专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2012110708A1 NOVEL MICROMECHANICAL DEVICES 审中-公开
标题翻译：新型微生物装置
公开(公告)号：WO2012110708A1
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：PCT/FI2012/050157
申请日：2012-02-17
申请人： TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT , PENSALA, Tuomas , JAAKKOLA, Antti , GANCHENKOVA, Maria , PRUNNILA, Mika , KIIHAMÄKI, Jyrki
发明人： PENSALA, Tuomas , JAAKKOLA, Antti , GANCHENKOVA, Maria , PRUNNILA, Mika , KIIHAMÄKI, Jyrki
IPC分类号： H03H9/02 , H03H3/007 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/02448 , B81B3/0078 , B81B2201/0271 , H01L41/18 , H03H3/0072 , H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519 , H03H2009/241 , H03H2009/2442 , Y10T29/42
摘要： The invention concerns a micromechanical device and method of manufacturing thereof. The device comprises an oscillating or deflecting element (16) made of semiconductor material comprising n-type doping agent and excitation or sensing means (10, 14) functionally connected to said oscillating or deflecting element (16). According to the invention, the oscillating or deflecting element (16) is essentially homogeneously doped with said n-type doping agent. The invention allows for designing a variety of practical resonators having a low temperature drift.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械装置及其制造方法。该装置包括由半导体材料制成的振荡或偏转元件（16），其包括n型掺杂剂和功能性地连接到所述振荡或偏转元件（16）的激励或感测装置（10,14）。根据本发明，振荡或偏转元件（16）基本均匀地掺杂有所述n型掺杂剂。本发明允许设计具有低温度漂移的各种实用谐振器。

2. 发明申请

WO2012106278A1 MEMS SENSORS WITH CLOSED NODAL ANCHORS FOR OPERATION IN AN IN-PLANE CONTOUR MODE 审中-公开
标题翻译：具有封闭式NODAL锚杆的MEMS传感器，用于在平面轮廓模式下操作
公开(公告)号：WO2012106278A1
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：PCT/US2012/023212
申请日：2012-01-31
申请人： ANALOG DEVICES, INC. , SPARKS, Andrew, W. , SAWYER, William, D.
发明人： SPARKS, Andrew, W. , SAWYER, William, D.
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036 , H03H9/10 , B81B7/00
CPC分类号： G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/02818 , G01N2291/0427 , H03H9/1057 , H03H2009/02503 , Y10T29/49007
摘要： A MEMS sensor includes at least one closed nodal anchor (106) along a predetermined closed nodal path (206) on at least one surface of a resonant mass. The resonant mass may be configured to resonate substantially in an in-plane contour mode. Drive and/or sense electrodes may be disposed within cavity (108) formed at least in part by the resonant mass (104), the closed nodal anchor (106), and a substrate (102). The closed nodal anchor acts as a hermetic barrier between the cavity and an external environment containing th analyte to be tested by the sensor.
摘要翻译： MEMS传感器包括沿共振体的至少一个表面上的预定闭合节点路径（206）的至少一个闭合节点锚（106）。共振质量可以被配置为基本上在平面内轮廓模式下谐振。驱动和/或感测电极可以设置在至少部分地由谐振块（104），闭合节点锚（106）和基底（102）形成的腔（108）内。封闭的节点锚作用在空腔和包含要由传感器测试的分析物的外部环境之间的密封屏障。

3. 发明申请

WO2012020601A1 ディスク型ＭＥＭＳ振動子审中-公开
标题翻译：盘式MEMS振动器
公开(公告)号：WO2012020601A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/JP2011/063991
申请日：2011-06-13
申请人：日本電波工業株式会社 , 齊藤健史 , 木村悟利
发明人：齊藤　健史 , 木村　悟利
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00 , H03H3/007
CPC分类号： H01L41/047 , B81B2201/0271 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2436 , H03H2009/02503
摘要：　エッチング処理時に、ディスク下面に犠牲層の残渣が発生せず、きれいに除去されるようにする。　ディスク型の振動子構造体１と、該振動子構造体１の両側に前記ディスク型振動子構造体の外周部に対して所定の空隙ｇを有して、それぞれ対向して配置される一対の駆動電極２，２と、該駆動電極２，２に同相の交流バイアス電圧を印加する手段と、前記ディスク型振動子構造体１と前記駆動電極２，２との間の静電容量に対応した出力を得る検出手段とを備えた静電駆動型のディスク型振動子において、前記ディスク型振動子構造体１がディスクの中心に貫通孔１ａを有し、ワイン・グラス・モードで振動される。
摘要翻译：为了在蚀刻期间提供在盘下表面上完全去除牺牲层而不留下残留物，静电驱动型盘式振动器包括：盘式振动器结构（1）; 一对驱动电极（2）从盘式振动器结构的周边部分规定的间隙（g），并配置在振动器结构（1）的两侧以便彼此相对; 用于将相同相位的交流偏压施加到驱动电极（2,2）的装置; 以及检测装置，其获得与盘式振动器结构（1）和驱动电极（2,2）之间的电容相对应的输出。盘式振动器结构（1）在盘的中心具有通孔（1a），并以葡萄酒玻璃模式振动。

