基本信息:
- 专利标题: 石英ガラスルツボとその製造方法およびその用途
- 专利标题(英):Quartz glass crucible, method for manufacturing quartz glass crucible and application of quartz glass crucible
- 专利标题(中):QUARTZ玻璃巧克力,制造QUARTZ玻璃可溶性的方法和QUARTZ GLASS CRUCIBLE的应用
- 申请号:PCT/JP2008/069482 申请日:2008-10-27
- 公开(公告)号:WO2009054529A1 公开(公告)日:2009-04-30
- 发明人: 佐藤 賢
- 申请人: ジャパンスーパークォーツ株式会社 , 佐藤 賢
- 申请人地址: 〒0100065 秋田県秋田市茨島5丁目14番3号 Akita JP
- 专利权人: ジャパンスーパークォーツ株式会社,佐藤 賢
- 当前专利权人: ジャパンスーパークォーツ株式会社,佐藤 賢
- 当前专利权人地址: 〒0100065 秋田県秋田市茨島5丁目14番3号 Akita JP
- 代理机构: 志賀 正武 et al.
- 优先权: JP2007-277368 20071025
- 主分类号: C30B29/06
- IPC分类号: C30B29/06 ; C03B20/00 ; C30B15/10
摘要:
このシリコン単結晶引き上げ用の石英ガラスルツボは、シリコン単結晶引き上げ初期の湯面振動が抑制され、シリコン単結晶の肩部を安定に形成することができ、シリコン単結晶の高い単結晶化率を達成することができる。
摘要(中):
提供了用于拉制单晶硅的石英玻璃坩埚。 通过使用石英玻璃坩埚,可以抑制在硅单晶拉伸的初始阶段的熔融水平振动,从而稳定地形成硅单晶的肩部,实现单晶结晶化率高。