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    • 11. 发明申请
    • DEVICE FOR ESTABLISHING A BONDING CONNECTION AND TRANSDUCER THEREFOR
    • 器具,用于产生键,且设备换能器THEREOF
    • WO2016004919A2
    • 2016-01-14
    • PCT/DE2015100277
    • 2015-07-02
    • HESSE GMBH
    • HUNSTIG MATTHIASBRÖKELMANN MICHAEL
    • B23K20/00
    • B23K20/004B23K20/002B23K20/106B23K2201/42H01L24/78H01L24/85H01L41/0993H01L2224/78347H01L2224/78621H01L2924/00014H01L2224/45015H01L2924/207H01L2224/45099
    • The invention relates to a device for establishing a bonding connection, comprising a bonding head mounted so as to rotate about an axis of rotation, and a transducer mounted on the bonding head and having a piezo actuator for generating ultrasonic vibration, in particular a natural ultrasonic vibration, a fastening section for attaching the transducer to the bonding head and a tool holder for a bonding tool, a longitudinal extension of the transducer and/or an extension of the same in the direction of an axis of a minimum inertial moment runs parallel to the axis of rotation of the bonding head, electrodes being provided on the piezo actuator in such a way that the piezo actuator can be excited by an electric field in a field direction transverse to a polarisation direction of the piezo actuator, and as a result of the excitation and of the connection of the piezo actuator to the fastening section and to the tool holder, the piezo actuator carries out a shearing motion in a shearing plane formed by the polarisation direction and by the field direction.
    • 本发明涉及一种用于制造包括键合连接的可转动地支承绕旋转轴线接合头和一个换能器,其被保持在接合头,其中,所述换能器以用于激励超声波振动的压电致动器,特别是超声波的自激振荡,换能器固定到所述固定部 包括键合头和用于键合工具,其特征在于,所述换能器的纵向方向和/或在与接合头部延伸的旋转轴线平行的惯性最小力矩的轴的方向上的延伸方向,所述以这样的方式在压电致动器设置有电极的工具保持器,该压电致动器横向于 其在一个场方向通过电场的手段的偏振方向可以被激发,并且,所述压电致动器作为以及它们到安装部分连接和工具保持器的的激发的结果 在由偏振方向和剪切平面的磁场方向形成的平面进行剪切运动。
    • 18. 发明申请
    • 半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置
    • 用于生产半导体器件的方法和线接合器件
    • WO2015125671A1
    • 2015-08-27
    • PCT/JP2015/053667
    • 2015-02-10
    • 株式会社新川
    • 萩原 美仁高橋 信夫
    • H01L21/60
    • H01L24/78B23K20/005H01L24/48H01L24/85H01L2224/48095H01L2224/48227H01L2224/48472H01L2224/78301H01L2224/78353H01L2224/7855H01L2224/85181H01L2224/85205H01L2224/85947H01L2924/00014H01L2924/00H01L2224/45015H01L2924/207H01L2224/45099
    •  半導体装置の製造方法は、ワイヤテールが先端から延出したボンディングツールを下降させてワイヤテールの先端を半導体装置のボンディング面に接触させるワイヤテール接触工程と、ボンディングツールを当該ボンディングツールの軸方向(Z方向)に交わる方向へ移動させて、ワイヤテールの先端をボンディング面に接触させながらワイヤテールを屈曲させるワイヤテール屈曲工程と、ボンディングツールを下降させて第1ボンド点においてワイヤテールの一部を加圧するとともに、ワイヤテールの先端が上方を向くようにワイヤテールを所定形状に整形する第1ボンディング工程と、ワイヤルーピング工程と、第2ボンディング工程と、ボンディングツールの先端からワイヤの一部を延出させるようにワイヤを切断するワイヤ切断工程と、を含む。これにより、簡便かつ効率的にワイヤテールを所定形状に整形することができる。
    • 该半导体装置的制造方法包括:线尾接触步骤,其中具有从其突出的线尾的末端的接合工具降低,使得线尾的末端与半导体器件的接合表面接触, 线尾弯曲步骤,其中接合工具沿着与接合工具的轴向方向(Z方向)相交的方向移动,并且线尾弯曲,同时线尾的末端与接合表面接触 ; 第一接合步骤,其中所述接合工具下降,并且所述电线尾部的一部分在第一接合点处被按压,并且所述电线尾部被成形为预定形状,使得所述电线尾端面向上; 电线循环步骤; 第二结合步骤; 以及线切割步骤,其中以使得所述线的一部分从所述接合工具的尖端突出的方式被切割。 作为这种构造的结果,可以容易且有效地将线尾形成预定的形状。