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1. 发明申请

WO2014064771A1 異常検知システム及び異常検知方法审中-公开
标题翻译：异常检测系统和异常检测方法
公开(公告)号：WO2014064771A1
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：PCT/JP2012/077354
申请日：2012-10-23
申请人：富士通株式会社
发明人：宇野　和史 , 武井　文雄 , 笠嶋　丈夫 , 只木　恭子 , 石鍋　稔
IPC分类号： G01K11/12 , G01K11/32 , G01D5/353 , G01L1/24
CPC分类号： G01D5/35358 , G01D5/353 , G01K11/32 , G01L1/24 , G01N21/47
摘要：【課題】化学プラント、製油工場及び火力発電所等の施設で発生する異常を初期段階で検知できる異常検知システム及び異常検知方法を提供する。【解決手段】異常検知システムは、光ファイバ２６と、後方散乱光検出部２０と、データ処理部３０とを有する。後方散乱光検出部２０は、光ファイバ２６の一端側及び他端側に接続され、一端側から光ファイバ２６に光を入射して後方散乱光の第１の強度分布を取得し、他端側から光ファイバ２６に光を入射して後方散乱光の第２の強度分布を取得する。データ処理部３０は、後方散乱光検出部３０で取得した第１の強度分布に対し第１のＦＩＲフィルタを作用させて得た値と、第２の強度分布に対し第２のＦＩＲフィルタを作用させて得た値との積を、光ファイバ２６の長さ方向の各位置毎に計算し、その結果から異常の有無を判定する。
摘要翻译： [问题]提供一种异常检测系统和异常检测方法，其能够在早期阶段检测在化学工厂，炼油厂和化石燃料发电厂等设施中发生的异常。 [解决方案]异常检测系统具有光纤（26），后向散射光检测器（20）和数据处理单元（30）。连接到光纤（26）的一端和另一端的反向散射光检测器（20）通过从一端向光纤（26）输入光，获得用于反向散射光的第一强度分布，并获取通过从另一端向光纤（26）输入光来进行背散射光的第二强度分布。数据处理单元（30）针对光纤（26）的纵向方向上的每个位置计算通过将第一有限脉冲响应（FIR）滤波器应用于用于后向散射光的第一强度分布而获得的值的乘积，以及通过对由后向散射光检测器（20）获取的用于后向散射光的第二强度分布施加第二FIR滤波器而获得的值，并且使用该结果来确定是否存在异常。

2. 发明申请

WO2014024309A1 QCMセンサとその製造方法审中-公开
标题翻译： QCM传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2014024309A1
公开(公告)日：2014-02-13
申请号：PCT/JP2012/070520
申请日：2012-08-10
申请人：富士通株式会社 , 丑込道雄
发明人：丑込　道雄
IPC分类号： G01N5/02
CPC分类号： G01N29/036 , G01N5/04 , G01N17/00 , G01N29/022 , G01N29/22 , G01N2291/014 , G01N2291/021 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0426 , Y10T29/49155
摘要：【課題】QCMセンサとその製造方法において、QCMセンサの感度を高めることを目的とする。【解決手段】水晶板２と、水晶板２の一方の主面２ａと他方の主面２ｂの各々に設けられた電極３とを有し、電極３に、平面視で輪郭線Pを備えたパターン２３が設けられたことを特徴とするQCMセンサによる。
摘要翻译：本发明的目的是提高QCM传感器在QCM传感器中的灵敏度和QCM传感器的制造方法。 [解决方案]该QCM传感器的特征在于具有分别设置在晶体板（2）的一个主表面（2a）和另一主表面（2b）上的晶体板（2）和电极（3）每个所述电极（3）设置有在平面图中设置有轮廓线（P）的图案（23）。