4. 发明申请

WO2010142643A1 RÉSONATEUR ÉLECTROMÉCANIQUE A ANCRAGE RÉSONANT 审中-公开
标题翻译：具有谐振锚的电磁共振器
公开(公告)号：WO2010142643A1
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：PCT/EP2010/057928
申请日：2010-06-07
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , HENTZ, Sébastien , ARCAMONE, Julien
发明人： HENTZ, Sébastien , ARCAMONE, Julien
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/24 , G01C19/56
CPC分类号： H03H9/02338 , H03H3/0072 , H03H9/2436 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503 , H03H2009/02527 , H03H2009/2442
摘要： L' invention concerne un résonateur électromécanique réalisé sur un substrat (1), comprenant: une structure suspendue (2) réalisée au moins en partie à partir du substrat, destinée à être mise en vibration pour résonner à au moins une fréquence de résonance propre à la structure suspendue, une structure d'ancrage (4) pour ancrer la structure suspendue, par au moins une zone de sa périphérie, au reste du substrat, la structure d'ancrage étant dimensionnée pour résonner à ladite fréquence de résonance, des moyens d'excitation de la structure suspendue pour la faire vibrer à ladite fréquence de résonance, des moyens de détection de la fréquence de vibration de la structure suspendue. Elle concerne également un procédé de réalisation d'un tel oscillateur.
摘要翻译：本发明涉及一种在基板（1）上形成的电磁谐振器，包括：至少部分地由基板制成的悬挂结构（2），用于振动，以便至少谐振至少一个特定于悬挂结构的谐振频率 ; 锚固结构（4），用于通过其周边的至少一个区域将悬挂结构锚固到基板的其余部分，锚结构的尺寸使得在所述谐振频率处共振; 用于激励悬挂结构以使所述结构以所述共振频率振动的装置; 用于检测悬挂结构的振动频率的装置。本发明还涉及一种用于制造这种振荡器的方法。

5. 发明申请

WO2009047266A1 COMPOSANT ELECTROMECANIQUE VIBRANT A L'ECHELLE NANOMETRIQUE OU MICROMETRIQUE A NIVEAU DE DETECTION AUGMENTE 审中-公开
标题翻译：在具有增强检测水平的纳米或微尺度的电化学组分振荡
公开(公告)号：WO2009047266A1
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：PCT/EP2008/063468
申请日：2008-10-08
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE , STMICROELECTRONICS SA , CASSET, Fabrice , DURAND, Cédric
发明人： CASSET, Fabrice , DURAND, Cédric
IPC分类号： H03H9/02 , H03H3/007
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H3/0072 , H03H9/2436 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要： Il s'agit d'un composant électromécanique vibrant à l'échelle nanométrique ou micrométrique comportant un élément mécanique vibrant (1) qui coopère avec au moins une électrode dite de détection (2). L'électrode de détection (2) est souple et est destinée à vibrer en opposition de phase par rapport à l'élément mécanique vibrant (1). Application aux résonateurs ou aux capteurs de mouvement.
摘要翻译：本发明涉及一种在纳米级或微尺度上振动的机电部件，其包括与至少一个所谓的检测电极（2）相互作用的振动机械部件（1）。检测电极（2）是柔性的并且可以相对于振动机械构件（1）相对振动。本发明可用于谐振器和运动检测器。

