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1. 发明申请

WO2008080683A2 MULTI-AXLE MICROMECHANIC ACCELERATION SENSOR 审中-公开
标题翻译：多微机械加速度传感器
公开(公告)号：WO2008080683A2
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：PCT/EP2007062307
申请日：2007-11-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , CLASSEN JOHANNES , FRANKE AXEL , SCHUBERT DIETRICH , KEHR KERSTEN , REICHENBACH RALF
发明人： CLASSEN JOHANNES , FRANKE AXEL , SCHUBERT DIETRICH , KEHR KERSTEN , REICHENBACH RALF
IPC分类号： G01P15/18
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
摘要： The invention relates to a micromechanic acceleration sensor, comprising a substrate (1), an elastic membrane (5), which extends in parallel to the substrate plane, is partially connected to the substrate and comprises a surface region, which can be deflected perpendicular to the substrate plane. The invention further comprises a seismic mass (6), wherein the center of gravity thereof is outside of the plane of the elastic membrane (5). The seismic mass (6) extends at a distance across substrate regions, which are located outside of the region of the elastic membrane (5) and comprise an arrangement made of a plurality of electrodes (3a, 3b, 3c, 3d), which form a capacitor with opposing regions of the seismic mass (6) in a circuit. In the central region, the seismic mass (6) is fastened in the surface region of the elastic membrane (5), which can be deflected perpendicular to the substrate plane, to the elastic membrane (5).
摘要翻译：本发明涉及的微机械加速度传感器，包括一个基底（1），平行于基板平面弹性膜（5），其被部分地与所述基板连接，并且具有可垂直偏转于衬底平面的表面区域中，地震质量延伸的轴线（6 ），重力的中心位于所述弹性膜片（5），的平面之外，从而振动质量（6）延伸，在其位于所述弹性膜片（5）和多个电极的排列的范围外的衬底区域上方一定距离（3A，图3b，3c和3d），该电路分别与振动质量的相对的部分形成（6）包括一个电容器，并且其中，垂直于基片平面中的振动质量（6）在其中央区域中的弹性膜（5）的表面区域可以被偏转，附着到弹性膜（5）上。

2. 发明申请

WO2009010355A3 MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR OPERATING A MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：微机械结构元件和操作微机电结构元件的方法
公开(公告)号：WO2009010355A3
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：PCT/EP2008057553
申请日：2008-06-16
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , CLASSEN JOHANNES
发明人： CLASSEN JOHANNES
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2203/0136 , G01P15/125
摘要： The invention relates to a micromechanical component and a method for operating a micromechanical component. The micromechanical component comprises a stationary structure and a seismic mass, the stationary structure having first electrodes and the seismic mass having second electrodes. The seismic mass is mobile relative to the stationary structure in a main direction of movement that is parallel to the direct connecting line of the seismic mass with the stationary structure in a main plane of extension of the stationary structure. In a rest position of the seismic mass, the first electrodes and the second electrodes are interspaced in such a manner that there is no overlap of the first electrodes relative to the second electrodes in a first direction that is perpendicular to the main direction of movement in the main plane of extension and such an overlap only occurs in a state of deflection.
摘要翻译：公开了一种微机械部件和用于操作微型机械装置的方法，该微机械部件具有实心结构和振动质量，其中第一电极的固体结构和振动质量具有第二电极，以及其中，所述地震质量相对的固定结构在用于直线振动质量连接到运动的固定结构平行的主方向是固定结构的主延伸平面中移动和进一步其中，所述第一电极和所述第二电极中的地震质量的静止位置相互间隔开的，没有首先相对于第二电极的电极中的重叠设置在垂直于主运动方向第一方向的主延伸平面中，并且仅在偏转状态下出现这种重叠。

3. 发明申请

WO2009010354A2 MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR OPERATING A MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：微机械结构元件和操作微机电结构元件的方法
公开(公告)号：WO2009010354A2
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008057528
申请日：2008-06-16
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , BAUER WOLFRAM , CLASSEN JOHANNES
发明人： BAUER WOLFRAM , CLASSEN JOHANNES
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0094 , B81B2201/0242 , B81B2203/0136 , H03H9/02275 , H03H2009/02496
摘要： The invention relates to a micromechanical component, said micromechanical component comprising a first electrode and a second electrode. The first electrode is mobile relative to the second electrode in a main direction of movement and the first electrode and/or the second electrode are configured in such a manner that a movement of the first electrode parallel to the main direction of movement effects a change of the average distance in a zone of overlap of the projection of the first electrode with the projection of the second electrode perpendicular to the main direction of movement and in a main plane of extension.
摘要翻译：它是提出了在具有第一电极和第二电极，其中，在运动的主方向上的第二电极相对的第一电极是可移动的，并且其中所述第一电极和/或所述第二电极被形成提供的微机械部件的微机械部件与第二电极的突出部的第一电极的突出部的重叠区域中的第一电极的运动引起平行于主运动方向，在向移动的主方向，并且在主延伸平面中的每个情况下，每个垂直之间的平均距离的变化。

4. 发明申请

WO2008071479A3 MICROMECHANICAL Z-SENSOR 审中-公开
标题翻译：微机械Z-传感器
公开(公告)号：WO2008071479A3
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：PCT/EP2007060961
申请日：2007-10-15
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , CLASSEN JOHANNES , TEBJE LARS
发明人： CLASSEN JOHANNES , TEBJE LARS
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0831
摘要： The invention relates to a micromechanical Z-sensor with a given sensitivity, a torsion spring (100) and a seismic auxiliary mass (40), the torsion spring (100) having a spring width (105) and the seismic auxiliary mass (40) having webs (110) of a web width (115). The basis of the invention is that the web width (115) is selected to be smaller than the spring width (105).
摘要翻译：本发明涉及一种具有灵敏度的微机械Z轴传感器，具有扭转弹簧（100）和一个地震附加质量（40），所述扭转弹簧（100）具有一个弹簧宽度（105），其中，所述地震附加质量（40）（斯泰厄 110）具有腹板宽度（115）。本发明的实质在于，幅材宽度（115）小于选择的弹簧宽度（105）。

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