3. 发明申请

WO2013030969A1 温度分布測定システム、温度分布測定装置及び温度分布測定方法审中-公开
标题翻译：温度分布测量系统，温度分布测量装置和温度分布测量方法
公开(公告)号：WO2013030969A1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：PCT/JP2011/069711
申请日：2011-08-31
申请人：富士通株式会社 , 笠嶋丈夫 , 宇野和史 , 石鍋稔 , 只木恭子 , 武井文雄
发明人：笠嶋　丈夫 , 宇野　和史 , 石鍋　稔 , 只木　恭子 , 武井　文雄
IPC分类号： G01K11/12
CPC分类号： G01K11/32 , G01K15/00
摘要：【課題】測定温度分布の補正に使用する伝達関数の妥当性を容易に評価できる温度分布測定システム、温度分布測定装置及び温度分布測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】温度分布測定システムは、光ファイバ２４と、光ファイバ２４に光学的に接続されるレーザ光源２１と、光ファイバ２４内で後方散乱した光を検出する光検出器２６と、光検出器２６の出力から得られる測定温度分布に対し伝達関数を用いた補正計算を行う温度分布測定部２７とを有する。実温度分布測定部２７は、光ファイバ２４が敷設された場所の実温度分布を取得し、補正後の測定温度分布と実温度分布との差分を演算して、伝達関数の適否を判定する。
摘要翻译：发明内容本发明的目的在于提供一种温度分布测量系统，温度分布测量装置和温度分布测量方法，其能够容易地评估用于校正测量温度分布的传递函数的适当性。在本发明中，温度分布测量系统包括：光纤（24）; 与光纤（24）光学连接的激光源（21）; 光检测器（26），其检测在所述光纤（24）中反向散射的光; 以及温度分布测量单元（27），用于对从光检测器（26）的输出获得的测量温度分布进行使用传递函数的校正计算。实际温度分布测量单元（27）获取放置光纤（24）的位置处的实际温度分布，计算校正后的测量温度分布与实际温度分布之间的差值，并确定适用性传递函数。

4. 发明申请

WO2012081092A1 空調制御システム及び風量調整装置审中-公开
标题翻译：空气调节控制系统和气流调节装置
公开(公告)号：WO2012081092A1
公开(公告)日：2012-06-21
申请号：PCT/JP2010/072551
申请日：2010-12-15
申请人：富士通株式会社 , 宇野和史 , 武井文雄 , 笠嶋丈夫 , 柏川貴弘 , 石鍋稔 , 只木恭子
发明人：宇野　和史 , 武井　文雄 , 笠嶋　丈夫 , 柏川　貴弘 , 石鍋　稔 , 只木　恭子
IPC分类号： F24F11/053 , F24F13/10
CPC分类号： F24F11/0001 , H05K7/20745 , H05K7/20836
摘要：【課題】データセンター等の施設で消費する電力をより一層削減できる風量調整装置及び空調制御システムを提供する。【解決手段】計算機を収納したラックが配置される機器設置エリアと、機器設置エリアの床下に設けられて空調機から低温のエアーが供給されるフリーアクセスフロアとを連絡する通風口に、風量調整装置２０を配置する。この風量調整装置２０は、エアーが通る開口部２７が設けられた風量調整シート２２と、風量調整シート２２の一方の端部に接続されて風量調整シート２２を巻き取り可能な第１のロール２１ａと、第１のロール２１ａと離隔して配置され、風量調整シート２２の他方の端部に接続されて風量調整シート２２を巻き取り可能な第２のロール２１ｂとを有する。
摘要翻译： [问题]提供一种能够进一步降低诸如数据中心的设施的功率消耗的气流调节装置和空调控制系统。 [解决方案]气流调节装置（20）布置在通风口中，该排气口连接设置有机架的计算机的设备安装区域和设置在设备安装区域的地板下方的自由地板，提供空调的低温空气。该气流调节装置（20）具有：空气调节片（22），其配置有空气通过的开口部（27）与气流调节片（22）的一端连接并能够卷取气流调节片（22）的第一卷（21a）。和与第一辊（21a）一定距离配置的第二辊（21b）连接到气流调节片（22）的另一端，并且能够吸收气流调节片（22）。

