专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2010140352A1 石英ガラスルツボ用蓋と石英ガラスルツボおよびその取り扱い方法审中-公开
标题翻译：用于熔融石英坩埚，熔融石英坩埚及其处理方法
公开(公告)号：WO2010140352A1
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/JP2010/003668
申请日：2010-06-01
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 株式会社SUMCO , 佐藤賢 , 大原真美 , 高瀬伸光
发明人：佐藤　賢 , 大原　真美 , 高瀬　伸光
IPC分类号： C30B15/10 , B65D43/02 , B65D77/20 , C30B29/06
CPC分类号： C30B15/10 , C30B29/06
摘要：　ルツボ原料粉のルツボ内面への侵入までを回避できる方途を与えることによって、石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にする。　石英ガラスルツボ１の開口部２に装着する蓋３であって、前記開口部２の外周端２ａに密着するフランジ部４を有する蓋３を、ルツボ１に装着する。
摘要翻译：通过提供用于防止甚至将坩埚原料浸入坩埚内表面的方法，可以可靠地避免异物在熔融石英坩埚中的进入，直到坩埚实际使用为止，坩埚可以处理一个未受污染的状态。公开了安装在熔融石英坩埚（1）的开口（2）上的盖（3），其中盖（3）具有凸缘区域（4），该凸缘区域气密地附接到上述开口的外边缘（2a）（2）。

2. 发明申请

WO2009113525A1 石英ガラスルツボおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：石墨玻璃巧克力及其生产方法
公开(公告)号：WO2009113525A1
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：PCT/JP2009/054521
申请日：2009-03-10
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 原田和浩 , 佐藤忠広
发明人：原田和浩 , 佐藤忠広
IPC分类号： C30B15/10 , C03B20/00
CPC分类号： C03B19/095 , C30B15/10 , Y10T117/1032
摘要：【課題】シリコン単結晶引き上げ時の内表面の結晶化促進とルツボの強度維持とを十分に両立させた石英ガラスルツボとその製造方法を提供する。【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、少なくとも直胴部１０Ａにおいて、ルツボ内表面から０.３mm～３mmの領域に含まれるＯＨ基濃度およびＯＨ基濃度勾配が内表面に近いほど大きく、内表面から離れるほど小さいことを特徴とする。該石英ガラスルツボは、回転するモールドの内表面に沿って堆積した石英粉を加熱溶融してガラス化し、ガラスルツボを製造する方法において、溶融時または溶融終了直後に水蒸気を含む空気を導入し、または、溶融冷却後に再び水蒸気を含む環境下で熱処理して製造することができる。
摘要翻译：提供了一种石英玻璃坩埚，其在单晶硅提拉期间充分协调坩埚强度的维持与内表面结晶的加速度。还提供了一种用于生产坩埚的方法。石英玻璃坩埚（10）的特征在于，在至少一个筒部（10A）中，在距离坩埚内表面的距离为0.3mm至3mm的区域中的OH基浓度和梯度该区域的OH基浓度随内表面的距离增加而向内表面变高，变低。石英玻璃坩埚可以通过沉积在正在旋转的模具的内表面上的石英粉热熔融和玻璃化的方法来生产。在该过程中，在熔化期间或在熔融完成之后立即引入含水蒸气。或者，熔融冷却后，在含有水蒸气的环境中再次进行热处理。

3. 发明申请

WO2009107834A1 シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：用于拉丝硅单晶的QUARTZ可塑性和制造QUARTZ CRUCIBLE的方法
公开(公告)号：WO2009107834A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/JP2009/053886
申请日：2009-03-02
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 志満津敦 , 佐藤忠広
发明人：志満津敦 , 佐藤忠広
IPC分类号： C30B15/10 , C03B20/00 , C30B29/06
CPC分类号： C03B19/095 , C03C15/00 , C30B15/10 , C30B35/002 , Y02P40/57 , Y10T117/1032
摘要：　石英ガラスからなり、外側層と内側層の２層構造を有するシリコン単結晶引上げ用石英ルツボにおいて、前記内側層は、ルツボ側断面で見て、シリコン融液面の少なくともシリコン単結晶引上げの開始位置と終了位置間にて、山部と谷部をもつ波状の内面形状をもち、かつ、ルツボの開口上端からシリコン単結晶引上げの開始位置までの距離を100とするとき、前記開口上端から40～100の範囲に相当する位置までのルツボ部分のみが結晶質であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボを提供する。
摘要翻译：本发明提供一种石英坩埚，其由用于拉伸具有外层和内层的双层结构的硅单晶的石英玻璃构成。在坩埚的横截面图中，内层具有在硅单晶拉制中至少在硅熔体表面的起始位置和结束位置之间具有突出部分和凹陷部分的波浪形内表面形状。当坩埚的开口的上端与硅单晶制浆的开始位置之间的距离为100时，只有从开口的上端到40-100范围内的位置的坩埚部分是结晶的。

