专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2008093408A1 粘着チャック装置审中-公开
标题翻译：胶粘剂装置
公开(公告)号：WO2008093408A1
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：PCT/JP2007/051556
申请日：2007-01-31
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 大谷義和 , 横田道也
发明人：大谷義和 , 横田道也
IPC分类号： H01L21/683 , B65G49/06
CPC分类号： B65G49/069 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67092 , H01L21/67132
摘要：　剥離手段による剥離進行方向にはワークを容易に剥離する。　剥離手段３の作動に伴う粘着部材２に対するワークＡの剥離進行方向へ単位面積当たりの粘着力が増加するように粘着部材２を配置することにより、剥離手段３の作動に伴い粘着部材２から小さな剥離力でワークＡが剥がれ始め、その剥離がスムーズに進行し、この剥離進行方向と異なる方向へ剥がす場合には、該剥離手段３の作動による剥離力に比べて遙かに大きな力が必要となる。
摘要翻译：通过剥离手段容易地使剥离方向剥离。粘合构件（2）被布置成使得粘合构件（2）的每单位面积的粘合力相对于粘合构件（2）在相对于粘合构件（2）的剥离的方向上增加，剥离装置（3），由于与剥离装置（3）的操作相关的剥离力小，可以从粘合构件（2）剥离工件（A），剥离可以是顺利推进。当工件沿着与剥离方向不同的方向剥离时，需要通过剥离装置（3）的操作远大于剥离力的力。

2. 发明申请

WO2010095215A1 ワーク搬送装置及び真空貼り合わせ方法审中-公开
标题翻译：工作传送装置和真空接合方法
公开(公告)号：WO2010095215A1
公开(公告)日：2010-08-26
申请号：PCT/JP2009/052701
申请日：2009-02-17
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 新光エンジニアリング株式会社 , 横田道也 , 今川豊
发明人：横田道也 , 今川豊
IPC分类号： B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/68742 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , H01L21/67092 , H01L21/67748
摘要：　可撓性シートの部分褶曲のみでワーク搬送手段との板状ワークの受渡しを容易に行う。ワーク保持テーブル（５ｂ，８）に設けられる可撓性シート（２）の一部を、板状ワーク（Ａ，Ｂ）へ向け部分的に押圧する押圧手段（４）と、この押圧手段（４）で可撓性シート（２）を押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部（２ｂ）がワーク搬送手段（３）で搬送される板状ワーク（Ａ，Ｂ）に届くように作動制御する制御手段（６）を備えることにより、ワーク搬入時には、ワーク搬送手段（３）で搬入された少なくとも板状ワーク（Ｂ）に、可撓性シート（２）の部分褶曲部（２ｂ）が当接し支持されて受け取り可能となり、またワーク搬出時には、貼り合わせた両板状ワーク（Ａ，Ｂ）が、該部分褶曲部（２ｂ）でワーク搬送手段（３）のワーク搬出開始位置まで押送されて受渡し可能となる。
摘要翻译：提供了一种工件传送装置，通过该工件传送装置，仅通过部分地滑动和弯曲柔性片材就可以将板状工件容易地传送到工作传送装置和从工件传送装置传送。工件传送装置设有将布置在工件保持台（5b，8）上的柔性片（2）的朝向板状工件（A，B）的一部分按压的装置（4），以及控制装置（6），其控制操作，使得柔性片（2）被按压装置（4）按压以部分地滑动和弯曲，并且滑动弯曲部分（2b）到达板状工件（A， B）通过工作传送装置（3）传送。因此，在进行工作时，柔性片（2）的部分滑动弯曲部（2b）至少与由工件传送装置（3）承载的板状工件（B）抵接，并允许收到类似董事会的作品。在进行工作时，通过部分滑动弯曲部分（2b）将粘合板状工件（A，B）推入工件传送装置（3）的工件搬出开始位置），并允许执行板式作品。

