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41. 发明申请

WO2011058884A1 光走査装置审中-公开
标题翻译：光学扫描装置
公开(公告)号：WO2011058884A1
公开(公告)日：2011-05-19
申请号：PCT/JP2010/069192
申请日：2010-10-28
申请人：日本電気株式会社 , 本田雄士
发明人：本田　雄士
IPC分类号： G02B26/10 , B81B3/00 , G02B26/08 , H04N1/113
CPC分类号： G02B26/105 , B81B3/0072 , B81B2201/042 , G02B26/0841 , H02N2/10
摘要：　本発明の光走査装置は、入射した光を反射する振動ミラーと、振動ミラーの一端に連結された第１の梁部と、振動ミラーの他端に連結された第２の梁部と、第１の梁部に連結され、第１の梁部と第１の調整部との間に配置され、振動ミラーを揺動させる第１の駆動部と、第１の駆動部に連結され、第１の梁部を弾性変形させることで、第１の梁部の弾性係数を調整する第１の調整部とを有する。
摘要翻译：公开了一种设有反射入射光的振荡镜的光学扫描装置，连接到所述振动反射镜的一端的第一光束部分; 连接到所述振动反射镜的另一端的第二光束部分; 连接到第一光束部分的第一驱动部分设置在第一光束部分和第一调节部分之间，并且振荡反射镜; 以及第一调整部，其连接到第一驱动部，并且通过使第一梁部弹性变形来调整第一梁部的弹性模量。

42. 发明申请

WO2010119857A1 アクチュエータ素子及び入力装置审中-公开
标题翻译：执行机构元件和输入装置
公开(公告)号：WO2010119857A1
公开(公告)日：2010-10-21
申请号：PCT/JP2010/056563
申请日：2010-04-13
申请人：アルプス電気株式会社 , 高橋功 , 芳賀宣明
发明人：高橋　功 , 芳賀　宣明
IPC分类号： H02N11/00 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2203/0118
摘要：【課題】　特に、簡単な構造で、十分な変位と大きな発生荷重を得ることが出来るアクチュエータ装置及び入力装置を提供することを目的としている。【解決手段】　一端が固定端１４、他端が自由端１６であり、電圧が印加されると湾曲する第１素子部２０と、前記第１素子部２０に比べて素子長さが短く形成されており、一端が前記第１素子部に接続され、電圧が印加されると前記第１素子部２０とは逆方向に湾曲して前記第１素子部２０を支える第２素子部２１と、を有する。
摘要翻译：提供了一种致动器元件和输入装置，其中可以通过直接的结构获得足够的位移和大的产生的负载。致动器元件包括第一元件（20），其一端是固定端（14），另一端是自由端（16）; 第一元件（20）在施加电压时弯曲。所述致动器元件还包括比所述第一元件（20）短的第二元件（21），所述第一元件的一端与所述第一元件连接; 当施加电压时，第二元件（21）沿与第一元件（20）相反的方向弯曲，并且支撑第一元件（20）。

43. 发明申请

WO2009128048A1 TUNABLE CAPACITOR AND SWITCH USING MEMS WITH PHASE CHANGE MATERIAL 审中-公开
标题翻译：使用具有相变材料的MEMS的可控硅电容器和开关
公开(公告)号：WO2009128048A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/IB2009/051606
申请日：2009-04-17
申请人： NXP B.V. , FURUKAWA, Yukiko , REIMANN, Klaus , RENDERS, Christina, Adriana , STEENEKEN, Peter, Gerard , VAN PIETERSON, Liesbeth , LIU, Jin , JEDEMA, Friso, Jacobus
发明人： FURUKAWA, Yukiko , REIMANN, Klaus , RENDERS, Christina, Adriana , STEENEKEN, Peter, Gerard , VAN PIETERSON, Liesbeth , LIU, Jin , JEDEMA, Friso, Jacobus
IPC分类号： H01G5/18 , H01L21/00 , H01H59/00 , B81C1/00
CPC分类号： H01G5/18 , B81B3/0072 , B81B2201/0221 , B81B2203/0118 , B81C2201/0167 , H01H1/0094
摘要： The present invention relates to a MEMS, being developed for e.g. a mobile communication application, such as switch, tunable capacitor, tunable filter, phase shifter, multiplexer, voltage controlled oscillator, and tunable matching network. The volume change of phase-change layer is used for a bi-stable actuation of the MEMS device. The MEMS device comprises at least a bendable cantilever, a phase change layer, and electrodes. A process to implement this device and a method for using is given.
摘要翻译：本发明涉及一种开发用于例如MEMS的MEMS。移动通信应用，如开关，可调电容器，可调滤波器，移相器，多路复用器，压控振荡器和可调匹配网络。相变层的体积变化用于MEMS器件的双稳态驱动。 MEMS器件至少包括可弯曲悬臂，相变层和电极。给出了实现该设备的过程和使用方法。