4. 发明申请

WO2009017071A1 石英ガラスルツボの製造方法审中-公开
标题翻译：制造石英玻璃可溶性的方法
公开(公告)号：WO2009017071A1
公开(公告)日：2009-02-05
申请号：PCT/JP2008/063443
申请日：2008-07-25
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 藤田剛司 , 神田稔
发明人：藤田剛司 , 神田稔
IPC分类号： C03B20/00 , C03B19/09 , C30B15/10 , C30B29/06
CPC分类号： C03B19/095 , C30B15/10
摘要：　この石英ガラスルツボの製造方法では、有底円筒状のモールドを回転させつつ、石英粉をモールドの内壁面に堆積させる堆積工程と、前記モールドの内壁面に堆積させた石英粉を加熱溶融してガラス化することにより、石英ガラスルツボを得る溶融工程とを具備し、前記堆積工程において、石英粉の静電帯電量を絶対値で１.０kV以下の範囲に制御した状態で、前記石英粉をモールドの内壁面に供給することによって、モールドの内壁面の石英粉堆積層の密度を一定範囲に維持し、石英ガラスルツボの肉厚を制御する。
摘要翻译：一种石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，在使所述模具旋转的同时，在有底圆筒状模具的内壁面上沉积石英粉的沉积步骤，以及通过使沉积在所述石英玻璃坩埚上的石英粉末玻璃化来获得所述石英玻璃坩埚的熔融步骤通过加热和熔化石英粉，模具的内壁表面。在沉积步骤中，在将石英粉末的静电电荷量控制在1.0kV以下的绝对值的范围内的情况下，将石英粉施加到模具的内壁面，石英玻璃坩埚的厚度通过将模具内壁表面上的石英粉末沉积层的密度保持在一定范围内来进行控制。

5. 发明申请

WO2013099432A1 シリカガラスルツボおよびそれを用いた単結晶シリコンの生産方法审中-公开
标题翻译：二氧化硅玻璃巧克力和使用其生产单晶硅的方法
公开(公告)号：WO2013099432A1
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：PCT/JP2012/078258
申请日：2012-10-31
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社
发明人：須藤　俊明 , 佐藤　忠広 , 北原　江梨子 , 藤田　剛司
IPC分类号： C30B29/06 , C03B20/00 , C30B15/10
CPC分类号： C30B15/10 , C30B15/20 , C30B29/06 , Y10T117/1032
摘要：シリカガラスルツボの座屈及び側壁部のルツボ内部への倒れ込みを有効に抑制する。また、シリコン単結晶に転位が発生することを抑制し、単結晶収率を高める。上面に開口した縁部を有する円筒状の側壁部と、曲線からなるすり鉢状の底部と、側壁部および底部を連接するラウンド部と、を備える、単結晶シリコンの引き上げに用いられるシリカガラスルツボが提供される。このシリカガラスルツボの回転軸を通る断面において、ラウンド部の内表面の曲率が側壁部から底部の方向に向かって徐々に大きくなるように設けられている。
摘要翻译：本发明有效地防止二氧化硅玻璃坩埚翘曲或侧壁部分向坩埚内部塌陷，防止在单晶硅中发生位错，并提高单晶的产率。提供了用于提高单晶硅的石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚设置有具有在顶部开口的边缘的圆柱形侧壁部分，包括曲线的砂浆状底部部分和连接侧壁部分和底部部分。在通过石英玻璃坩埚的旋转轴的截面中，圆形部分的内表面的曲率以从底部朝向底部方向逐渐增加的方式设置。

