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21. 发明申请

WO2015036923A1 GYROSCOPE STRUCTURE AND GYROSCOPE WITH IMPROVED QUADRATURE COMPENSATION 审中-公开
标题翻译：具有改进的平衡补偿的陀螺结构和陀螺仪
公开(公告)号：WO2015036923A1
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：PCT/IB2014/064375
申请日：2014-09-10
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： RINKIÖ, Marcus , BLOMQVIST, Anssi , RUOHIO, Jaakko
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/5776
CPC分类号： G01C19/5712 , B81B7/02 , G01C19/5755 , G01C19/5776
摘要： A microelectromechanical gyroscope structure that comprises a seismic mass, a body element, and a spring structure suspending the seismic mass to the body element. In primary oscillation at least part of the seismic mass oscillates in out-of-plane direction. A first conductor is arranged to move with the seismic mass, and a second conductor is attached to the body element. The conductors include adjacent surfaces that extend in the first direction and the third direction. A voltage element is arranged to create between the first surface and the second surface a potential difference and thereby induce an electrostatic force in the second direction and modulated by the primary oscillation of the seismic mass.
摘要翻译：一种微机电陀螺仪结构，其包括将地震质量块，身体元件和将地震块悬挂在身体元件上的弹簧结构。在主振荡中，至少部分地震质量在平面外方向振荡。第一导体被布置成与抗震块一起移动，并且第二导体附接到主体元件。导体包括在第一方向和第三方向上延伸的相邻表面。电压元件布置成在第一表面和第二表面之间产生电位差，从而在第二方向上产生静电力并通过地震块的主振荡进行调制。

22. 发明申请

WO2014184026A1 DREHRATENSENSOR UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES DREHRATENSENSORS 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器和方法操作旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2014184026A1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：PCT/EP2014/059064
申请日：2014-05-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： SCHEBEN, Rolf , MAUL, Robert , KUHLMANN, Burkhard , HATTASS, Mirko , BALSLINK, Thorsten , SCHMIDT, Benjamin , AMELING, Ralf
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Es wird ein Drehratensensor zur Detektion einer Rotationsbewegung des Drehratensensors um eine Rotationsachse vorgeschlagen, wobei sich die Rotationsachse innerhalb einer Antriebsebene des Drehratensensors erstreckt, wobei der Drehratensensor ein erstes Rotationselement, ein zweites Rotationselement und eine parallel zur Antriebsebene bewegbare Antriebsstruktur aufweist, wobei das erste Rotationselement um ein erstes Rotationszentrum zu einer zur Antriebsebene parallelen ersten Rotationsschwingung antreibbar ist, wobei das zweite Rotationselement um ein zweites Rotationszentrum zu einer zur Antriebsebene parallelen zweiten Rotationsschwingung antreibbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsstruktur mit dem ersten Rotationselement und mit dem zweiten Rotationselement gekoppelt ist, wobei die Antriebsstruktur zur Erzeugung einer gegenphasigen Antriebsmode der ersten Rotationsschwingung und der zweiten Rotationsschwingung konfiguriert ist.
摘要翻译：提出了一种偏航速率传感器，用于检测旋转速率传感器绕旋转轴线，其中所述旋转轴的旋转率传感器的驱动电平内延伸的旋转运动，横摆率传感器包括第一旋转构件，第二旋转构件和可沿平行于驱动器级驱动结构的，其中，所述第一旋转元件向第一旋转中心可以被驱动到平行于所述驱动器平面的第一旋转振动，其中，所述第二旋转构件能够平行的方向被驱动以在驱动平面第二旋转振动有关的第二旋转中心，其特征在于所述驱动器结构耦合到所述第一旋转构件和第二旋转构件，其特征在于驱动结构被配置用于产生第一旋转振动的反相位驱动模式和第二旋转振荡。