44. 发明申请

WO2009079188A1 MEMS RESONATOR STRUCTURE AND METHOD FOR USE IN ASSOCIATION WITH THE RESONATOR STRUCTURE 审中-公开
标题翻译： MEMS谐振器结构和使用与谐振器结构相关联的方法
公开(公告)号：WO2009079188A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/US2008084946
申请日：2008-11-26
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , LUTZ MARKUS , PAN ZHIYU , PARTRIDGE AARON
发明人： LUTZ MARKUS , PAN ZHIYU , PARTRIDGE AARON
IPC分类号： H03H3/007 , B81B3/00 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要： A microelectromechanical resonator may include one or more resonator masses that oscillates in a bulk mode and that includes a first plurality of regions each having a density, and a second plurality of regions each having a density, the density of each of the second plurality of regions differing from the density of each of the first plurality of regions. The second plurality of regions may be disposed in a non-uniform arrangement. The oscillation may include a first state in which the resonator mass is contracted, at least in part, in a first and/or a second direction, and expanded, at least in part, in a third and/or a fourth direction, the second direction being opposite the first direction, the fourth direction being opposite the third direction.
摘要翻译：微机电谐振器可以包括以体模式振荡的一个或多个谐振器质量块，并且其包括每个具有密度的第一多个区域和每个具有密度的第二多个区域，第二多个区域中的每个第二多个区域的密度不同于第一多个区域中的每一个的密度。第二多个区域可以以非均匀布置的方式设置。振荡可以包括其中谐振器质量至少部分地以第一和/或第二方向收缩并且至少部分地在第三和/或第四方向上膨胀的第一状态，第二状态方向与第一方向相反，第四方向与第三方向相反。

45. 发明申请

WO2009018304A2 SEMICONDUCTOR DEVICE 审中-公开
标题翻译：半导体器件
公开(公告)号：WO2009018304A2
公开(公告)日：2009-02-05
申请号：PCT/US2008/071533
申请日：2008-07-30
申请人： HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. , BHOWMIK, Siddhartha , KELLY, Steven, E.
发明人： BHOWMIK, Siddhartha , KELLY, Steven, E.
IPC分类号： B41J2/05 , B81B7/04
CPC分类号： B81B3/0072 , B41J2/1601 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B81B2201/052
摘要： Embodiments of a semiconductor device are disclosed.
摘要翻译：公开了半导体器件的实施例。