5. 发明申请

WO2011111178A1 環境測定システム及び環境測定方法审中-公开
标题翻译：环境测量系统和环境测量方法
公开(公告)号：WO2011111178A1
公开(公告)日：2011-09-15
申请号：PCT/JP2010/053963
申请日：2010-03-10
申请人：富士通株式会社 , 武井文雄 , 宇野和史 , 笠嶋丈夫
发明人：武井　文雄 , 宇野　和史 , 笠嶋　丈夫
IPC分类号： G01N25/62
CPC分类号： G01N25/62 , G01N21/65 , G01N21/7703 , G01N21/81 , G01N2021/7773
摘要：【課題】水の補給を必要とせず、且つ多数の場所の温度及び湿度を比較的低コストで測定できる環境測定システム及び環境測定方法を提供する。【解決手段】光ファイバ１０に、湿式測定部１４ａ及び乾式測定部１５ａを設ける。湿式測定部１４ａには、発熱層１３と、潮解性を有する材料を分散させた樹脂により形成された吸湿層１４を設ける。また、乾式測定部１５ａには、発熱層１３と、水分を吸収しない材料からなる非吸湿層１５とを設ける。発熱層１３に電力を供給して発熱させ、乾式測定部１５ａ及び湿式測定部１４ａの温度を温度測定装置２０により測定する。そして、解析装置２５により乾式測定部１５ａ及びの温度と湿式測定部１４ａの温度上昇の差に基づいて湿度を算出する。
摘要翻译：公开了一种环境测量系统和环境测量方法，这两种方法都不需要补给水，并且可以以相对较低的成本在多个地方测量温度和湿度。光纤（10）设置有湿式测量部（14a）和干式测量部（15a）。湿式测量部件（14a）包括由分散在其中的潮解材料的树脂构成的发热层（13）和吸湿层（14）。干式测量部分（15a）包括由不能吸收水的材料组成的发热层（13）和不吸湿层（15）。向发热层（13）供给电力产生热量，干式测量部（15a）和湿式测定部（14a）的温度通过温度测定部（ 20）。基于通过分析单元（25）在干式测量部（15a）和湿式测量部（14a）之间的温度上升的差异来计算湿度。

6. 发明申请

WO2011052070A1 パターン計測装置及びパターン計測方法审中-公开
标题翻译：图案测量装置和图案测量方法
公开(公告)号：WO2011052070A1
公开(公告)日：2011-05-05
申请号：PCT/JP2009/068681
申请日：2009-10-30
申请人：株式会社アドバンテスト , 深谷洋 , 松本純
发明人：深谷　洋 , 松本　純
IPC分类号： G01B15/04 , G01N23/225 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01L21/027 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/222 , H01J2237/221 , H01J2237/24578 , H01J2237/28 , H01J2237/2817
摘要：ＳＥＭ画像のノイズやエッジラフネスの影響を小さくし、パターンのコーナー形状を高精度に計測可能なパターン計測装置及びパターン計測方法を提供する。パターン計測装置は、電子ビームを試料上に照射する照射手段と、電子ビームの照射によって、パターンが形成された試料上から発生する電子の電子量を検出する電子検出手段と、電子量を基に当該パターンのＳＥＭ画像を生成する画像処理手段と、ＳＥＭ画像のうちの計測対象部分を指定する矩形状の計測指定領域を取得して、計測指定領域の面積とパターンのコーナー部の面積からパターンのコーナー部のロス率を算出する制御手段と、を有する。制御手段は、計測指定領域の角とＳＥＭ画像の辺とが交差する位置に対して所定の範囲でのエッジ位置を検出し、エッジ位置に応じて計測指定領域を調整する。
摘要翻译：提供了图案测量装置和图形测量方法，其中SEM图像噪声和边缘粗糙度的影响减小，并且可以高精度地测量图案的拐角形状。图案测量装置具有：用电子束照射样品的照射装置; 电子检测装置，其通过电子束照射检测从其上形成图案的样品产生的电子量; 图像处理装置，其基于电子量生成图案的SEM图像; 以及控制装置，其获得在SEM图像中指定要测量的部分的矩形测量指定区域，并且基于测量指定区域的面积来计算图案的角部的损失率角色部分的图案。控制装置相对于测量指定区域和SEM图像的一侧的角度相交的位置在预定范围内检测边缘位置，并且调整与边缘位置相对应的测量确定区域。

