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11. 发明申请

WO2007010170A3 FAST ENERGY-SAVING CHAMBER PUMPING 审中-公开
标题翻译：快速的节能室抽水
公开(公告)号：WO2007010170A3
公开(公告)日：2007-03-15
申请号：PCT/FR2006050734
申请日：2006-07-19
申请人： ALCATEL LUCENT , RIVAL JEAN-LUC
发明人： RIVAL JEAN-LUC
IPC分类号： F04B37/14 , F04B41/06 , F04B49/20 , F04D19/04 , F04D27/02
CPC分类号： F04D19/046 , F04B37/14 , F04C18/126 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/08 , F04C2220/30 , F04C2240/10 , F04D27/0261
摘要： The invention concerns a device for vacuum pumping comprising at least one main pump (1) and one auxiliary pump (2) connected in series, respectively driven by a first electric motor (1b) and a second electric motor (2b) themselves powered by respective power supplies (1c, 2c) monitored by a processor and a programme recorded in a memory (3b). The programme recorded in the memory (3b) generates a speed variation law (A) of the main pump (1) which decreases regularly, and a speed variation law (B) of the auxiliary pump (2) which increases regularly, so as to reduce energy consumption while maximizing pumping speed.
摘要翻译：本发明涉及一种用于真空泵送的装置，其包括串联连接的至少一个主泵（1）和一个辅助泵（2），分别由第一电动机（1b）和第二电动机（2b）分别驱动，所述第一电动机（1b）和第二电动机由处理器监视的电源（1c，2c）和记录在存储器（3b）中的程序。记录在存储器（3b）中的程序产生有规律地减少的主泵（1）的速度变化规律（A）和有规律地增加的辅助泵（2）的速度变化规律（B），从而降低能耗，同时最大限度提高抽速。

12. 发明申请

WO2006086166A1 BAFFLE CONFIGURATIONS FOR MOLECULAR DRAG VACUUM PUMPS 审中-公开
标题翻译：分子式真空泵的配置
公开(公告)号：WO2006086166A1
公开(公告)日：2006-08-17
申请号：PCT/US2006/002948
申请日：2006-01-27
申请人： VARIAN, INC. , HABLANIAN, Marsbed
发明人： HABLANIAN, Marsbed
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/16 , G01M3/20 , F04D17/16
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/046 , F04D29/162
摘要： A molecular drag compressor (22) includes a rotor disk (30,100) coupled to a drive shaft (34,106) for rotation about an axis, a stator (32,102,104) disposed about the rotor disk, the stator defining a tangential flow channel (110,112) , an inlet (115) to the tangential flow channel and an outlet (120) from the tangential flow channel, and a stationary baffle (114) disposed in the tangential flow channel adjacent to the outlet. The baffle (114) and the rotor disk (30,100) have a gap between them. A surface of the baffle facing the rotor disk has cavities (330) configured to produce turbulent gas flow through the gap between the baffle (114) and the rotor disk (30,100) and to thereby reduce leakage .
摘要翻译：分子阻力压缩机（22）包括联接到用于围绕轴线旋转的驱动轴（34,106）的转子盘（30,100），围绕转子盘设置的定子（32,102,104），所述定子限定切向流动通道（110,112）切向流动通道的入口（115）和来自切向流动通道的出口（120）以及设置在邻近出口的切向流动通道中的固定挡板（114）。挡板（114）和转子盘（30,100）之间具有间隙。挡板面向转子盘的表面具有空腔（330），其构造成产生通过挡板（114）和转子盘（30,100）之间的间隙的湍流气流，从而减少泄漏。

13. 发明申请

WO2005047707A1 MEHRSTUFIGE REIBUNGSVAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多级摩擦真空泵
公开(公告)号：WO2005047707A1
公开(公告)日：2005-05-26
申请号：PCT/EP2004/012196
申请日：2004-10-28
申请人： LEYBOLD VACUUM GMBH , ENGLÄNDER, Heinrich
发明人： ENGLÄNDER, Heinrich
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046 , F04D17/02 , F04D17/127 , F04D17/168
摘要： Eine mehrstufige Reibungsvakuumpumpe, die mindestens eine Turboverdichterstufe (11) aufweist, ist druckseitig von der Turboverdichterstufe mit einer Zirkularverdichterstufe (33) versehen. Diese hat geringe axiale Abmessungen. Durch sie wird die Kompression vergrößert, ohne dass der Platzbedarf wesentlich erhöht wäre.
摘要翻译：一种多级摩擦真空泵包括至少一个离心式压缩机级（11）设置在涡轮压缩机级的压力侧具有圆形压缩机级（33）。这具有小的轴向尺寸。通过他们，压缩没有空间要求将大大的增加而增加。