46. 发明申请

WO2008140488A2 WRINKLE-FREE NANOMECHANICAL FILM 审中-公开
标题翻译：无皱的纳米薄膜
公开(公告)号：WO2008140488A2
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/US2007/023986
申请日：2007-11-15
申请人： BOARD OF TRUSTEES OF MICHIGAN STATE UNIVERSITY , LEE, Ilsoon , HENDRICKS, Troy R.
发明人： LEE, Ilsoon , HENDRICKS, Troy R.
CPC分类号： B81B3/0072 , A61K8/0208 , A61Q19/08 , B32B27/08 , B32B27/14 , B32B2307/50 , B32B2555/00 , Y10T428/24942 , Y10T428/25 , Y10T428/259 , Y10T428/31938
摘要： Methods to control and prevent polymer films from buckling are provided. Buckled morphologies are created by thermally cycling or mechanically compressing a substrate such as poly(dimethylsiloxane) (PDMS) coated with a polyelectrolyte multilayer film. By varying the dimensions of the surface topography relative to the buckling wavelength (e.g., pattern size is less than, equal to, and greater than the buckling wavelength) the orientation and the local morphology of the buckled films is controlled. Based on the information obtained, we demonstrate how to alleviate the unavoidable buckling by incorporating nanoparticles into the film. In addition, we studied the effect of the silica layer that results from oxygen plasma treatment and the critical temperature for permanent film buckling.
摘要翻译：提供了控制和防止聚合物膜屈曲的方法。通过热循环或机械压缩诸如用聚电解质多层膜涂覆的聚（二甲基硅氧烷）（PDMS）的基底来产生弯曲的形态。通过改变表面形貌相对于弯曲波长的尺寸（例如，图案尺寸小于等于并且大于屈曲波长），控制屈曲膜的取向和局部形态。基于获得的信息，我们展示了如何通过将纳米颗粒纳入薄膜来减轻不可避免的屈曲。此外，我们研究了氧等离子体处理产生的二氧化硅层的影响和永久性膜屈曲的临界温度。

47. 发明申请

WO2008041585A1 光走査装置审中-公开
标题翻译：光学设备
公开(公告)号：WO2008041585A1
公开(公告)日：2008-04-10
申请号：PCT/JP2007/068674
申请日：2007-09-26
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所 , 明渡純 , 朴載赫 , 佐藤治道
发明人：明渡純 , 朴載赫 , 佐藤治道
IPC分类号： G02B26/10 , B81B3/00 , G02B26/08
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/042 , G02B26/0841 , G02B26/105
摘要：【課題】本発明は、上記捻れ梁部の捻れ方向のバネ定数や捻れ梁部自体の形状だけでは問題が解決されないことに鑑み、上記ミラ－部と捻り梁部が連結・支持されている基板自体のバネ定数や形状を、周囲環境温度の変化や量産時のバラツキに合わせて変化させることにより、上記ミラ－部が捻れ梁部によって支えられた振動子の捻れ振動の共振周波数ｆを一定に保つ機能と構造を有する光走査装置を提供することを第１の目的とする。【解決手段】本発明光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラ－部と、基板を振動させる駆動源と、ミラ－部に光を投射する光源とを備え、ミラ－部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラ－部に投射される光の反射光の方向がミラ－部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に駆動源を設けるとともに、基板自体の形状を制御する基板形状制御手段を基板に設けることを特徴としている。
摘要翻译： [待解决的问题]考虑到仅通过扭转梁构件的扭转方向上的弹簧常数和梁构件本身的形状不能解决的问题，弹簧常数和基板本身的形状其中反射镜单元和扭转梁构件被连接和支撑，根据大规模生产时的环境温度变化和分散而改变，并且主要目的是提供具有这种功能的光学扫描装置和其结构是将振动元件的扭转振动的共振频率（f）保持恒定，该振动元件的反射镜单元由扭转梁支撑。解决问题的手段在设置有基板的光学扫描装置中，与基板连接的加捻梁构件，由扭转梁支撑的反射镜单元，振动板的驱动源和用于突出的光源光反射镜单元，其中反射镜单元通过驱动源与施加到基板的振动谐振，并且从光源投射到反射镜单元的反射光方向根据反射镜单元的振动而改变光学扫描装置的特征在于，在基板的与基板和扭转梁的连接部分分开的一部分处设置驱动源，以及设置在基板处的基板形状控制装置，用于控制基板的形状底板本身。