6. 发明申请

WO2013099430A1 シリカガラスルツボ製造装置审中-公开
标题翻译：二氧化硅玻璃制造制造装置
公开(公告)号：WO2013099430A1
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：PCT/JP2012/078256
申请日：2012-10-31
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社
发明人：須藤　俊明 , 佐藤　忠広 , 山▲崎▼　眞介 , 飛田　修司 , 藤田　剛司 , 岸　弘史
IPC分类号： C03B20/00 , C30B15/10 , C30B29/06
CPC分类号： C03B19/095 , C30B15/10 , C30B29/06
摘要：　電極を移動可能としながらも、隔壁の貫通孔とこれに挿通された電極との隙間における粉塵またはヒュームの通過を抑制できる構造を備えたシリカガラスルツボ製造装置を提供する。そのために、一例として、貫通孔１６を閉塞手段３０により閉塞すると共に、閉塞手段３０に電極１３を挿通する挿入孔３２を形成し、閉塞手段３０による貫通孔１６の閉塞状態を保持しながら、電極１３の水平方向Ｔ１への移動に追従させるように挿入孔３２を水平方向Ｔ１に移動可能とするシリカガラスルツボ製造装置を提供する。
摘要翻译：本发明提供一种二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其具有能够使分隔壁内的贯通孔与插入其中的电极之间的间隙中的灰尘或烟雾的通过最小化的结构，同时允许电极移动。因此，提供了一种二氧化硅玻璃坩埚制造装置，其中，作为示例，通孔（16）被遮挡装置（30）吸住，并且插入孔（32），电极（13）穿过其中插入，形成在遮挡装置（30）中; 并且插入孔32能够沿着水平方向（T1）的电极（13）的移动而沿水平方向（T1）移动，同时通孔的闭塞状态（16）由遮挡装置（30）保持。

7. 发明申请

WO2011019012A1 シリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法审中-公开
标题翻译：二氧化硅玻璃生产设备可溶性硅酸盐玻璃的生产方法
公开(公告)号：WO2011019012A1
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：PCT/JP2010/063455
申请日：2010-08-09
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 鈴木江梨子 , 岸弘史 , 藤田剛司
发明人：鈴木　江梨子 , 岸　弘史 , 藤田　剛司
IPC分类号： C03B20/00 , C30B15/10 , C30B29/06
CPC分类号： C25B11/12 , C03B19/09 , C03B19/095 , C04B35/52 , C25B11/0405 , Y02P40/57
摘要：シリカガラスルツボの製造工程において、内表面の特性の低下を防止することが可能なシリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法を提供する。本発明のシリカガラスルツボの製造装置は、シリカガラスルツボの外形を規定するモールドと、複数の電極及び電力供給手段を具備するアーク放電手段とを有し、前記複数の電極のそれぞれは、前記モールドに向けられた先端部と、前記先端部の反対側の端である他端部と、前記先端部と前記他端部の間に設けられた曲部とを有する。
摘要翻译：本发明提供一种二氧化硅玻璃坩埚的制造装置和能够防止二氧化硅玻璃坩埚的内表面特性降低的二氧化硅玻璃坩埚的制造方法。用于石英玻璃坩埚的生产装置设置有规定石英玻璃坩埚的外形的模具和配备有多个电极和电源装置的电弧放电装置。上述多个电极中的每一个设置有朝向上述模具的端部，作为与上述端部相反的一侧的端部的另一端以及设置在上述端部与上述另一端部之间的曲线。