14. 发明申请

WO02077462A2 TURBOMOLECULAR PUMP 审中-公开
标题翻译：涡轮分子泵
公开(公告)号：WO02077462A2
公开(公告)日：2002-10-03
申请号：PCT/EP0202884
申请日：2002-03-15
申请人： LEYBOLD VAKUUM GMBH , BLUMENTHAL ROLAND , ODENDAHL HEINZ-DIETER , BOHRY DIETER
发明人： BLUMENTHAL ROLAND , ODENDAHL HEINZ-DIETER , BOHRY DIETER
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00 , F04D29/00 , F04D
CPC分类号： F04D19/046 , F04D19/042 , F04D27/00
摘要： A turbomolecular pump (10) comprises a stator, a pump rotor, a motor (28) for driving the pump rotor and a control device (42). The control device (42) controls the motor output as to prevent the motor output from exceeding a permissible motor maximum output. Stator-side temperature sensors (32-38), which are provided for measuring the stator temperature, are arranged on the turbomolecular pump (10). The control device (42) comprises a maximum output determining device (50), that establishes the permissible motor maximum output according to the measured stator temperature. The permissible motor maximum output is thus not set to a constant value, but is always determined according to the stator temperature. This results in the power of the motor being fully exploited as long as the measured stator temperature is less than a maximum value.
摘要翻译：涡轮分子泵（10）包括定子，泵转子，用于驱动泵转子的电动机（28）和控制装置（42）。控制器（42）控制发动机输出，使得发动机输出不超过最大允许发动机功率。用于测量定子温度的温度传感器（32-38）布置在定子侧的涡轮分子泵（10）上。控制装置（42）具有最大功率确定装置（50），该最大功率确定装置根据所测量的定子温度确定最大可允许的电动机功率。这样，最大允许电机功率不会设置为常数值，而是始终设置为定子温度的函数。结果，只要测得的定子温度低于最大值，就可以充分利用发动机的性能。

15. 发明申请

WO99009317A1 COLD TRAP WITH INTEGRAL GATE VALVE 审中-公开
标题翻译：具有整体门阀的冷藏带
公开(公告)号：WO99009317A1
公开(公告)日：1999-02-25
申请号：PCT/US1998/016684
申请日：1998-08-11
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046 , F04B37/08 , Y10S417/901
摘要： A cold trap (20) includes a fluid conduit (38) having a fluid flow path therethrough, a length along the fluid flow path and a width transverse to the fluid flow path. The width of the fluid conduit is greater than the length. A gate valve (44) is formed integrally with the fluid flow conduit for opening and closing the fluid flow path. A cryopumping array (34) having an outer rim surrounding a central opening (35) is positioned within the fluid conduit downstream from the gate valve and transverse to the fluid flow path such that the fluid flow path extends through the central opening. The outer rim captures water vapor from the fluid flow path.
摘要翻译：冷阱（20）包括具有穿过其中的流体流动通道的流体导管（38），沿着流体流动路径的长度和横向于流体流动路径的宽度。流体导管的宽度大于长度。闸阀（44）与流体流动管道一体形成，用于打开和关闭流体流路。具有围绕中心开口（35）的外边缘的低温泵阵列（34）定位在流体导管的下游，并且横向于流体流动路径，使得流体流动路径延伸穿过中心开口。外缘从流体流路捕获水蒸气。

16. 发明申请

WO1993023672A1 GAS FRICTION VACUUM PUMP 审中-公开
标题翻译： GAS摩擦真空泵
公开(公告)号：WO1993023672A1
公开(公告)日：1993-11-25
申请号：PCT/EP1993000984
申请日：1993-04-23
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , KABELITZ, Hans-Peter , MÜHLHOFF, Martin , KRIECHEL, Hans , FLEISCHMANN, Frank
发明人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D25/16 , F04D19/046
摘要： The invention relates to a gas friction vacuum pump (1) with at least two differently designed pump stages (3, 12; 26; 35), each comprising a rotor section (9, 27, 37) and a housing section (3, 29, 36); in order to be able to adapt the pump to various applications it is proposed to fit various input stages on the high-vacuum side and that the pump stages are releasably secured together.