7. 发明申请

WO2010109574A1 ステージ装置及びステージクリーニング方法审中-公开
标题翻译：阶段装置和清洁阶段的方法
公开(公告)号：WO2010109574A1
公开(公告)日：2010-09-30
申请号：PCT/JP2009/055630
申请日：2009-03-23
申请人：株式会社アドバンテスト , 大饗義久 , 清水陽一
发明人：大饗義久 , 清水陽一
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70925 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F7/70816 , G03F7/70916 , H01J37/3174 , H01J37/32862 , H01L21/67028
摘要：【課題】真空内でエアベアリングを使用したステージの軌道上のパーティクルを効率よく除去することが可能なステージ装置及びステージクリーニング方法を提供すること。【解決手段】真空内で使用されるステージ装置は、試料を載置する面を有した枠状の移動ステージと、移動ステージに囲まれる固定された固定ステージと、固定ステージと移動ステージとの間隙部に気体を供給して移動ステージを浮上させるエアベアリングと、気体の圧力を調整する圧力調整部と、間隙部から外部への気体の流出を阻止する差動排気部と、制御部と、を備える。制御部は、移動ステージの浮上量を移動ステージの使用時より低くしたときは差動排気部の圧力を移動ステージの使用時と同じ圧力にした状態にし、移動ステージの浮上量を移動ステージの使用時と同じ浮上量にしたときは差動排気部の圧力を移動ステージの使用時より高くした状態にして、移動ステージを所定の範囲で移動させる。
摘要翻译：使用空气轴承有效地除去在舞台轨道上的真空粒子的舞台装置; 以及清洗台的方法。在真空中使用的平台装置包括：框架状移动台，其具有用于安装样品的表面，由移动台包围的固定台，用于通过向固定台和固定台之间的间隙供应气体来浮动移动台的空气轴承移动台，用于调节气体压力的压力调节部分，用于防止气体从间隙流出到外部的差动排气部分和控制部分。当使用移动台时，当移动台的浮子的高度设定得小于浮子的高度时，控制部分控制使用移动平台时差压排气部分的压力等于压力。当使用移动台的浮动高度设定为等于使用移动台时浮子的高度时，控制部分将差动排气部分的压力控制为高于使用移动级时的压力，使得移动阶段可以在预定范围内移动。

8. 发明申请

WO2009157054A1 マルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置审中-公开
标题翻译：多光子电子束曝光装置和磁场发生装置
公开(公告)号：WO2009157054A1
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：PCT/JP2008/061431
申请日：2008-06-24
申请人：株式会社アドバンテスト , 安田洋 , 大饗義久 , 原口岳士
发明人：安田洋 , 大饗義久 , 原口岳士
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/143
CPC分类号： H01J37/143 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3174 , H01J2237/0635 , H01J2237/14
摘要：【課題】狭い空間に強磁場を発生させて各コラムセルの間隔を小さくすることのできるマルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置を提供すること。【解決手段】複数のコラムセルを備えるマルチコラム電子ビーム露光装置は、光軸方向に着磁された光軸対称な２個の環状永久磁石ＰＡ，ＰＢと永久磁石の近傍に配置されて永久磁石による磁場を調整する電磁コイルＥＣ１，ＥＣ２とが強磁性体枠７１によって取り囲まれた電子ビーム収束部と、各コラムセルで使用される電子ビームが通過する円型開口部が設けられ各円型開口部の側部に電子ビーム収束部が配置された基板とを備える。環状永久磁石ＰＡ，ＰＢは極性を対向させて光軸方向に上下２個配置され、環状永久磁石ＰＡ，ＰＢの半径方向の内側または外側に電磁コイルＥＣ１，ＥＣ２を設けるようにしてもよい。
摘要翻译： [问题]提供一种多柱电子束曝光装置，其在小空间中产生强磁场并减小列单元之间的间隔，并提供磁场产生装置。解决问题的手段电子束曝光装置具有多个柱单元。该装置设置有电子束聚焦部分，其中铁磁性框架（71）围绕两个在光轴方向被磁化并且相对于光轴对称的环形永磁体（PA，PB）和电磁线圈 EC1，EC2），其设置在永久磁铁附近，以调整由永磁体产生的磁场; 以及基板，其中布置有圆形开口部分，用于穿过用于每个列单元的电子束，并且电子束聚焦部分布置在每个圆形开口部分的一侧。两个环形永磁体（PA，PB）可以通过相反的极性彼此相对地在光轴方向上垂直布置，并且电磁线圈（EC1，EC2）可以布置在环形永磁体的半径方向内侧或外侧 PA，PB）。