48. 发明申请

WO2008002459A2 SUPPORT STRUCTURE FOR FREE-STANDING MEMS DEVICE AND METHODS FOR FORMING THE SAME 审中-公开
标题翻译：用于自由站立MEMS器件的支持结构及其形成方法
公开(公告)号：WO2008002459A2
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/US2007014513
申请日：2007-06-21
申请人： QUALCOMM INC , KOGUT LIOR , TUNG MING-HAU , ARBUCKLE BRIAN
发明人： KOGUT LIOR , TUNG MING-HAU , ARBUCKLE BRIAN
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072
摘要： A microelectromechanical (MEMS) device includes a functional layer including a first material and a deformable layer including a second material. The second material is different from the first material. The deformable layer is mechanically coupled to the functional layer at a junction. The functional layer and the deformable layer have substantially equal internal stresses at the junction.
摘要翻译：微机电（MEMS）装置包括包括第一材料和包括第二材料的可变形层的功能层。第二种材料与第一种材料不同。可变形层在结处机械耦合到功能层。功能层和可变形层在接合处具有基本相等的内应力。

49. 发明申请

WO2007097472A1 CONDENSER MICROPHONE 审中-公开
标题翻译：冷凝器麦克风
公开(公告)号：WO2007097472A1
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：PCT/JP2007/053978
申请日：2007-02-23
申请人： YAMAHA CORPORATION , SUZUKI, Toshihisa , SUZUKI, Yukitoshi , YAGUCHI, Nariyasu , SAKURAUCHI, Kazushi
发明人： SUZUKI, Toshihisa , SUZUKI, Yukitoshi , YAGUCHI, Nariyasu , SAKURAUCHI, Kazushi
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H04R2499/11
摘要： A condenser microphone includes a substrate having a cavity, first and second spacers defining an opening, a diaphragm having a rectangular shape positioned inside of the opening, and a plate having a rectangular shape positioned just above the diaphragm. Plate joint portions integrally interconnected with two sides of the plate are directly attached onto the second spacer. Supports, which are attached onto the second spacer across the opening and project inwardly of the opening, are connected to the prescribed portions of the diaphragm via third spacers relatively to the other two sides of the plate. The center portion of the diaphragm can be designed in a multilayered structure, and the peripheral portion can be bent outwardly. In addition, both ends of the diaphragm are fixed in position, while free ends of the diaphragm vibrate due to sound waves.
摘要翻译：电容麦克风包括具有空腔的基板，限定开口的第一和第二间隔件，位于开口内侧的具有矩形形状的隔膜以及位于隔膜正上方的具有矩形形状的板。与板的两侧整体互连的板接合部分直接附接到第二间隔件上。通过开口附接到第二间隔件并且向开口内部突出的支撑件相对于板的另外两侧经由第三间隔件连接到隔膜的规定部分。隔膜的中心部分可以设计成多层结构，并且周边部分可以向外弯曲。此外，隔膜的两端固定就位，隔膜的自由端由于声波而振动。

50. 发明申请

WO2007053308A2 DIFFUSION BARRIER LAYER FOR MEMS DEVICES 审中-公开
标题翻译：用于MEMS器件的扩散障碍层
公开(公告)号：WO2007053308A2
公开(公告)日：2007-05-10
申请号：PCT/US2006/040775
申请日：2006-10-19
申请人： IDC, LLC , WANG, Hsin-Fu , TUNG, Ming-Hau , ZEE, Stephen
发明人： WANG, Hsin-Fu , TUNG, Ming-Hau , ZEE, Stephen
IPC分类号： G02B26/00 , B81B3/00 , H01L23/06
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0072 , B81B2201/047 , B81C1/00793 , B81C2201/0167
摘要： Described herein is the use of a diffusion barrier layer between metallic layers in MEMS devices. The diffusion barrier layer prevents mixing of the two metals, which can alter desired physical characteristics and complicate processing. In one example, the diffusion barrier layer may be used as part of a movable reflective structure in interferometric modulators.
摘要翻译：这里描述的是在MEMS器件中在金属层之间使用扩散阻挡层。扩散阻挡层防止两种金属的混合，这可以改变期望的物理特性并使加工变得复杂。在一个示例中，扩散阻挡层可以用作干涉式调制器中的可移动反射结构的一部分。

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