17. 发明申请

WO2019008372A1 MAGNETIC BEARING 审中-公开
公开(公告)号：WO2019008372A1
公开(公告)日：2019-01-10
申请号：PCT/GB2018/051906
申请日：2018-07-05
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： KHOR, Eng Keen
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/058 , F16C32/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D19/048 , F04D29/058 , F16C32/0425 , F16C2360/45
摘要： Magnetic bearing for a vacuum pump, comprising a stationary first magnetic element (16) with a number of axially arranged non-rotating permanent ring magnets (16a, 16b, 16c, 16d, 16e) and a second magnetic element (18) rotating relatively to the stationary first magnetic element (16) with an equal number of axially arranged rotating permanent ring magnets (18a, 18b, 18c, 8d, 18e) each facing the non-rotating ring magnets (16a, 16b, 16c, 16d, 16e), wherein the polarization of the non-rotating permanent ring magnets (16a, 6b, 16c, 16d, 16e) and the rotating permanent ring magnets (18a, 18b, 18c, 10 8d, 18e) are each arranged to form a Halbach-configuration such that facing non-rotating permanent ring magnets (16a, 16b, 16c, 16d, 16e) and rotating permanent ring magnets (18a, 18b, 18c, 18d, 18e) are in mutual repulsion.

18. 发明申请

WO2015036282A3 SNIFFING LEAK DETECTOR HAVING A MULTI-STAGE DIAPHRAGM PUMP 审中-公开
标题翻译：嗅吸测漏多级隔膜泵
公开(公告)号：WO2015036282A3
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/EP2014068582
申请日：2014-09-02
申请人： INFICON GMBH
发明人： HILGERS HEIKE , BRUHNS HJALMAR , WETZIG DANIEL , ROLFF NORBERT
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/046 , G01L19/0654
摘要： The invention relates to a sniffing leak detector having a mass spectrometer (12) for analysing hydrogen or helium, a turbomolecular pump (14), which is connected to the mass spectrometer (12) and the outlet (18) of which is connected to a pre-vacuum pump (20), and a sniffing probe, which has a plurality of suction lines (38, 40) and is connected to the inlet (16) of the turbomolecular pump (14), characterised by an at least three-stage vacuum pump (28), the input stage (22) of which forms the pre-vacuum pump (20) and is connected via a blocked throttle (46) to the outlet (18) of the turbomolecular pump (14), wherein an intermediate inlet (34, 36) is provided in each case between adjacent stages (22, 24, 26) of the vacuum pump (28), wherein each intermediate inlet (34, 36) is connected to a different suction line of the sniffing probe, and at least one of the suction lines (38, 40) is connected as an intake line (38) to the inlet (16) of the turbomolecular pump (14) to achieve different gas flows.
摘要翻译：用质谱仪（12），用于氢气或氦气，一种与连接到与前级泵（20）的涡轮分子泵（14）和它的出口（18）的质谱仪（12）中的分析的嗅探泄漏检测器连接，并且多个抽吸管线（38，40 ），具有嗅探器探针（用涡轮分子泵（14），其特征在于的入口16）（由至少三个级真空泵28），输入级（22）形成的预真空泵（20）和一个互锁扼流圈（46）连接到涡轮分子泵（14）的出口（18），其中在每种情况下，真空泵（28）的中间入口（34，36）被提供，每个中间入口（34，36）与相邻级（22，24，26）之间吸入探针的另一抽吸管线被连接和抽吸线中的至少一个（38，40）和吸入线路（38）连接到涡轮分子泵（14）的入口（16），以实现不同的气体流版本被防止。