6. 发明申请

WO2006124303A1 MICROELECTROMECHANICAL RESONATOR STRUCTURE, AND METHOD OF DESIGNING, OPERATING AND USING SAME 审中-公开
标题翻译：微电子谐振器结构及其设计，操作和使用方法
公开(公告)号：WO2006124303A1
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：PCT/US2006/017070
申请日：2006-05-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PARTRIDGE, Aaron , LUTZ, Markus
发明人： PARTRIDGE, Aaron , LUTZ, Markus
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2405 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
摘要： A micromechanical resonator structure including a plurality of straight or substantially straight beam sections that are connected by curved or rounded sections. Each elongated beam section is connected to another elongated beam section at a distal end via the curved or rounded sections thereby forming a geometric shape having at least two elongated beam sections that are interconnected via curved or rounded sections (for example, a rounded triangle shape, rounded square or rectangle shape). The structure includes one or more nodal points or areas (i.e., portions of the resonator structure that are stationary, experience little movement, and/or are substantially stationary during oscillation of the resonator structure) in one or more portions or areas of the curved sections of the structure. The nodal points are suitable and/or preferable locations to anchor the resonator structure to the substrate. In operation, the resonator structure oscillates in a combined elongating (or breathing) mode and bending mode; that is, the beam sections (which oscillate or vibrate at the same frequency) exhibit an elongating-like (or breathing-like) motion and a bending-like motion.
摘要翻译：微机械谐振器结构包括通过弯曲或圆形部分连接的多个直的或基本上直的梁部分。每个细长梁部分经由弯曲或圆形部分在远端处连接到另一个细长梁部分，从而形成具有至少两个细长梁部分的几何形状，所述细长梁部分经由弯曲或圆形部分（例如，圆形三角形形状，圆形正方形或矩形）。该结构包括在弯曲部分的一个或多个部分或区域中的一个或多个节点或区域（即，谐振器结构的静止的部分，经历少量运动和/或在谐振器结构的振荡期间基本静止）的结构。节点是合适的和/或优选的位置，以将谐振器结构锚固到衬底。在操作中，谐振器结构以组合延长（或呼吸）模式和弯曲模式振荡; 也就是说，波束部分（以相同的频率振荡或振动）表现出伸长状（或呼吸状）运动和弯曲状运动。

7. 发明申请

WO2005015735A2 MICROMECHANICAL RESONATOR DEVICE AND METHOD OF MAKING A MICROMECHANICAL DEVICE 审中-公开
标题翻译：微机械谐振器装置及制造微机电装置的方法
公开(公告)号：WO2005015735A2
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/US2003/040334
申请日：2003-12-17
申请人： THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN , NGUYEN, Clark, T., C. , ABDELMONEUM, Mohamed, A.
发明人： NGUYEN, Clark, T., C. , ABDELMONEUM, Mohamed, A.
IPC分类号： H03H
CPC分类号： H03H9/02338 , H03H3/0072 , H03H9/2431 , H03H9/2436 , H03H2009/02354 , H03H2009/02503
摘要： A micromechanical resonator device and a method of making the micromechanical resonator device, as well as other extensional mode devices are provided wherein anchor losses are minimized by anchoring at one or more side nodal points of the resonator device. Lower damping forces are experienced by the resonator device when operated in air.
摘要翻译：提供微机械谐振器装置和制造微机械谐振器装置的方法以及其它拉伸模式装置，其中锚固损耗通过锚定在谐振器装置的一个或多个侧节点处被最小化。当在空气中操作时，谐振器装置经历较低的阻尼力。

8. 发明申请

WO2015041152A1 振動装置及びその製造方法审中-公开
标题翻译：振荡器件及其制造方法
公开(公告)号：WO2015041152A1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：PCT/JP2014/074131
申请日：2014-09-11
申请人：株式会社村田製作所
发明人：山田　宏 , 梅田　圭一 , 岸　武彦 , 西村　俊雄
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/02
CPC分类号： H03H9/171 , H03H3/0072 , H03H3/02 , H03H9/02448 , H03H9/2484 , H03H9/2489 , H03H2003/027 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241
摘要：　温度変化による共振周波数のばらつきを抑制することができる、振動装置を提供する。　支持部２と、上記支持部２に接続されており、かつ縮退半導体であるｎ型Ｓｉ層１１を有する振動腕３ａ，３ｂ，３ｃと、上記振動腕３ａ，３ｂ，３ｃを励振させるように設けられている電極１６，１７とを備え、上記ｎ型Ｓｉ層１１の下面に接するように、不純物を含有するシリコン酸化膜１２，１３が設けられている、振動装置１。
摘要翻译：提供了能够抑制由于温度变化引起的共振频率波动的振荡装置。振荡装置（1）包括：支撑部（2）; 连接到支撑部分（2）并且具有作为简并半导体的n型Si层（11）的振荡臂（3a，3b，3c）以及设置成摆动摆动臂（3a，3b，3c）的电极（16,17）。设置含有杂质的氧化硅膜（12,13），以便接触n型Si层（11）的下表面。

