基本信息:
- 专利标题： MIKROMECHANISCHER SENSOR
- 专利标题（英）：MICROMECHANICAL SENSOR
- 申请号：PCT/EP2019/067992 申请日：2019-07-04
- 公开(公告)号：WO2020011640A1 公开(公告)日：2020-01-16
- 发明人： KOSTER, Monika , CARDANOBILE, Stefano
- 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权： DE10 20180711
- 主分类号： G01P15/125
- IPC分类号： G01P15/125 ; B81B5/00 ; G01C19/5712 ; G01L9/12 ; G01P15/08
摘要：
Mikromechanischer Sensor (100), aufweisend: - ein Substrat; - ein auf dem Substrat angeordnetes Kappenelement; und - wenigstens ein im Kappenelement angeordnetes auslenkbares Element (20), wobei innerhalb des Kappenelements ein gegenüber der Umgebung definiert erhöhter Innendruck herrscht; gekennzeichnet durch - ein innerhalb des Kappenelements angeordnetes, nicht mit dem auslenkbaren Element (20) verbundenes Symmetrieelement (40), welches ausgebildet ist, im Betrieb des mikromechanischen Sensors (100) eine fluiddynamische Symmetrie für das auslenkbare Element (20) bereitzustellen.
摘要（英）：
The invention relates to a micromechanical sensor (100) comprising: - a substrate; - a cap element positioned on the substrate; and - at least one deflectable element (20) positioned in the cap element, wherein an increased internal pressure, defined in relation to the environment, prevails within the cap element; characterised by - a symmetry element (40) which is positioned inside the cap element, is not connected to the deflectable element (20), and is designed to provide a fluid-dynamic symmetry for the deflectable element (20) during operation of the micromechanical sensor (100).
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01P | 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在、不存在或方向的指示 |
| ------G01P15/00 | 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 |
| --------G01P15/02 | .利用惯性力 |
| ----------G01P15/04 | ..用于指示最大值 |
| ------------G01P15/125 | ...应用电容变送器 |