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2. 发明申请

WO2016060429A1 화학기상장치용 반응챔버 审中-公开
标题翻译：化学蒸气装置的反应室
公开(公告)号：WO2016060429A1
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：PCT/KR2015/010757
申请日：2015-10-13
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 변철수 , 한만철
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/4401 , C23C16/45519 , C23C16/45589 , C23C16/458 , C23C16/46
摘要： 화학기상장치용 반응챔버가 제공된다. 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 화학기상장치용 반응챔버는 내부공간을 갖는 하우징; 상기 내부공간에 배치되고 상부면에 기판이 로딩되는 서셉터; 상기 서셉터의 상부측에 위치하도록 상기 내부공간에 배치되고 공정가스를 상기 기판 측으로 분사하는 샤워헤드; 상,하부가 개방되고 소정의 높이를 갖는 중공형으로 구비되며, 상부테두리가 상기 샤워헤드의 둘레부에 위치하여 상기 기판 및 서셉터를 감싸도록 상기 내부공간 내에 배치되는 내부배럴; 및 상기 내부배럴과 동력전달수단을 매개로 연결되는 구동수단;을 포함하고, 상기 내부배럴은 상기 기판 및 서셉터의 교환시 상기 구동수단의 작동을 통해 상기 기판 또는 서셉터가 상기 내부배럴의 내측으로부터 노출되는 개방상태로 변경된다.
摘要翻译：提供了一种用于化学气相装置的反应室。根据本发明的一个示例性实施例的用于化学气相装置的反应室包括：具有内部空间的壳体; 设置在所述内部空间中并具有装载在其上侧的基板的感受体; 淋浴头，其设置在内部空间中，以便定位在基座上方并将处理气体喷射到基板; 中空的内筒具有开口的顶部和底部和预定高度，并且设置在内部空间内部以围绕基板和基座，其上边缘位于喷头周围; 以及通过动力传递装置的介质连接到内筒的驱动装置，其中在更换基底和基座时，内筒被改变到打开状态，其中基底或基座从内侧暴露于通过操作驱动装置的内桶。

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