9. 发明申请

WO2013048845A1 CROSS-SECTIONAL DILATION MODE RESONATORS AND RESONATOR-BASED LADDER FILTERS 审中-公开
标题翻译：交叉分段模式谐振器和基于谐振器的梯形滤波器
公开(公告)号：WO2013048845A1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/US2012/056204
申请日：2012-09-20
申请人： QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. , ZUO, Chengjie , YUN, Changhan , LO, Chi Shun , ALLEN, Wesley Nathaniel , VELEZ, Mario Francisco , KIM, Jonghae , JOO, Sanghoon
发明人： ZUO, Chengjie , YUN, Changhan , LO, Chi Shun , ALLEN, Wesley Nathaniel , VELEZ, Mario Francisco , KIM, Jonghae , JOO, Sanghoon
IPC分类号： H03H9/46 , H03H9/02 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/462 , H03H9/02228 , H03H9/2405 , H03H9/2426 , H03H2009/02503 , H03H2009/241
摘要： Electromechanical systems dilation mode resonator (DMR) structures are disclosed. The DMR includes a first electrode layer, a second electrode layer, and a piezoelectric layer formed of a piezoelectric material. The piezoelectric layer has dimensions including a lateral distance (D), in a plane of an X axis and a Y axis perpendicular to the X axis, and a thickness (T), along a Z axis perpendicular to the X axis and the Y axis. A numerical ratio of the thickness and the lateral distance, T/D, is configured to provide a mode of vibration of the piezoelectric layer with displacement along the Z axis and along the plane of the X axis and the Y axis responsive to a signal provided to one or more of the electrodes. Ladder filter circuits can be constructed with DMRs as series and/or shunt elements, and the resonators can have spiral configurations.
摘要翻译：公开了机电系统扩张模式谐振器（DMR）结构。 DMR包括第一电极层，第二电极层和由压电材料形成的压电层。压电体层具有在与X轴正交的X轴和Y轴的平面内的横向距离（D）和与X轴正交的Z轴的厚度（T）。厚度和横向距离T / D的数值比被配置为提供压电层的振动模式，其具有沿Z轴的位移并且沿着X轴和Y轴的平面响应所提供的信号到一个或多个电极。梯形滤波器电路可以用DMR构造为串联和/或分流元件，并且谐振器可以具有螺旋配置。

10. 发明申请

WO2012004469A1 MODULE DE DÉCOUPLAGE MÉCANIQUE D'UN RÉSONATEUR À GRAND COEFFICIENT DE QUALITÉ 审中-公开
标题翻译：具有高质量因子的谐振器的机械解耦模块
公开(公告)号：WO2012004469A1
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：PCT/FR2011/000389
申请日：2011-07-04
申请人： OFFICE NATIONAL D'ETUDES ET DE RECHERCHES AÉROSPATIALES (ONERA) , BAHRIZ, Michaël , LE TRAON, Olivier
发明人： BAHRIZ, Michaël , LE TRAON, Olivier
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/2405 , H03H9/02338 , H03H9/02433 , H03H9/2452 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
摘要： Le dispositif (10) comporte un résonateur cylindrique (R) vibrant en extension-compression suivant son axe longitudinal (Δ) et présentant un nœud de vibration (N) dans son plan médian (π), ladite vibration induisant naturellement des déformations radiales d'extension-compression, et un module de découplage mécanique comportant un cylindre creux (2) entourant le résonateur et une membrane (1) disposée dans ledit plan médian et solidaire de la surface cylindrique du résonateur et de la surface cylindrique intérieure du cylindre creux. Le cylindre creux vibre en extension- compression en opposition de phase avec la vibration du résonateur, permettant que les effets des déformations radiales du cylindre creux et du résonateur se compensent dans une zone (ZF) située sur la surface extérieure du cylindre creux au voisinage dudit plan médian.
摘要翻译：本发明涉及一种装置（10），包括：圆柱形谐振器（R），其沿着纵向轴线（θ）在延伸/压缩中振动并且在其中间平面（p）中具有振动节点（N），所述自然振动产生径向延伸/压缩变形; 以及包括围绕所述谐振器的中空圆柱体（2）和设置在所述中间平面中并刚性地连接到所述谐振器的圆柱形表面和所述中空圆柱体的内部圆柱形表面的膜（1）的机械解耦模块。中空圆筒与谐振器的振动相反地延伸/压缩地振动，使得中空圆柱体和谐振器经历的径向变形的影响在位于外部表面上的区域（ZF）中相互抵消中空圆柱靠近中平面。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式