3. 发明申请

WO2010082357A1 真空貼り合わせ装置审中-公开
标题翻译：真空接合装置
公开(公告)号：WO2010082357A1
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：PCT/JP2009/050696
申请日：2009-01-19
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田道也
发明人：横田道也
IPC分类号： G09F9/00 , G02F1/13
CPC分类号： B32B37/10 , B32B37/1009 , B32B2457/20 , G02F1/1303
摘要：　可撓性シートを一定の形状に保持しつつ膨張させる。可撓性シート（１）の背後に形成される第一空間（Ｓ１）に、該可撓性シート（１）へ向け気体を供給する気体供給手段（３）と、これら可撓性シート（１）及び気体供給手段（３）の間に該可撓性シート（１）の全面を覆うように配置される通気部材（４）とを備え、この通気部材（４）には、気体供給手段（３）からの気体を分配して通す圧力分配手段（４ａ）を設けることにより、気体供給手段（３）で通気部材（４）へ向けて供給される気体に部分的な偏りがあったとしても、この気体供給手段（３）からの気体が通気部材（４）の圧力分配手段（４ａ）を通過する間に、予め設定された比率に分配され、その通過比率に基づいた圧力が可撓性シート（１）の各箇所に作用して膨張変形する。
摘要翻译：柔性片材在保持预定形状的同时被扩张。在形成在柔性片（1）背面的第一空间（S1）中，设置用于向柔性片（1）供应气体的气体供给装置（3）和布置在柔性片（1）之间的通气构件 1）和覆盖柔性片（1）的整个表面的气体供给装置（3）。由于通风构件（4）设置有用于分配和通过来自气体供给装置（3）的气体的压力分配装置（4a），所以来自气体供应装置（3）的气体以预定比例分配，即使气体从气体供给装置（3）部分地不均匀地供应到通气部件（4），气体也通过通气部件（4）的压力分配装置（4a），并且基于这样的压力通过率作用在柔性片材（1）的每个位置上以引起柔性片材的膨胀和变形。

4. 发明申请

WO2007036996A1 基板保持構造审中-公开
标题翻译：基板保持结构
公开(公告)号：WO2007036996A1
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：PCT/JP2005/017832
申请日：2005-09-28
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田道也 , 大谷義和
发明人：横田道也 , 大谷義和
IPC分类号： G09F9/00 , G02F1/1333
CPC分类号： H01L21/6875 , G02F1/136277 , H01J2209/00 , H01L21/68757
摘要：　【課題】　弾性材料としてゴムを使用しても要求される保持面側の平面度を達成する。　【解決手段】　保持面１に複数の空隙部２を分散させて凹設し、これら空隙部２の開口を固定プレート３で夫々覆い、各固定プレート３の略中央に、上記空隙部２の開口よりも小さな弾性材料からなる面受けプレート４を基板Ｄへ向け突出するように取り付けて、これら両者を一体化し、このように分散配置された面受けプレート４を基板Ｄに夫々当接させて平坦状に面受けしながら保持することにより、弾性材料からなる面受けプレート４の厚み寸法にバラツキがあった時には、厚さ寸法の大きい面受けプレート４′が基板Ｄと当接することに伴い、その固定プレート３又は該面受けプレート４′が空隙部２へ向け弾性変形して、この弾性変形を空隙部２に逃がし、それにより厚さ寸法の大きい面受けプレート４′が空隙部２側へ沈み込んで、その他の面受けプレート４と平坦化される。　
摘要翻译： [问题]即使使用橡胶作为弹性材料，也能够实现保持面侧的平坦度。 [解决问题的手段]将凹入的气隙（2）散布在保持面（1）内，气隙（2）的开口被固定板（3）分别覆盖。在每个固定板（3）的基本上的中心处，安装由尺寸小于每个气隙（2）的弹性材料形成的表面接收板（4），朝向基板（D）突出以将固定板（3）和表面接收板（4）。由于以散射方式排列的表面接收板（4）分别制造成与基板接触以均匀地支撑基板（D）表面，如果由（...）形成的板（4）的厚度发生变化弹性材料，具有增加的厚度的表面接收板（4'）与基底（D）接触。结果，表面接收板（4'）或相关联的固定板（3）朝向气隙（2）弹性变形，以使弹性变形释放到气隙（2）中，从而将板 4'），其厚度增加下降到气隙（2）侧以与其它表面接收板（4）齐平。

5. 发明申请

WO2005098522A1 粘着チャック装置审中-公开
标题翻译：胶粘剂装置
公开(公告)号：WO2005098522A1
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/JP2005/006925
申请日：2005-04-08
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 大谷義和 , 横田道也
发明人：大谷義和 , 横田道也
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： B65G49/061 , B65G2249/045 , G02F2001/133354
摘要：　簡単な構造で基板を確実に着脱する。　保持板１の基板側に、基板Ａの裏面Ａ１と対向して粘着保持する粘着部材３と、該基板側面１ａと交差する方向へ出没変形可能な変形膜４とを設け、この変形膜４の出没変形で粘着部材３の粘着表面３ａと基板Ａを当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離すことにより、粘着部材３の粘着表面３ａから基板Ａが無理なく剥離される。
摘要翻译：通过简单的结构可靠地安装和拆除电路板。在保持板（1）的板侧，用于通过面对板的后平面（A1）粘合并保持板（A）的粘合构件（3）和可以由板设置在与板侧的平面（1a）相交叉的方向上突出和后退。粘合部件（3）和基板（A）的粘合面（3a）通过变形膜（4）的突出和后退变形而抵接并粘附，并且将板（A）从粘合表面 3a），而不用强制地分离两者。