9. 发明申请

WO2009066371A1 Ｄ／Ａ変換器及び電子ビーム露光装置审中-公开
标题翻译： D / A转换器和电子束光刻系统
公开(公告)号：WO2009066371A1
公开(公告)日：2009-05-28
申请号：PCT/JP2007/072455
申请日：2007-11-20
申请人：株式会社アドバンテスト , 矢原秀文
发明人：矢原秀文
IPC分类号： H03M1/68 , H03M1/10
CPC分类号： H03M1/1052 , H03M1/687
摘要：【課題】高分解能であってデジタル値に対する直線性がよいＤ／Ａ変換器及びそのＤ／Ａ変換器を搭載した電子ビーム露光装置を提供すること。【解決手段】Ｄ／Ａ変換器３０は、上位ビットのＤ／Ａ変換を行う第１のＤ／Ａ変換部と下位ビットのＤ／Ａ変換を行う第２のＤ／Ａ変換部で構成され、最下位ビットと同一の重み付けの補助ビットを備えたＤ／Ａ変換基本部３５と、補正用Ｄ／Ａ変換部３８と、補正用Ｄ／Ａ変換部３８のＤ／Ａ変換器に設定するデジタルコードを生成する誤差検出処理部３３と、制御部３４とを備える。制御部３４は、ビット電流源と当該ビット電流源より下位のビット電流源とを比較して、ビット電流源の値が変動したと判定したとき、補正用Ｄ／Ａ変換器に設定するデジタルコードを誤差検出処理部３３に生成させ、ビット電流源の値を補正する。
摘要翻译：本发明提供一种D / V转换器，该D / V转换器具有高分辨率并且具有相对于数字值的良好线性度以及配备有这种D / A转换器的电子束光刻系统。用于解决问题的手段AD / A转换器（30）包括由用于高阶位D / A转换的第一D / A转换部分和第二D / A转换部分构成的D / A转换基本单元（35）用于低位比特的D / A转换的部分，具有与最低有效位相同权重的辅助比特，校正D / A转换单元（38），用于产生数字要在校正D / A转换单元（38）的D / A转换器中设置的代码，以及控制单元（34）。控制单元（34）将第一位电流源与第二位电流源以比第一位电流源低的电平进行比较，允许误差检测单元（33）产生要在D中设置的数字代码 / A转换器，如果控制单元（34）判断位电流源的值已经改变，并且校正位电流源的值，则校正D / A转换单元（38）的/ A转换器。

10. 发明申请

WO2009013993A1 作品販売システムおよび作品販売プログラム审中-公开
标题翻译：工作销售系统和工作销售计划
公开(公告)号：WO2009013993A1
公开(公告)日：2009-01-29
申请号：PCT/JP2008/062215
申请日：2008-07-04
申请人：施井泰平
发明人：施井泰平
IPC分类号： G06Q30/00 , G06Q50/00
CPC分类号： G06Q30/08
摘要：【課題】多くの人から作品の評価を受けることを可能にし、その評価に応じた対価を合理的にアーティストに還元し、アーティストの創作意欲をいっそう高める作品販売システムの提供を目的とする。【解決手段】本システムでは、アーティストから初めて出品された作品を売買するプライマリーオークションと、その後の転売を目的とするセカンダリーオークションを含み、サーバーはプライマリーオークションか、セカンダリーオークションかを判別し、プライマリーオークションのとき、該サーバーは、入札してきたコレクターの中から落札者を選択するよう、該アーティスト端末に求める信号を送信する。一方、セカンダリーオークションのとき、入札価格が最も高い者を落札者として決定する。
摘要翻译： [问题]提供一个工作销售系统，使得有可能接受来自许多人的工作的评估，并通过合理地返回考虑来加强艺术家的创造性的敦促，以满足评估。 [解决问题的手段]工作销售系统包括首次拍卖从艺术家拍卖的作品的主要拍卖和旨在进行后续转售的二次拍卖。服务器区分主要拍卖和二次拍卖。在主要拍卖的情况下，服务器发送用于请求从招标收藏者向艺术家的终端选择中标者的信号。在二次拍卖的情况下，服务器确定出价最高的人作为中标者。

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