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    • 2. 发明申请
    • BELADE- UND ENTLADEVERFAHREN FÜR EINE PROZESSKASSETTE
    • 装载和卸载工艺过程的CASSETTE过程
    • WO2012062288A2
    • 2012-05-18
    • PCT/DE2011/001977
    • 2011-11-11
    • ZIMMERMANN & SCHILP HANDHABUNGSTECHNIK GMBHSCHILP, MichaelZITZMANN, AdolfZIMMERMANN, Josef
    • SCHILP, MichaelZITZMANN, AdolfZIMMERMANN, Josef
    • C23C16/458B05B5/082H01L21/67772Y10T29/49815
    • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Belade- und Entladeverfahren für eine Prozesskassette, die z, B. bei Plasmabeschichtungsprozessen eingesetzt wird, wobei nachfolgende Verfahrensschritte durchgeführt werden: a. Bereitstellen einer mittels eines Demontage- und Montage-Roboters demontierbaren und montierbaren Prozesskassette (1), b. automatisches Demontieren der Prozesskassette derart, dass die Böden (2) der Prozesskassette separiert vorliegen, c. Zuführen und Zuordnen der Böden (2) zu wenigstens einem Bestückungsautomaten, der die Böden (2) mit zu bearbeitenden Werkstücken bestückt, d. Montieren der bestückten Böden (2) zu der Prozesskassette (1), e. Zuführen der Prozesskassette (1) zu dem Prozessort, an dem der Prozess durchgeführt werden soll, f. Durchführen des Prozesses, g. Zuführen der Prozesskassette (1) zu dem Demontage- und Montage-Roboter oder einem weiteren Demontage- und Montage-Roboter, h. Demontieren der Prozesskassette derart, dass die Böden (2) der Prozesskassette separiert vorliegen und i. automatisches Entnehmen der bearbeiteten Werkstücke.
    • 本发明涉及例如在等离子涂覆工艺中使用的处理盒的装载和卸载方法,其中执行以下工艺步骤:a。 通过拆卸和组装机器人提供可移除和可安装的处理盒(1),b。 自动拆卸处理盒,使得处理盒的头部(2)分开; c。 将捆包(2)进给并分配给至少一个自动售货机,该自动售货机组装箱体(2)以待处理的工件,d。 将最佳黑白(2)安装到处理卡盒(1)上,例如, 将处理盒(1)馈送到进行处理的处理器位置,f。 执行该过程,g。 将处理盒(1)馈送到拆卸和组装机器人或另一个拆卸和组装机器人h。 拆卸处理盒,使处理盒的球体(2)分离, 自动清除加工后的工件。
    • 4. 发明申请
    • METHOD FOR LOADING AND UNLOADING A CASSETTE
    • 装载和工艺卸载CASSETTE
    • WO2012062288A3
    • 2012-08-23
    • PCT/DE2011001977
    • 2011-11-11
    • ZIMMERMANN & SCHILP HANDHABUNGSTECHNIK GMBHSCHILP MICHAELZITZMANN ADOLFZIMMERMANN JOSEF
    • SCHILP MICHAELZITZMANN ADOLFZIMMERMANN JOSEF
    • H01L21/677
    • C23C16/458B05B5/082H01L21/67772Y10T29/49815
    • The present invention relates to a method for loading and unloading a cassette which is used, for example, in plasma-coating processes, wherein the following method steps are carried out: a. supplying a cassette (1) which can be dismantled and assembled by means of a dismantling and assembling robot, b. automatically dismantling the cassette such that the floors (2) of the cassette are present in a separated state, c. feeding and assigning the floors (2) to at least one fitting machine, which fits the floors (2) with workpieces which are to be processed, d. assembling the fitted floors (2) to form the cassette (1), e. feeding the cassette (1) to the location at which the process is to be carried out, f. carrying out the process, g. feeding the cassette (1) to the dismantling and assembling robot or a further dismantling and assembling robot, h. dismantling the cassette such that the floors (2) of the cassette are present in a separated state, and i. automatically removing the processed workpieces.
