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1. 发明申请

WO2012161536A2 다층 샤워헤드 및 그 밀봉방법 审中-公开
标题翻译：多层淋浴头及其密封方法
公开(公告)号：WO2012161536A2
公开(公告)日：2012-11-29
申请号：PCT/KR2012/004125
申请日：2012-05-24
申请人： 한국생산기술연구원 , 변철수 , 김종석 , 정훈 , 김선창
发明人： 변철수 , 김종석 , 정훈 , 김선창
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45565
摘要： 본 발명은 윗판과 아랫판 사이에 설치되는 분리격판(130)에 의해 내부 빈공간이 상부공간과 하부공간으로 구분되는 샤워헤드 몸체에 상기 윗판, 분리격판(130), 및 아랫판 중 적어도 상기 분리격판(130)을 관통하도록 기체안내관(133)이 설치되는 경우에 상기 기체안내관(133)이 관통하는 상기 윗판, 분리격판(130), 또는 아랫판 위에 필러시트(160)를 올려놓고 브레이징 처리함으로써 상기 기체안내관(133)과 상기 기체안내관(133)이 관통하는 윗판, 분리격판(130), 또는 아랫판 사이의 틈을 밀봉시키는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种淋浴喷头，其具有淋浴喷头主体，其中内部空间通过介于上板和下板之间的分隔板（130）分成上部空间和下部空间。当气体引导管（133）布置成穿过上板，分隔板（130）和下板中的至少分隔板（130）时，填充片（160）设置在上板，分隔板（130）或气体导管（133）穿过的下板，然后填充片（160）钎焊。因此，气体导管133与导气管133穿过的上板，隔板130或下板之间的间隙被密封。

2. 发明申请

WO2010140778A3 막증착 진공장비용 샤워헤드 审中-公开
公开(公告)号：WO2010140778A3
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/KR2010/003024
申请日：2010-05-13
申请人： (주)피에조닉스 , 한국생산기술연구원 , 변철수 , 한만철 , 정일용 , 이석우
发明人： 변철수 , 한만철 , 정일용 , 이석우
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
摘要： 반응기체 샤워헤드 모듈의 바닥으로부터 연결되는 반응기체 분사튜브의 길이를 짧게 형성할 수 있고, 하나의 반응기체 샤워헤드 모듈 내에서 서로 다른 두 종류의 반응기체를 분사지원 기체와 혼합하여 분사할 수 있도록 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드를 개시한다. 본 발명의 막증착 진공장비용 샤워헤드는, 냉각 자켓 위에 반응기체 샤워헤드 모듈을 배치하고, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈 위에 퍼지기체 샤워헤드 모듈을 배치하여, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 냉각 자켓을 관통하고, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 반응기체 샤워헤드 모듈을 관통하여 상기 냉각 자켓 위의 퍼지기체 재분배 공간으로 퍼지기체가 유입되도록 구성된다.

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