23. 发明申请

WO2014166851A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2014166851A1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：PCT/EP2014/056892
申请日：2014-04-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： REINMUTH, Jochen
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5719 , G01C19/574
摘要： Es wird eine mikromechanische Struktur vorgeschlagen, insbesondere ein Drehratensensor, mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat, einem ersten Corioliselement, einem zweiten Corioliselement, einer Antriebseinrichtung zur Auslenkung des ersten Corioliselements und des zweiten Corioliselements aus einer Ruhelage und einer Detektionseinrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Corioliselement bezüglich einer parallel zur Haupterstreckungsebene verlaufenden ersten Achse massensymmetrisch zu dem zweiten Corioliselement ausgebildet ist, wobei das erste Corioliselement und das zweite Corioliselement eine gemeinsame Haupterstreckungsebene aufweisen, wobei die gemeinsame Haupterstreckungsebene in der Ruhelage parallel zu der Haupterstreckungsebene des Substrats verläuft, wobei das erste Corioliselement und das zweite Corioliselement bezüglich einer senkrecht zur ersten Achse verlaufenden zweiten Achse jeweils massensymmetrisch ausgebildet sind, wobei das erste Corioliselement und das zweite Corioliselement durch die Antriebseinrichtung zu einer Rotationsschwingung um die erste Achse antreibbar sind, wobei das erste Corioliselement und das zweite Corioliselement im Fall einer parallel zu der Projektion der zweiten Achse auf die Haupterstreckungsebene wirkenden Drehrate zu einer Kraftwirkung der Corioliskraft im Sinne einer Rotationsschwingung um eine senkrecht zu der Haupterstreckungsebene sich erstreckende und durch den Schnittpunkt der ersten Achse und der zweiten Achse verlaufende dritte Achse auslenkbar sind, wobei die mikromechanische Struktur wenigstens ein erstes Auslenkungselement und wenigstens ein zweites Auslenkungselement aufweist, wobei das erste Auslenkungselement und das zweite Auslenkungselement bezüglich der ersten Achse und bezüglich der zweiten Achse massensymmetrisch ausgebildet sind, wobei das erste Auslenkungselement wenigstens mit dem ersten Corioliselement und das zweite Auslenkungselement wenigstens mit dem zweiten Corioliselement derart gekoppelt ist, dass die Kraftwirkung der Corioliskraft auf das erste Corioliselement und das zweite Corioliselement im Sinne einer Rotationsschwingung des ersten Auslenkungselements und des zweiten Auslenkungselements um die dritte Achse durch die Detektionseinrichtung detektierbar ist.
摘要翻译：它提出了一种微机械结构，特别是具有在基板的一个主平面上的转速传感器，第一科里奥利，第二科里奥利，驱动装置，用于从静止位置和检测装置偏转第一科里奥利和第二科里奥利，其特征在于，所述第一平行于所述第一轴线的主延伸平面的方向与所述第一科里奥利和第二科里奥利具有共同的主延伸平面，其中，所述公共主延伸平面处于平行的位置，其余到所述衬底的所述主延伸平面，其中，所述第一科里奥利并形成质量对称地相对于所述第二科里奥利科里奥利相对于所述第二科里奥利质量分别相对于对称地形成的方向垂直于所述第一轴线的第二轴线，其中所述第一科里奥 liselement和第二科里奥利由驱动器驱动装置进入围绕所述第一轴线，旋转振动，其中所述第一科里奥利和第二科里奥利在一个平行于所述第二轴线作用于旋转速率的主延伸平面上的投影于科里奥利力的在旋转振荡的意义上的力作用的情况下绕垂直于延伸并穿过所述第一轴线和第二轴线的第三轴线的交叉点处的主延伸平面的轴可被偏转，其中所述微机械结构包括至少一个第一偏转构件和至少一个第二偏转构件，其中，所述第一偏转构件和第二偏转构件相对于所述第一轴线和相对于所述第二轴线对称地形成的质量，其中，所述第一偏转元件至少以第一和第二科里奥利偏转元件至少至第二科里奥 liselement被耦合，使得科里奥利力的力作用可以在第一和第二科里奥利科里奥利在所述第一偏转构件和关于由所述检测装置的第三轴的第二偏转构件的旋转振动的意义上被检测到。

24. 发明申请

WO2013112156A1 MICRO-SCALE PENDULUM 审中-公开
公开(公告)号：WO2013112156A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/US2012/022694
申请日：2012-01-26
申请人： HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. , ABBOTT, James Elmer Jr. , WILLIAMS, John L , KORNILOVICH, Pavel
发明人： ABBOTT, James Elmer Jr. , WILLIAMS, John L , KORNILOVICH, Pavel
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/065 , C23C16/40 , G01C19/5656 , G03F7/40 , Y10T74/1296
摘要： A micro-scale pendulum structure. The structure includes a membrane having a peripheral support portion and an inner portion, and a micro-scale pendulum carried by the inner portion of the membrane.
摘要翻译：微型摆式结构。该结构包括具有周边支撑部分和内部部分的膜和由膜的内部部分承载的微尺度摆锤。

