会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明申请
    • MULTI-AXLE MICROMECHANIC ACCELERATION SENSOR
    • 多微机械加速度传感器
    • WO2008080683A2
    • 2008-07-10
    • PCT/EP2007062307
    • 2007-11-14
    • BOSCH GMBH ROBERTCLASSEN JOHANNESFRANKE AXELSCHUBERT DIETRICHKEHR KERSTENREICHENBACH RALF
    • CLASSEN JOHANNESFRANKE AXELSCHUBERT DIETRICHKEHR KERSTENREICHENBACH RALF
    • G01P15/18
    • G01P15/18G01P15/125G01P2015/084
    • The invention relates to a micromechanic acceleration sensor, comprising a substrate (1), an elastic membrane (5), which extends in parallel to the substrate plane, is partially connected to the substrate and comprises a surface region, which can be deflected perpendicular to the substrate plane. The invention further comprises a seismic mass (6), wherein the center of gravity thereof is outside of the plane of the elastic membrane (5). The seismic mass (6) extends at a distance across substrate regions, which are located outside of the region of the elastic membrane (5) and comprise an arrangement made of a plurality of electrodes (3a, 3b, 3c, 3d), which form a capacitor with opposing regions of the seismic mass (6) in a circuit. In the central region, the seismic mass (6) is fastened in the surface region of the elastic membrane (5), which can be deflected perpendicular to the substrate plane, to the elastic membrane (5).
    • 本发明涉及的微机械加速度传感器,包括一个基底(1),平行于基板平面弹性膜(5),其被部分地与所述基板连接,并且具有可垂直偏转于衬底平面的表面区域中,地震质量延伸的轴线(6 ),重力的中心位于所述弹性膜片(5),的平面之外,从而振动质量(6)延伸,在其位于所述弹性膜片(5)和多个电极的排列的范围外的衬底区域上方一定距离(3A, 图3b,3c和3d),该电路分别与振动质量的相对的部分形成(6)包括一个电容器,并且其中,垂直于基片平面中的振动质量(6)在其中央区域中的弹性膜(5)的表面区域 可以被偏转,附着到弹性膜(5)上。
    • 5. 发明申请
    • DREHRATENSENSOR
    • 旋转速率传感器
    • WO2008071480A1
    • 2008-06-19
    • PCT/EP2007/060966
    • 2007-10-15
    • ROBERT BOSCH GMBHKUHLMANN, BurkhardHAUER, JoergGOMEZ, Udo-MartinKEHR, Kersten
    • KUHLMANN, BurkhardHAUER, JoergGOMEZ, Udo-MartinKEHR, Kersten
    • G01C19/56
    • G01C19/5747
    • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem beweglichen Element (8), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (9) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, und das entlang einer zweiten Achse (z) unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Kompensationseinrichtung (15, 16), die eingerichtet ist, unerwünschte Schwingungen des beweglichen Elements (8) entlang der zweiten Achse (z) zu kompensieren, die durch die Antriebseinrichtung (9) hervorgerufen werden. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehratensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
    • 本发明涉及一种具有一个可动元件(8)被布置在基板的一个表面,并通过一驱动装置(9)沿第一轴(y),它沿所述表面振动运行可被驱动旋转率传感器,和 沿第二轴线(z)是一个科里奥利力的作用下可被偏转,并且其适于补偿沿所述第二轴(z)的可动构件(8)的不期望的振动的补偿装置(15,16),由所表示的 引起驱动装置(9)。 所述第二轴线(Z)垂直于旋转率传感器的表面的布置可以被集成,以进一步旋转率传感器,其适用于检测旋转大约涉及不同的旋转轴线,在一个芯片上一起。