    • 本发明涉及一种用于处理卡盒的装载和卸载的方法,其中,因为用于等离子体涂覆工艺z,其中随后的处理步骤进行:a。 提供拆卸的可拆卸装置和组装机器人和安装处理盒(1)中,b。 在于:所述底部(2)的处理盒的被分离的方式的处理盒的自动拆卸,C。 供应和分配所述地板(2),其与工件安装所述地板(2)的至少一个贴片机进行加工,D。 安装组装好的搁板(2)的处理盒(1)中,e。 供给处理盒(1)到处理站点,其中所述处理将被执行,F。 执行的过程中,克。 供给处理盒(1),以拆卸和组装机器人或另一拆卸和组装机器人,小时。 处理卡盒的拆卸,使得地板(2)的处理盒的分离和i是存在。 自动除去加工的工件的。
    • 5. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM AUFNEHMEN UND ABTRANSPORTIEREN FLACHER WERKSTÜCKE
    • 用于记录设备及带走扁平工件
    • WO2011009447A2
    • 2011-01-27
    • PCT/DE2010/000861
    • 2010-07-22
    • ZIMMERMANN & SCHILP HANDHABUNGSTECHNIK GMBHSCHILP, MichaelZIMMERMANN, JosefZITZMANN, Adolf
    • SCHILP, MichaelZIMMERMANN, JosefZITZMANN, Adolf
    • B65G51/035B65G2201/022
    • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufnehmen plattenförmiger Werkstücke. Diese Werkstücke können z. B. von einem Stapel abgenommen werden. Die Aufnahme kann jedoch auch von einem Tisch oder von einem Förderband erfolgen. Anschließend werden die Werkstücke an einem Transportband hängend abtransportiert. Die Erfindung weist nachfolgende Merkmale auf: wenigstens eine Transportschiene (11) mit Vakuum-Halte-Düsen (12) zum hängenden Halten des Werkstücks (1) unterhalb der Transportschiene (11) und mit einem Luftlager zum berührungsfreien Halten des Werkstücks entlang der Transportschiene (11), wenigstens eine Antriebsvorrichtung (17; 18) zum Verschieben des Werkstücks entlang der Transportschiene und wenigstens eine pneumatische Greifvorrichtung (2) mit wenigstens einer pneumatischen Greiferdüse, wobei die Greiferdüse in der Transportschiene so integriert ist, dass die Düsenoberkante mit der Transportoberfläche der Transportschiene abschließt oder in der Transportoberfläche versenkt angeordnet ist.
    • 本发明涉及一种装置,用于拾取板状工件。 这些工件,即可。 B.从堆栈中移除。 然而,记录也可以从表或从传送带完成。 随后,将工件输送从传送带挂。 本发明具有以下特征:至少一个用于吊保持工件(1)的输送轨道下面(11)和具有空气轴承用于沿着传送轨道的工件的接触保持输送轨道(11)与真空压紧喷嘴(12)(11 ),至少一个驱动装置(17; 18),用于与至少一个气动Greiferdüse,其中所述Greiferdüse集成在输送轨道,使得与所述传送轨道的传送表面上的喷嘴顶端边缘的结论沿着输送轨道移动所述工件和至少一个气动夹持装置(2) 或设置在沉没传送表面。
    • 6. 发明申请
    • VACUUM GRIPPER
    • 真空抓起
    • WO2011009446A2
    • 2011-01-27
    • PCT/DE2010000860
    • 2010-07-22
    • ZIMMERMANN & SCHILP HANDHABUNGSTECHNIK GMBHSCHILP MICHAELZIMMERMANN JOSEFZITZMANN ADOLF
    • SCHILP MICHAELZIMMERMANN JOSEFZITZMANN ADOLF
    • B65G47/91B25J15/0616B65G47/911B65G49/061H01L21/6838
    • The present invention relates to a vacuum gripper and in particular to a vacuum gripper for gently gripping workpieces having sensitive surfaces, such as solar cells, wafers, or panels for flat screens, and for gripping heavy glass plates or plates made of other material having a very smooth surface that are stacked on top of each other and should be removed from above, wherein the vacuum gripper has the following characteristics: a straight or curved gripper plate (2), at least one suction opening (3; 3a), which is provided in the gripper plate (2), wherein a workpiece throttle surface (6) is formed around the suction opening (3), at least one recess (4), which is provided in the side of the gripper plate (2) facing the workpiece, outside of the workpiece throttle surface (6) relative to the suction opening (3), and at least one ventilation hole (5), which is provided within each recess (4).