25. 发明申请

WO02103364A3 ANGULAR RATE SENSOR HAVING A SENSE ELEMENT CONSTRAINED TO MOTION ABOUT A SINGLE AXIS AND FLEXIBLY ATTACHED TO A ROTARY DRIVE MASS 审中-公开
标题翻译：具有运动的感觉元件的角速度传感器关于单轴并且灵活地连接到旋转驱动质量
公开(公告)号：WO02103364A3
公开(公告)日：2003-10-09
申请号：PCT/US0218900
申请日：2002-06-14
申请人： MICROSENSORS INC , REEDS JOHN W , HSU YING W
发明人： REEDS JOHN W , HSU YING W
IPC分类号： G01C19/5712 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Micro-gyro (10) has first flexures (27) which extend from anchor (25) which is connected to sense plate (30), where second flexures (37) extend from sense plate (30) to connect drive ring (40), where drive ring (40) is driven to oscillate about a drive axis, where first flexures (27) constrain sense plate (30) from moving about the drive axis but permit sense plate (30) and drive ring (40) to rock about a sense axis, wherein sense plate (30), drive ring (40) and flexures (27, 37) form a plate-ring-flexure system that is tuned to rock about a sense axis in a first or fundamental mode wherein plate (30) and ring (40) move substantially in phase at the lowest resonant frequency.
摘要翻译：微陀螺（10）具有从连接到感测板（30）的锚固件（25）延伸的第一挠曲件（27），其中第二挠曲件（37）从感测板（30）延伸以连接驱动环（40），其中驱动环（40）被驱动以围绕驱动轴线振荡，其中第一弯曲部（27）约束感测板（30）围绕驱动轴线运动，但允许感测板（30）和驱动环（40）围绕感测轴，其中感测板（30），驱动环（40）和弯曲部（27,37）形成板环弯曲系统，该板环弯曲系统被调谐以围绕第一或基本模式的感测轴线摇摆，其中板（30）并且环（40）在最低谐振频率处基本同相移动。

26. 发明申请

WO02044652A1 MICROMECHANICAL INERTIAL SENSOR 审中-公开
标题翻译： MICRO机械惯性传感器
公开(公告)号：WO02044652A1
公开(公告)日：2002-06-06
申请号：PCT/EP2001/014021
申请日：2001-11-30
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C21/16 , G01P15/125 , G01P15/18 , H01L29/84 , G01P3/14 , G01P15/14
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C21/16 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0828 , G01P2015/0831
摘要： The invention relates to a micromechanical inertial sensor that comprises three component planes, namely a bottom part (12), a center part (11) and a cover part (13). The center part (11) is a silicon wafer in which a cardan-type structure (14) with two oscillating elements (15, 16) is formed. A plate (17, 18) is formed in the silicon wafer which can be pivoted about a rotational axis lying in the wafer plane. Metallized portions or conductive layers (19, 20, 21, 22) form an exciter unit and set the cardan-type structure oscillating. The inventive sensor further comprises a device for detecting the displacement of the plate (17, 18). Said structures represent a sensor module with a rotational rate sensor and at least one acceleration sensor that are produced by means of the same method.
摘要翻译：的微机械惯性传感器是由三个组件级的，并包括一个基体部分（12），中央部分（11）和盖部（13）。中央部分（11）是硅晶片，其中一个万向接头结构（14）与2-振荡元件（15，16）是aufgestaltet。在该硅晶片具有板还形成（17，18），其被枢转地安装在左右的晶片面内的水平旋转轴旋转。金属化或导电层（19，20，21，22）形成围绕万向架结构（14）振动的激励单元，以及用于检测所述板（17，18）的偏转。结构形成传感器模块，包括横摆率传感器和至少一个加速度传感器，其用相同的方法制造。

