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    • 44. 发明申请
    • PROCEDE DE FABRICATION D'UNE COUCHE MONOCRISTALLINE, NOTAMMENT PIEZOELECTRIQUE
    • 生产单晶层的方法,特别是压电
    • WO2017108994A1
    • 2017-06-29
    • PCT/EP2016/082245
    • 2016-12-21
    • SOITEC
    • GHYSELEN, BrunoBETHOUX, Jean-Marc
    • C30B25/18C30B29/22H01L21/762H01L41/312
    • C30B29/22C30B25/186H01L21/76254H01L41/1873H01L41/312H01L41/316H01L41/319
    • L'invention concerne un procédé de fabrication d'une couche monocristalline (10), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes : - la fourniture d'un substrat donneur (100) comprenant un matériau piézoélectrique de composition ABO 3 , où A est constitué d'au moins un élément parmi : Li, Na, K, H, Ca; B est constitué d'au moins un élément parmi : Nb, Ta, Sb, V; - la fourniture d'un substrat receveur (110), - le transfert d'une couche (102) dite « couche germe » du substrat donneur (100) sur le substrat receveur (110) par collage du substrat donneur sur le substrat receveur de telle sorte que la couche germe (102) se trouve à l'interface de collage puis amincissement du substrat donneur (100) jusqu'à ladite couche germe (102); - la croissance, par épitaxie sur le matériau piézoélectrique ABO 3 de la couche germe (102), d'une couche monocristalline (103) de composition A'B'O 3 , où : A' est constitué d'au moins un des éléments suivants : Li, Na, K, H; B' est constitué d'au moins un des éléments suivants : Nb, Ta, Sb, V; A' est différent de A ou B' est différent de B.
    • 本发明涉及一种方法 用于制造单晶层(10),其特征在于它 在于它包括以下连续的步骤去: - 提供包括一垫é廖内PIéZOé组合物电ABO <子> 3 的供体基板(100),O&ugrave; A构成 以下中的至少一种:Li,Na,K,H,Ca; B构成 Nb,Ta,Sb,V中的至少一种; 提供接收衬底(110),传送所谓的层(102); 种子层&raquo; 由接收器基板上,使得所述种子层(102)是与agrave对施主衬底的接合接收衬底(110)上所述施主衬底(100); 然后粘合界面变薄供体衬底(100)直到 所述种子层(102); - 生长,通过外延é在籽晶层(102),单晶层的垫é廖内PIéZOé电动ABO <子> 3 (103)A'B'O组合物 3 ,其中&gt; :A'构成&oacute; 至少以下之一:Li,Na,K,H; B'构成&oacute; 至少以下之一:Nb,Ta,Sb,V; 它不同于A或B'与B不同。