    • 本发明涉及一种真空抓持器,特别是一个真空夹具对这种表面敏感的工件的夹紧平缓。 作为太阳能电池,晶片或面板用于平板显示器,以及用于重玻璃板或其它材料的片材具有非常光滑的表面,其被堆叠在彼此之上并且从上方拆下,用真空夹具具有以下特征的把持:直链或 弓形夹钳板(2),至少一个抽吸开口(3; 3A)在所述夹持器板(2)提供,其中,所述吸入口(3),一个工件节流面(6)的周围形成至少一个凹部(4 形成)在面对叼纸牙板工件节流面(6)外侧的吸入口(3)的(2)上设置有相对于与至少一个通气孔(5),该各凹部(4)内设置的工件侧的一侧。
    • 8. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSLOSEN TRANSPORTIEREN UND HALTEN VON GEGENSTÄNDEN ODER MATERIAL
    • 设备非接触运输和保存对象或材料
    • WO2008122283A2
    • 2008-10-16
    • PCT/DE2008/000595
    • 2008-04-09
    • ZIMMERMANN & SCHILP HANDHABUNGSTECHNIK GMBHSCHILP, MichaelZIMMERMANN, JosefZITZMANN, Adolf
    • SCHILP, MichaelZIMMERMANN, JosefZITZMANN, Adolf
    • B65G54/00
    • B65G54/00F16C32/0611
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen Bauteilen oder Material und weist nachfolgende Merkmale auf: Wenigstens eine schwingungsfähige plattenförmige Aufnahme (2) zur Aufnahme des zu transportierenden oder zu haltenden Gegenstandes, an der wenigstens ein Schwingungserzeuger (3) befestigt ist und wenigstens zwei Abstützelemente (4), wobei der Schwingungserzeuger (3) an einer vorbestimmten Stelle der plattenförmige Aufnahme (2) angeordnet ist, um die plattenförmige Aufnahme (2) in Biegeschwingungen zu versetzen und die Abstützelemente (4) an einer Stelle angeordnet sind, an dem die Amplitude der Biegeschwingung wenigstens 50 % kleiner ist als die Maximalamplitude und der Schwingungserzeuger (3) mit einer Frequenz betrieben wird, die die plattenförmige Aufnahme (2) in solche Schwingungen versetzt, dass die die Bauteile oder das Material berührungsfrei schweben.
    • 本发明涉及一种装置,用于输送和保持超过导航用途导向敏感元件或材料,并具有下列特征:至少有一个schwingungsf BEAR通断板WAVY容器(2),用于接收可移动的或 保持上述物体,被固定到所述至少一个振动发生器(3)和至少两个分区:Abst导航用途tzelemente(4),其中所述振动发生器(3)在板WAVY容器的预定位置(2)被设置成板状波状记录 设定(2)中的弯曲振动和距离导航用途tzelemente(4)被布置在在所述弯曲振动的振幅比所述最大振幅和振动发生器更少至少50%的位置(3)与一个频率操作,该板状&oUML 部件(2)以使得部件或材料自由浮动的方式摆动 / P>