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1. 发明申请

WO2011007580A1 基板処理方法审中-公开
标题翻译：基板处理方法
公开(公告)号：WO2011007580A1
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：PCT/JP2010/004617
申请日：2010-07-15
申请人：株式会社アルバック , 中村真也 , 藤井佳詞 , 長嶋英人
发明人：中村真也 , 藤井佳詞 , 長嶋英人
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/56 , C23C16/44 , H01L21/285
CPC分类号： C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/56 , C23C14/568
摘要：　処理室の状態を回復させる回復処理の時間が処理室で行われる所定処理の時間よりも長い場合でもスループットを向上させることが可能な基板処理方法を提供する。　２つの成膜室Ｃ、Ｄに基板を交互に搬送し、成膜室Ｃ、Ｄにて基板に対して同一の成膜処理を並行して行い、成膜室Ｃでの処理枚数が規定枚数（１１枚）に達すると、成膜室Ｃでダミースパッタ処理を開始すると共に、ダミースパッタ処理が終了するまでの間、成膜室Ｄに第１ロットの２３枚目～２５枚目を搬送して成膜処理を行う。成膜室Ｃでのダミースパッタ処理が終了すると、成膜室Ｄでダミースパッタ処理を開始すると共に、ダミースパッタ処理が終了するまでの間、成膜室Ｃに第２ロットの１枚目～３枚目を搬送して成膜処理を行う。成膜室Ｄでのダミースパッタ処理が終了すると、交互の搬送を再開する。
摘要翻译：公开了一种基板处理方法，即使在恢复处理室的状态所需的恢复处理时间比在处理室中执行预定处理所需的时间长的情况下，也可以提高吞吐量。基板交替地传送到两个成膜室（C，D），同时对成膜室（C，D）中的基板进行相同的成膜处理。当成膜室（C）中的处理基板的数量达到预定数量（即，11）时，在成膜室（C）中开始虚拟溅射处理，同时，通过将第一批次的第23至25个基底转移到成膜室（D），直到完成虚拟溅射处理。当在成膜室（C）中完成虚拟溅射处理时，在成膜室（D）中开始虚拟溅射处理，同时通过将第一至第三基板第二批到成膜室（C），直到虚拟溅射处理完成。当在成膜室（D）中完成虚拟溅射处理时，重新开始替代转印。

2. 发明申请

WO2010013422A1 搬送ロボットの制御方法审中-公开
标题翻译：转移机器人控制方法
公开(公告)号：WO2010013422A1
公开(公告)日：2010-02-04
申请号：PCT/JP2009/003486
申请日：2009-07-23
申请人：株式会社アルバック , 藤井佳詞
发明人：藤井佳詞
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/16
CPC分类号： H01L21/67745 , B25J9/1682 , G05B2219/34348 , G05B2219/39109
摘要：　搬送ロボットの通信時間を削減でき、基板の搬送時間を短縮することが可能な搬送ロボットの制御方法を提供する。処理室（Ｃ）に存する基板（Ｓ２）を処理室（Ｅ）の所定の位置に搬送する際の搬送ロボット（１）の一連の動作を１つのコマンドで実行する。一連の動作に、処理室（Ｃ）に存する基板（Ｓ２）をロボットハンド（１２ｂ）で取り出した後、基板（Ｓ１）とは異なる基板（Ｓ３）をロボットハンド（１２ａ）により処理室（Ｃ）の所定の位置に受け渡すスワップ動作を含ませてもよい。
摘要翻译：提供了一种传送机器人控制方法，通过缩短与传送机器人的通信时间，可以缩短基板传送时间。在将处理室（C）中存在的基板（S2）转移到处理室（E）中的预定位置时，由传送机器人（1）执行的一系列操作由一个命令执行。一系列操作可以包括交换操作，其中不同于基板（S1）的基板（S3）在基板（S2）之后通过机械手（12a）被转移到处理室（C）中的预定位置）由机械手（12b）取出。

