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1. 发明申请

WO2008080683A2 MULTI-AXLE MICROMECHANIC ACCELERATION SENSOR 审中-公开
标题翻译：多微机械加速度传感器
公开(公告)号：WO2008080683A2
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：PCT/EP2007062307
申请日：2007-11-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , CLASSEN JOHANNES , FRANKE AXEL , SCHUBERT DIETRICH , KEHR KERSTEN , REICHENBACH RALF
发明人： CLASSEN JOHANNES , FRANKE AXEL , SCHUBERT DIETRICH , KEHR KERSTEN , REICHENBACH RALF
IPC分类号： G01P15/18
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
摘要： The invention relates to a micromechanic acceleration sensor, comprising a substrate (1), an elastic membrane (5), which extends in parallel to the substrate plane, is partially connected to the substrate and comprises a surface region, which can be deflected perpendicular to the substrate plane. The invention further comprises a seismic mass (6), wherein the center of gravity thereof is outside of the plane of the elastic membrane (5). The seismic mass (6) extends at a distance across substrate regions, which are located outside of the region of the elastic membrane (5) and comprise an arrangement made of a plurality of electrodes (3a, 3b, 3c, 3d), which form a capacitor with opposing regions of the seismic mass (6) in a circuit. In the central region, the seismic mass (6) is fastened in the surface region of the elastic membrane (5), which can be deflected perpendicular to the substrate plane, to the elastic membrane (5).
摘要翻译：本发明涉及的微机械加速度传感器，包括一个基底（1），平行于基板平面弹性膜（5），其被部分地与所述基板连接，并且具有可垂直偏转于衬底平面的表面区域中，地震质量延伸的轴线（6 ），重力的中心位于所述弹性膜片（5），的平面之外，从而振动质量（6）延伸，在其位于所述弹性膜片（5）和多个电极的排列的范围外的衬底区域上方一定距离（3A，图3b，3c和3d），该电路分别与振动质量的相对的部分形成（6）包括一个电容器，并且其中，垂直于基片平面中的振动质量（6）在其中央区域中的弹性膜（5）的表面区域可以被偏转，附着到弹性膜（5）上。

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