27. 发明申请

WO2021252830A1 MOTION SENSOR IN MEMORY 审中-公开
公开(公告)号：WO2021252830A1
公开(公告)日：2021-12-16
申请号：PCT/US2021/036915
申请日：2021-06-11
申请人： MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人： HOSSEINIMAKAREM, Zahra , BELL, Debra M. , O'DONNELL, Cheryl M. , BAGHI, Roya , GOVE, Erica M.
IPC分类号： G11C7/04 , G06F1/3225 , G11C11/4063 , B60T2201/10 , B60T2210/32 , B60T7/12 , B60T7/22 , B60W30/00 , G01C19/5712 , G01S13/00 , G01S15/00 , G01S17/00 , H04N5/23258
摘要： Systems, apparatuses, and methods related to memory device sensors are described. Memory systems can include multiple types of memory devices including memory media and can write data to the memory media. Some types of memory devices include sensors embedded in the circuitry of the memory device that can generate data. The memory device can transmit the data generated by the embedded sensor using a sensor output coupled to another device. In an example, a method can include generating orientation data, including coordinates, of a memory device by measuring linear acceleration or rotational motion using a motion sensor embedded in circuitry of the memory device, receiving a signal that represents image data from an image sensor, and pairing the orientation data of the memory device with the image data.

28. 发明申请

WO2020011640A1 MIKROMECHANISCHER SENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2020011640A1
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：PCT/EP2019/067992
申请日：2019-07-04
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： KOSTER, Monika , CARDANOBILE, Stefano
IPC分类号： G01P15/125 , B81B5/00 , G01C19/5712 , G01L9/12 , G01P15/08
摘要： Mikromechanischer Sensor (100), aufweisend: - ein Substrat; - ein auf dem Substrat angeordnetes Kappenelement; und - wenigstens ein im Kappenelement angeordnetes auslenkbares Element (20), wobei innerhalb des Kappenelements ein gegenüber der Umgebung definiert erhöhter Innendruck herrscht; gekennzeichnet durch - ein innerhalb des Kappenelements angeordnetes, nicht mit dem auslenkbaren Element (20) verbundenes Symmetrieelement (40), welches ausgebildet ist, im Betrieb des mikromechanischen Sensors (100) eine fluiddynamische Symmetrie für das auslenkbare Element (20) bereitzustellen.

29. 发明申请

WO2019048171A1 DREIACHSIGE MIKROMECHANISCHE DREHRATEN-SENSORANORDNUNG MIT LINEAR UND ROTATORISCH ANTREIBBAREN SENSOREINRICHTUNGEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2019048171A1
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：PCT/EP2018/071565
申请日：2018-08-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter , PRUETZ, Odd-Axel , KUHLMANN, Nils Felix , LIEWALD, Jan-Timo , BODE, Niels , KUEHNEL, Matthias
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung umfasst eine rotatorisch um eine erste Achse (z) oszillierend antreibbare erste Drehratensensoreinrichtung (100) zum Erfassen einer ersten äußeren Drehrate um eine zweite Achse (y) und einer zweiten äußeren Drehrate um eine dritte Achse (x), wobei die erste, zweite und dritte Achse (z, y, x) senkrecht zueinander angeordnet sind, und eine linear oszillierend entlang der zweiten Achse (y) durch eine Antriebseinrichtung (AT; AT'; AT") antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) zum Erfassen einer dritten äußeren Drehrate um die erste Achse (z). Die zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) ist mit der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) zum Antreiben der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) durch die Antriebseinrichtung (200; 201; 202) über eine erste Kopplungseinrichtung (S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12) verbunden.

30. 发明申请

WO2018227308A1 INERTIAL DEVICES WITH WAFER-LEVEL INTEGRATION OF HIGHER DENSITY PROOF MASSES AND METHOD OF MANUFACTURING 审中-公开
公开(公告)号：WO2018227308A1
公开(公告)日：2018-12-20
申请号：PCT/CA2018/050736
申请日：2018-06-18
申请人： SOCIETE DE COMMERCIALISATION DES PRODUITS DE LA RECHERCHE APPLIQUÉE SOCPRA SCIENCES ET GÉNIE S.E.C.
发明人： DOMPIERRE, André , FRECHETTE, Luc
IPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/00 , B81B7/02 , G01P15/02
CPC分类号： G01P15/09 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0118 , B81C1/0015 , G01C19/5656 , G01C19/5663
摘要： An inertial device comprises a frame. A cantilever beam has a first end connected to the frame and a second end cantilevered relative to the frame, the cantilevered beam forming a spring portion between the first end and the second end, the cantilever beam having a support surface defining a support area. The frame and the cantilever beam are made from a support wafer, the support wafer being made of silicon, a thickness of the support wafer at the support area ranging between 0 µm and 800 µm. A mass bonded to the support surface of the silicon wafer at the support area, the mass being made of tungsten, a thickness of the mass being of at least 20 µm.

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