19. 发明申请

WO2014050648A1 ロータ、及び、このロータを備えた真空ポンプ审中-公开
标题翻译：转子和配有转子的真空泵
公开(公告)号：WO2014050648A1
公开(公告)日：2014-04-03
申请号：PCT/JP2013/075107
申请日：2013-09-18
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：大立　好伸 , 前島　靖 , 高阿田　勉 , 坂口　祐幸 , 高井　慶行
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/051 , F04D19/042 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D19/048 , F04D29/023 , F04D29/058 , F04D29/083 , F04D29/38 , F04D29/662 , F05D2260/95
摘要：【課題】真空ポンプの排気性能の向上と、バランス取り部からの破片の脱落防止を図るのに好適なロータ、及び、このロータを備えた真空ポンプを提供する。真空ポンプの排気性能と、バランス取りの作業性の向上、並びに、バランス取り部からの破片の脱落防止や、それが万が一脱落したときの早期排出、早期発見を図るのに好適な真空ポンプのロータ等を提供する。【解決手段】真空ポンプＰ１のロータ６は、第１及び第２の筒体６１、６２と、両筒体６１、６２の端部どうしを連結する連結部６０とを備える。第１の筒体６１は、その外周面に複数の回転翼１３を備えるとともに、これら複数の回転翼１３が真空ポンプ軸心に沿って複数の固定翼１４と交互に配置されることで、翼排気部Ｐｔを構成する。第２の筒体６２は、少なくとも、その内周側に、ネジ溝排気流路Ｒ１を形成することによって、ネジ溝排気部Ｐｓを構成する。そして、前記ロータ６では、第１の筒体６１又は連結部６０の内周面に、ロータ６のバランス取り部Ｋ１を設け、このバランス取り部Ｋ１に、質量付加手段Ｍを設ける。
摘要翻译： [问题]提供一种提高真空泵的抽空能力并且防止碎片从平衡部分脱落的转子以及配备有该转子的真空泵。为了提供适合于提高真空泵的抽空能力和平衡部分的可操作性的真空泵的转子，并且防止碎片从平衡部分脱落，或者在不太可能发生脱落的情况下提供快速驱逐和快速发现。 [解决方案]真空泵（P1）的转子（6）设置有将两个气缸（61,62）连接在一起的第一和第二气缸（61,62）和连接部分（60）。第一圆筒（61）在外周面上设置有多个旋转叶片（13），这些旋转叶片（13）沿着真空泵的轴向中心与多个静止叶片交替地布置，构成叶片疏散部分（Pt）。在第二气缸（62）的至少内周侧形成有螺纹槽排出通路（R1），构成螺纹槽排出部（Ps）。在转子（6）中，在连结部（60）的第一气缸（61）的内周面上设置有用于转子（6）的平衡部（K1），该平衡部（K1）具有质量添加装置（M）。

20. 发明申请

WO2012172851A1 真空ポンプとそのロータ审中-公开
标题翻译：真空泵及其转子
公开(公告)号：WO2012172851A1
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：PCT/JP2012/058904
申请日：2012-04-02
申请人：エドワーズ株式会社 , 樺澤剛志
发明人：樺澤　剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/526 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D27/0292 , F04D29/32 , F04D29/321
摘要：【課題】ポンプ内部の耐食性の悪化やポンプ構造の複雑化を招くことなく、回転する円筒部材とその外周を囲む固定部材との間に設けられる隙間を最小限に設定することができ、当該隙間の最小限化によるポンプ性能の向上を図るのに好適な真空ポンプとそのロータを提供する。【解決手段】真空ポンプＰ１のロータ６は、回転駆動される円形部材６０とその外周に接合した円筒部材６２とを備え、かつ、円筒部材６２とその外周を囲む固定部材１８との間にネジ溝ポンプ流路Ｓを形成する。円筒部材６２は、円形部材６０より熱膨張が小さい材料、又は、前記円形部材よりクリープ速度が低い材料、の少なくとも一方の特徴をもつ材料で形成される。円筒部材６２における接合部Ｊと固定部材１８との間に設けられる第１領域の隙間δ１より、円筒部材６２における非接合部Ｎと固定部材１８との間に設けられる第２領域の隙間δ２を小さく設定する。
摘要翻译： [问题]提供一种真空泵，其能够使围绕其外周的旋转圆柱形构件和固定构件之间的间隙最小化，并且通过使间隙最小化有利地提高泵的性能，而不会恶化耐腐蚀性泵内部或泵结构复杂化; 和一个转子。 [解决方案]真空泵（P1）的转子（6）设置有可旋转驱动的圆柱形构件（60）和与其外周接合的圆柱形构件（62），并形成螺纹泵通道（S）在圆柱形构件（62）和围绕其外周的固定构件（18）之间。圆柱形构件（62）由材料形成，其特征在于至少具有比圆柱形构件（60）更少的热膨胀和/或较低的蠕变速率。设置在所述固定构件（18）与所述圆筒构件（62）的未接合部（N）之间的第二区域间隙（d2）被设定为小于设置在所述固定构件（18）之间的第一区域间隙（d1）和圆筒部件（62）的接合部（J）。

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