6. 发明申请

WO2009013803A1 静電チャックの表面電位制御方法审中-公开
标题翻译：控制静电切割表面电位的方法
公开(公告)号：WO2009013803A1
公开(公告)日：2009-01-29
申请号：PCT/JP2007/064429
申请日：2007-07-23
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 株式会社巴川製紙所 , 大谷義和 , 横田道也 , 長谷川雄一 , 尾山三樹夫
发明人：大谷義和 , 横田道也 , 長谷川雄一 , 尾山三樹夫
IPC分类号： H01L21/683 , B65G49/06
CPC分类号： B65G49/061 , B65G2249/02 , H01L21/6831
摘要：　ワーク吸着面の表面電位を安全レベルまで抑制する。第一電極部（１）及び第二電極部（２）に異なる極性の電圧の組を印加して、これら両電極部（１）,（２）の面積の非対称による表面電位のアンバランスを打ち消すことにより、静電吸着力に必要な両電極（１）,（２）の電位差を確保しながらワーク吸着面（４）がそれに近い電極の電位に偏ることがない。
摘要翻译：工作吸附面的表面电位被抑制到安全水平。将相互不同极性的电压的组合施加到第一电极部分（1）和第二电极部分（2），以消除归因于这些电极部分（1,2）之间的面对不对称的任何表面电位不平衡，从而避免任何工件吸收平面（4）的偏压朝着电极的电位靠近，同时确保静电吸附力所需的这些电极部分（1,2）之间的电位差。

7. 发明申请

WO2008114405A1 表示装置の製造方法审中-公开
标题翻译：制作显示方法
公开(公告)号：WO2008114405A1
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：PCT/JP2007/055634
申请日：2007-03-20
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田道也
发明人：横田道也
IPC分类号： G02F1/1339
CPC分类号： G02F1/133351
摘要：　大気圧力によるギャップ形成時に省スペースで減圧面積を確保しながらメインシールの耐力を向上させる。　両基板１，５の貼り合わせ時は圧力調整バルブ手段７によりギャップ形成空間６が真空で減圧されるため、大気圧で両基板１，５が圧縮されてセルギャップが均一化され、それに伴って封入材４が拡散伸展し、大気圧開放の設定時間経過後に該封入材４の伸展端がメインシール２の内側面へ到達してその伸展圧力が作用する頃には、圧力調整バルブ手段７によりギャップ形成空間６の真空部に大気圧が導入されて大気圧又はそれと近い状態に切り替るため、封入材４の伸展圧力との圧力バランスがとれてメインシール２が破裂しない。
摘要翻译：当通过大气压力形成间隙时，主密封件的防护强度增加，同时在节省空间的同时确保减压区域。由于当两个基板（5,5）彼此接合时，间隙形成空间（6）通过压力调节阀装置（7）发泡，两个基板（5,5）都被大气压压缩，并且单元间隙均匀。密封材料（4）相应地扩散和延伸，并且在经过大气压力的设定时间之后，密封材料（4）的延伸端到达主密封件（2）的内表面。当密封材料的延伸压力作用在主密封件上时，通过压力调节阀装置（7）将大气压力引入到间隙形成空间（6）的真空部分中，并且真空部件中的压力改变压力等于或接近大气压力。由于真空部分的压力与密封材料（4）的延伸压力相平衡，所以主密封件（2）不会爆裂。

8. 发明申请

WO2006046379A1 粘着チャック装置审中-公开
标题翻译：胶粘剂装置
公开(公告)号：WO2006046379A1
公开(公告)日：2006-05-04
申请号：PCT/JP2005/017833
申请日：2005-09-28
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田道也 , 大谷義和 , 坂下光邦
发明人：横田道也 , 大谷義和 , 坂下光邦
IPC分类号： G09F9/00 , G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1333
摘要：　【課題】　簡単な構造の空圧機構で基板を確実に着脱する。　【解決手段】　保持板１の基板側に、この基板側面１ａに開設した開口部１ｂ内で該基板側面１ａと交差する方向へ変形可能な可動膜３と、基板Ａと対向して粘着保持する粘着部材４とを設け、上記可動膜３の一次側空間５と二次側空間Ｓの圧力差で該可動膜３を往復動させることにより、粘着部材４の粘着表面４ａと基板Ａが当接して粘着保持されると共に、これら両者が強制的に引き離されて、粘着部材４の粘着表面４ａから基板Ａが無理なく剥離される。　
摘要翻译： [问题]通过具有简单结构的气动机构可靠地安装和移除板。解决问题的手段在保持板（1）的基板侧，在与设置在保持板（1）上的开口部（1b）中的与板侧面（1a）相交的方向上可变形的可动膜（3）板侧平面（1a）和用于通过面对板来粘合保持板（A）的粘合构件（4）。通过使可动膜（3）与可动膜（3）的一次侧空间（5）和二次侧空间（S）之间的压力差往复运动，粘合构件（4）的粘合面（4a）为允许与板（A）抵接以通过粘合来固定板，粘合表面和板被强制分离，并且板（A）从粘合构件（4）的粘合表面（4a）平滑地剥离。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式