8. 发明申请

WO2011013695A1 シリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボ审中-公开
标题翻译：硅胶玻璃可溶于硅晶单晶
公开(公告)号：WO2011013695A1
公开(公告)日：2011-02-03
申请号：PCT/JP2010/062682
申请日：2010-07-28
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 佐藤賢
发明人：佐藤　賢
IPC分类号： C30B15/10 , C03B20/00 , C30B29/06
CPC分类号： C03B19/095 , C30B15/10 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y02P40/57 , Y10T117/1032
摘要：高温下での強度が高く、引き上げ終了後には簡単に取り出すことができるシリカガラスルツボを提供する。シリカガラスルツボ１０は、ルツボの外表面側に設けられたシリカガラス外層１３ａと、ルツボの内表面側に設けられたシリカガラス内層１３ｃと、シリカガラス外層１３ａとシリカガラス内層１３ｃとの間に設けられたシリカガラス中間層１３ｂとを備えている。シリカガラス外層１３ａは１００ｐｐｍ以上の鉱化剤濃度を有し、シリカガラス中間層１３ｂ及びシリカガラス内層１３ｃは５０ｐｐｍ以下の鉱化剤濃度を有する。シリカガラス外層１３ａ及びシリカガラス中間層１３ｂは天然シリカからなり、シリカガラス内層１３ｃは高純度天然シリカ又は合成シリカからなることが好ましい。底部１０Ｂにおけるシリカガラス外層１３ａの厚さは０．５ｍｍ～２．０ｍｍであり、側壁部１０Ａにおけるシリカガラス外層１３ａの厚さは、底部１０Ｂにおけるシリカガラス外層１３ａよりも厚い。
摘要翻译：公开了一种二氧化硅玻璃坩埚，其在高温下具有高强度，并且可以在牵引完成后容易地除去。具体公开了一种石英玻璃坩埚（10），其包括设置在坩埚的外表面侧的石英玻璃外层（13a），设置在坩埚的内表面侧的石英玻璃内层（13c）坩埚和设置在石英玻璃外层（13a）和石英玻璃内层（13c）之间的石英玻璃中间层（13b）。石英玻璃外层（13a）的矿化剂浓度不低于100ppm，而石英玻璃中间层（13b）和石英玻璃内层（13c）分别具有不大于50ppm的矿化剂浓度。石英玻璃外层（13a）和石英玻璃中间层（13b）优选由天然二氧化硅形成，石英玻璃内层（13c）由高纯度天然二氧化硅或合成二氧化硅形成。底部（10B）中的石英玻璃外层（13a）的厚度为0.5〜2.0mm，侧壁部（10A）中的石英玻璃外层（13a）的厚度比底部（10B）中的石英玻璃外层（13a）。

9. 发明申请

WO2009099084A1 石英ガラスルツボ审中-公开
标题翻译： QUARTZ玻璃可溶性
公开(公告)号：WO2009099084A1
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：PCT/JP2009/051845
申请日：2009-02-04
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 神田稔
发明人：神田稔
IPC分类号： C03B20/00 , C30B15/10 , C30B29/06
CPC分类号： C30B29/06 , C30B15/10
摘要：　大口径のルツボであっても、引き上げ時の高温下において内倒れ変形を生じ難い石英ガラスルツボを提供する。　石英ガラスルツボは、外面層が天然石英ガラスによって形成されており、内面層が合成石英ガラスによって形成されている。ルツボの直胴部は上方に向かって外側に開いた形状を有し、好ましくは、外開き部分の下端と上端の内径差が０.１％以上である。コーナ部の合成石英ガラス内面層の層厚は、コーナ部中央部分の肉厚の２０％以上～８０％以下であり、好ましくは、直胴部および底部の合成石英ガラス内面層がコーナ部の合成石英ガラス内面層より薄く形成されている。
摘要翻译：提供一种石英玻璃坩埚，即使具有大的开口直径，在高温下提升时也不易向内倾斜。石英玻璃坩埚由天然石英玻璃制成的外层和由合成石英玻璃制成的内层构成。坩埚的圆筒部分具有使得筒部向上加宽的形状。优选地，加宽部的下端和上端之间的内径差为0.1％以上。角部的合成石英玻璃内层的厚度为角部中心部的壁厚的20〜80％。优选地，筒部和底部的合成石英玻璃内层比角部的合成石英玻璃内层薄。

10. 发明申请

WO2009054529A1 石英ガラスルツボとその製造方法およびその用途审中-公开
标题翻译： QUARTZ玻璃巧克力，制造QUARTZ玻璃可溶性的方法和QUARTZ GLASS CRUCIBLE的应用
公开(公告)号：WO2009054529A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/JP2008/069482
申请日：2008-10-27
申请人：ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 佐藤賢
发明人：佐藤賢
IPC分类号： C30B29/06 , C03B20/00 , C30B15/10
CPC分类号： C30B35/002 , C03B19/095 , C30B15/10 , C30B29/06 , Y10T117/1032
摘要：　このシリコン単結晶引き上げ用の石英ガラスルツボは、シリコン単結晶引き上げ初期の湯面振動が抑制され、シリコン単結晶の肩部を安定に形成することができ、シリコン単結晶の高い単結晶化率を達成することができる。
摘要翻译：提供了用于拉制单晶硅的石英玻璃坩埚。通过使用石英玻璃坩埚，可以抑制在硅单晶拉伸的初始阶段的熔融水平振动，从而稳定地形成硅单晶的肩部，实现单晶结晶化率高。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式