3. 发明申请

WO2011001675A1 ロボットのティーチング装置及びロボットのティーチング方法审中-公开
标题翻译：教学机器人的装置和教学机器人的方法
公开(公告)号：WO2011001675A1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：PCT/JP2010/004310
申请日：2010-06-30
申请人：株式会社アルバック , 藤井佳詞
发明人：藤井佳詞
IPC分类号： B25J9/22 , G05B19/42 , H01L21/677
CPC分类号： G05B19/42 , G05B2219/36425 , G05B2219/45031 , H01L21/67742 , H01L21/68 , H01L21/68707
摘要：　搬送物をハンドで支持し、２箇所以上の受渡し地点の間を搬送するロボットのティーチング方法であって、前記受渡し地点に載置された時の前記搬送物と同一の中心軸となるように、位置決め治具を前記受渡し地点に配する治具配置工程と；前記各受渡し地点において、前記ハンドの当接部が前記位置決め治具に当接する位置まで前記ハンドを動かし、コントローラに前記ハンドの位置をティーチングするティーチング工程と；を備える。
摘要翻译：本发明提供了一种用于教导在两个或更多个传送点之间传送传送对象的机器人的方法，同时用其手支持传送对象，该方法设置有：设置定位夹具在传送点处的夹具布置步骤，使得当传送对象安装在传送点时，定位夹具的中心轴与传送对象的中心轴相匹配; 以及用于将手移动到在每个输送点处与手的接触部与定位夹具接触的位置并且向控制器教导手的位置的教导步骤。

4. 发明申请

WO2010150540A1 真空成膜装置、および真空成膜装置のシャッタ板位置検出方法审中-公开
标题翻译：真空膜成型装置及检测真空膜成型装置的快门板位置的方法
公开(公告)号：WO2010150540A1
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：PCT/JP2010/004181
申请日：2010-06-23
申请人：株式会社アルバック , 藤井佳詞
发明人：藤井佳詞
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/54
CPC分类号： H01J37/34 , H01J37/3447
摘要：　シャッタ板（２１）の位置検出にあたっては、検出器（光センサ）（２４）から、例えばレーザ光（Ｌ）を照射する。照射されたレーザ光（Ｌ）は、チャンバ（１）の窓（２５）を介してシャッタ板（２１）に達する。そして、シャッタ板（２１）の表面で反射されて再び検出器（２４）に入射される。検出器（２４）は、このレーザ光（Ｌ）の出射から反射光の入射までの時間を検出する。
摘要翻译：在检测快门板（21）的位置时，例如从检测器（光学传感器）（24）辐射激光束（L）。辐射激光束（L）通过腔室（1）的窗口（25）到达快门板（21）。然后，激光束被快门板（21）的表面反射并重新进入检测器（24）。检测器（24）检测从激光束（L）的输出到反射光束入射所需的时间。

5. 发明申请

WO2010010688A1 処理装置の作動監視システム审中-公开
标题翻译：用于处理设备的动作监控系统
公开(公告)号：WO2010010688A1
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：PCT/JP2009/003413
申请日：2009-07-21
申请人：株式会社アルバック , 藤井佳詞
发明人：藤井佳詞
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67288 , H01L21/67253 , H01L21/67742
摘要：　処理対象物に対し所定の処理を施す処理室内で所定の処理環境を形成するために設けられている可動部品と、各可動部品の作動を制御する制御手段（５）とを備えた処理装置において、簡単に処理装置を構成する可動部品の経時変化を含む異常を判断することができるようにする。前記可動部品の作動に伴い発生する振動の波形を検出する振動検知手段（７）を設ける。可動部品のいずれかを作動すべく制御手段（５）からの制御が行われた場合、制御に応じたイベントデータと、そのときに作動している全可動部品の振動の波形とを取得する。イベントデータに応じた制御が選択される毎に、または前記イベントデータと同種の他のイベントデータに応じた振動の波形が取得されている場合に、前記波形の変化を監視し、当該波形が所定の範囲を超えて変化していると、処理装置の異常を判断する。
摘要翻译：公开了一种处理装置，其包括可移动部件，其设置为在待处理物体经受预定处理的处理室中建立预定的处理环境;以及控制装置（5），用于控制各个可动部件，其中可以容易地判断包含构成处理装置的可移动部件的老化的异常。处理装置还包括用于检测根据可移动部件的动作发生的振动波形的振动检测装置（7）。如果使来自控制装置（5）的控制操作任何可移动部件，则获取对应于当时所有可动部件的控制和振动波形的事件数据。每当选择对应于事件数据的控制时，或者根据与上述事件数据相同的其他事件数据获取振动的波形时，监视波形的变化，判断如果波形在预定范围内变化，则处理装置。

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