度方向为x轴 ,P是凸形底部的宽度,H是凸形的高度,r = 0.1,(x,y)是凸形上的任何位置。
    • 9. 发明申请
    • ローラ式加圧装置、インプリント装置およびローラ式加圧方法
    • 辊式加压装置,印刷装置和辊式加压方法
    • WO2015186736A1
    • 2015-12-10
    • PCT/JP2015/066026
    • 2015-06-03
    • SCIVAX株式会社
    • 河口宏輔谷口豊田中覚齋藤幸正杉山正樹的野大輔
    • H01L21/027B29C59/04
    • B29C59/022B29C59/002B29C59/04B29C2059/023H01L21/027
    •  メインローラに生じる弾性変形のむらを抑制することができ、対象物を均一に加圧することができるローラ式加圧装置、インプリント装置及びローラ式加圧方法を提供する。型1と被成形物2のような対象物を加圧するためのものであって、少なくとも表面が弾性部材37aで形成され、対象物を加圧するメインローラ37と、メインローラ37を対象物に対して相対的に移動するためのローラ移動手段と、メインローラ37が対象物に加える圧力を調節する調圧部と、メインローラ37の圧力を、対象物を間に挟んで受ける受圧ステージ322と、少なくとも表面が弾性部材37aより弾性率の大きい部材で形成され、メインローラ37を支持する中間ローラ38と、メインローラ37及び中間ローラ38より軸方向の長さが短く形成され、中間ローラ38を支持するバックアップローラ39と、で構成される。
    • 提供了一种辊式加压装置,其中可以使主辊的弹性变形的不均匀性最小化并且使被检体均匀地加压; 印记装置; 和辊式加压方法。 本发明用于对诸如模具(1)和模制品(2)的对象进行加压,包括:主辊(37),用于按压对象,至少主辊(37)的表面由 弹性构件(37a); 用于使主辊(37)相对于被检体移动的滚子移动装置; 压力调节单元,用于调节由主辊(37)施加到被检体的压力; 压力接收台(322),用于从主辊(37)接收通过被检体的压力; 用于支撑主辊(37)的中间辊(38)至少由中间辊(38)的表面由弹性模量高于弹性部件(37a)的材料形成。 以及用于支撑中间辊(38)的支撑辊(39),所述支撑辊(39)的轴向长度小于主辊(37)和中间辊(38)的轴向长度。
    • 10. 发明申请
    • 加圧部用固定具を備えた流体圧インプリント装置
    • 流体压力加压装置提供加压装置工具
    • WO2013008759A1
    • 2013-01-17
    • PCT/JP2012/067386
    • 2012-07-06
    • SCIVAX株式会社河口宏輔田村裕宣田中覚
    • 河口宏輔田村裕宣田中覚
    • B29C59/02G11B5/84H01L21/027
    • B29C59/02G11B5/855
    •  転写面積が拡大しても、小型の開閉手段を用いることができるインプリント装置を提供する。型の成型パターンを被成形物に転写するためのインプリント装置であって、型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのものであって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部5と、加圧部5の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ2と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段6と、加圧部5とステージ2を相対的に移動するための開閉手段8と、加圧部5で生じる力が開閉手段8に加わるのを防止又は抑制するために、加圧部5とステージ2を固定する固定具1と、で構成する。
    • 提供即使扩大传送区域也能够使用小的开/关手段的压印装置。 压印装置用于将模具的模制图案转印到待模制对象上,即将模具(100)的模制图案转印到待模制对象(200)上,并且通过以下步骤构成:加压 单元(5)包括用于向模具(100)和待模制物体(200)施加流体压力的加压室(51); 用于支撑来自加压单元(5)的压力的模具(100)和待模制对象(200)的阶段(2); 用于调节加压室(51)中的流体压力的加压装置(6); 用于相对于彼此移动加压单元(5)和平台(2)的打开/关闭装置(8) 以及用于固定加压单元(5)和平台(2)的固定工具(1),以防止或抑制在加压单元(5)中产生的力作用在开/关装置(8)上。